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1. 外观设计

KR3009196690000S 有权
公开(公告)号：KR3009196690000S
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：KR3020160064184
申请日：2016-12-29
申请人： 주식회사 티에스시
设计人： 박선일 , 김오수

2. 发明授权

KR101587894B1 슬러리공급장치 有权
标题翻译：浆料供应装置
公开(公告)号：KR101587894B1
公开(公告)日：2016-01-25
申请号：KR1020150023836
申请日：2015-02-17
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/67 , H01L41/22
CPC分类号： H01L21/304 , H01L21/67017 , H01L41/22
摘要： 본발명은슬러리공급장치에관한것으로서, 연마패드와, 상기연마패드를회전구동하는연마패드구동부와, 상기연마패드의상측에서상기연마패드에대향하도록설치된연마헤드와, 상기연마헤드를회전구동하는연마헤드구동부를갖는화학기계식웨이퍼연마장치의주위에설치되어상기연마패드의상측으로슬러리를공급하기위한슬러리공급장치에있어서, 내부에공급공동저장실과복귀공동저장실이분리형성되어있고, 직선상으로이격배치된다수의개별저장실이상기공급공동저장실과상기복귀공동저장실과분리형성되어있고, 상기개별저장실각각의바닥면에는외부와상기개별저장실의내부를연결하는슬러리배출공이형성되어있고, 상기공급공동저장실의내부와상기개별저장실각각의내부를연결하는공급슬러리통과공이형성되어있고, 상기복귀공동저장실의내부와상기개별저장실각각의내부를연결하는복귀슬러리통과공이형성되어있고, 외부와상기공급공동저장실의내부를연결하는슬러리공급공이형성되어있고, 외부와상기복귀공동저장실의내부를연결하는슬러리복귀공이형성되어있고, 상기개별저장실각각의천장면에는외부와상기개별저장실의내부를연결하는압력전달공이형성되어있으며, 상기슬러리배출공이상기연마패드를향하도록설치되는슬러리공급블럭과; 탱크유출공과탱크유입공이형성되어있는슬러리저장탱크와; 상기탱크유출공과상기슬러리공급공사이를연결하는슬리러공급관과; 상기슬러리복귀공과상기탱크유입공을연결하는슬리러복귀관과; 상기슬러리공급관에설치되어상기슬러리저장탱크에저장된슬러리를상기슬러리공급관을통해상기공급공동저장실로이송하는펌프와; 상기개별저장실에일 대일로대응하도록설치되고, 압전층에역압전효과(逆壓電效果)가발생할때 상기개별저장실에저장된슬러리가상기슬러리배출공을통과하여상기연마패드를향해배출되도록상기압력전달공을통해상기개별저장실의내부에배출압력을제공하는압전소자엑추에이터와; 상기압전층에역압전효과(逆壓電效果)가발생하도록동작전압을인가하는압전작동부를포함하는것을특징으로한다. 이에의해, 슬러리배출공별로슬러리배출여부를선택할수 있고슬러리배출공별로슬러리배출양을정확하게조절할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及浆料供给装置。浆料供给装置安装在化学机械晶片抛光装置周围，以将浆料供应到抛光垫的上侧，其中化学机械晶片抛光装置包括：抛光垫; 抛光垫驱动单元，用于旋转抛光垫; 抛光头，其安装成在抛光垫的上侧面对抛光垫; 以及用于旋转抛光头的抛光头驱动单元。

3. 发明公开

KR1020150011642A 가스배관용 보호커버 조립체 审中-实审
标题翻译：气管线保护罩总成
公开(公告)号：KR1020150011642A
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：KR1020130086850
申请日：2013-07-23
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： F17D1/18 , F16L53/00 , F16L59/14
摘要： Disclosed is a protection cover assembly for a gas pipe line, providing heat insulation to a heater, and allowing a heater to be simply installed to provide heat insulation to the gas pipe line. To achieve this, provided is the protection cover assembly for the gas pipe line, comprising: a cover of a straight protection cover assembly formed to surround a straight gas pipe line under 0.5 inches, and the protection cover assembly for the gas pipe line including a straight protection cover composed of a plurality of fixing members in a longitudinal direction on both ends of the body of the straight protection cover. According to the present invention, the protection cover assembly is easily removed in narrow space or a place where gas pipe lines are installed in a compact manner by being installed on the gas pipe line without an additional tool.
摘要翻译：公开了一种用于气体管线的保护盖组件，其向加热器提供隔热，并允许简单地安装加热器以向气体管线提供隔热。为了实现这一点，提供了用于气体管线的保护盖组件，包括：直立保护盖组件的盖，其形成为围绕0.5英寸以下的直管式管线，以及用于气体管线的保护盖组件，包括直保护盖，由直线保护罩的主体的两端沿长度方向的多个固定部件构成。根据本发明，在没有附加工具的情况下，通过安装在燃气管路上，在狭窄的空间或气体管线的紧密安装的位置容易地将保护盖组件移除。

4. 发明授权

KR102137591B1 배관용 히터 有权
公开(公告)号：KR102137591B1
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：KR1020190028848
申请日：2019-03-13
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 국존호
IPC分类号： H05B3/58 , H05B3/18 , H05B3/06 , H05B3/36 , F16L53/35 , A44B18/00

5. 发明授权

KR102121876B1 배관용 히터자켓 有权
公开(公告)号：KR102121876B1
公开(公告)日：2020-06-11
申请号：KR1020190108223
申请日：2019-09-02
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 권병호 , 박선일 , 국존호 , 김대국
IPC分类号： F16L59/147 , F16L59/02 , F16L59/07

6. 发明授权

KR102008690B1 친환경 부직포 단열재를 구비한 히터 자켓 有权
公开(公告)号：KR102008690B1
公开(公告)日：2019-10-21
申请号：KR1020180145041
申请日：2018-11-22
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 권병호 , 박선일 , 국존호 , 김대국
IPC分类号： D04H1/425 , D04H1/54 , D04H13/00 , H05B3/58

7. 发明授权

KR101748195B1 다층 구조 세라믹 전극을 이용하여 반도체 기판을 지지하기 위한 정전척 有权
标题翻译：一种静电吸盘，用于使用多层陶瓷电极支撑半导体衬底
公开(公告)号：KR101748195B1
公开(公告)日：2017-06-28
申请号：KR1020160177788
申请日：2016-12-23
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 권병호 , 박선일 , 국존호 , 박선태 , 이현학 , 김동훈 , 김대국 , 이예지
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/677 , H01L21/48 , H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/4807 , H01L21/67098 , H01L21/67248 , H01L21/67778 , H01L21/682 , H01L21/6835
摘要： 본발명은다층구조세라믹전극을이용하여반도체기판을지지하기위한정전척에관한것이다. 본발명의일예와관련된공정시 반도체기판의위치를고정하기위해, 상기반도체기판을로딩또는언로딩하는스테이지를포함하는정전척에있어서, 상기스테이지는, 복수의세라믹레이어로구성된세라믹플레이트; 및상기복수의세라믹레이어사이에적어도하나배치되는복수의전극;을포함하고, 상기복수의세라믹레이어중 적어도일부를유전체로이용하여상기반도체기판과상기복수의전극간에발생된정전기력을통해상기반도체기판의위치가고정되며, 상기복수의세라믹레이어및 복수의전극의적어도일부는분리및 제거가능할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用多层陶瓷电极支撑半导体衬底的静电吸盘。一种静电卡盘，其特征在于，在本发明的一个实施方式的工序中，具备用于装载或卸载半导体基板以固定半导体基板的位置的台，所述台包括：由多个陶瓷层构成的陶瓷板; 所述半导体衬底和所述多个电极包括之间产生通过静电力的半导体基板，使用至少一些所述多个介电材料的陶瓷层;以及至少一个设置在多个陶瓷层之间的多个电极并且可以分离并去除多个陶瓷层和多个电极中的至少一部分。

8. 发明授权

KR101565336B1 웨이퍼이송로봇교정장치 有权
标题翻译：用于传送滚筒的机器人校准装置
公开(公告)号：KR101565336B1
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：KR1020140149123
申请日：2014-10-30
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742
摘要： 본발명은웨이퍼이송로봇교정장치에관한것으로서, 상단에웨이퍼용기탑재면이지면에나란하게배치되도록형성되어있는로드포트와, 일면에웨이퍼용기개구가형성되어있고내표면에는상기웨이퍼용기개구를통해접근할수 있는웨이퍼수용슬롯이동일한높이차를두고다단형태로형성되어있는박스형태의웨이퍼용기바디부와상기웨이퍼용기개구를밀폐하도록상기웨이퍼용기바디부에착탈가능하게결합된웨이퍼용기커버를가지고상기웨이퍼수용슬롯이지면에나란하도록상기웨이퍼용기탑재면에설치되는웨이퍼저장용기와, 로봇바디부와지면에수직인방향을따라승강가능하고지면에나란한방향을따라회동가능하도록상기로봇바디부에설치된다관절형태의로봇암과지면에나란하게배치되도록상기로봇암의종단에형성된로봇핸드와상기로봇암을승강및 회동구동하는암구동부를구비하고상기로봇바디부가상기웨이퍼용기탑재면에설치된웨이퍼저장용기의후방에배치되도록설치되는이송로봇과, 상기로봇핸드가상기웨이퍼수용슬롯에설치된웨이퍼의사이공간으로진입할수 있도록상기암구동부의승강구동동작과회동구동동작을제어하는로봇제어부를갖는웨이퍼이송시스템에적용하여상기웨이퍼수용슬롯에설치된웨이퍼의사이공간에대한상기로봇핸드의진입위치를교정(Calibration)하기위한웨이퍼이송로봇교정장치에있어서, 전방교정용기개구와후방교정용기개구가대향하도록형성되어있고내표면에는상기후방교정용기개구를통해접근할수 있는한 쌍의교정용기수용슬롯이상기상기웨이퍼수용슬롯상호간의높이차와동일한높이차를갖도록형성되어있는박스형태의교정용기바디부를가지고, 상기교정용기수용슬롯이지면에나란하도록상기웨이퍼용기탑재면에설치되는교정용기와; 원형디스크형태의이반교정웨이퍼바디부를가지고, 상기이반교정웨이퍼바디부가상기교정용기수용슬롯에진입하도록상기교정용기에설치되는한 쌍의이반촬상교정웨이퍼와; 상기전방교정용기개구의전방에설치된지지체와; 상기교정용기수용슬롯에설치된이반촬상교정웨이퍼와상기교정용기수용슬롯에설치된이반촬상교정웨이퍼사이에진입한로봇핸드를향해상기후방교정용기개구를통해조명할수 있도록상기이송로봇에설치된조명부와; 상기교정용기수용슬롯에설치된이반촬상교정웨이퍼와상기교정용기수용슬롯에설치된이반촬상교정웨이퍼사이에진입한로봇핸드를상기후방교정용기개구를통해촬상할수 있도록상기지지체에설치된카메라와; 상기카메라의촬상화면에기초하여상기교정용기수용슬롯에설치된이반촬상교정웨이퍼와상기교정용기수용슬롯에설치된이반촬상교정웨이퍼사이에진입한로봇핸드사이의이격거리에대한정보를제공하는교정정보제공부를포함하는것을특징으로한다. 이에의해, 보다정확하게로봇교정을할 수있고교정작업기록을남길수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于校正用于传送晶片的机器人的装置。用于校正用于转印晶片的机器人的装置包括：安装在晶片容器安装表面上的校正容器; 安装在校正容器中的一对远距成像校正晶片; 安装在前校正容器开口前侧的支撑体; 安装在传送机器人上的照明单元; 安装在支撑体上的相机; 以及校正信息提供单元，用于提供关于远距离成像校正晶片和机器人手之间的距离的信息。

9. 发明授权

KR101468498B1 세척수분사장치 有权
标题翻译：清洁水喷雾装置
公开(公告)号：KR101468498B1
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：KR1020130076848
申请日：2013-07-02
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 국존호
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： B24B53/017 , B24B37/20
摘要： 본 발명은 세척수분사장치에 관한 것으로서, 연마패드의 판면방향을 따라 회동할 수 있도록 상기 연마패드의 둘레영역에 설치된 지지암과, 세척수매니폴드유로가 길이방향을 따라 형성되어 있고 상기 세척수매니폴드유로가 상기 지지암의 길이방향을 따라 배치되도록 상기 지지암에 설치된 세척수매니폴드와, 상기 세척수매니폴드유로에 연통하고 상기 지지암에 지지되며 상기 연마패드의 상면을 향해 분사할 수 있도록 설치된 세척수분사노즐과, 일단이 상기 세척수매니폴드유로에 연통되도록 설치된 세척수공급관과, 구동부하우징과 상기 구동부하우징에 설치된 지지암구동모터와 상기 지지암구동모터의 회전력을 상기 지지암에 전달하는 감속전동부를 구비한 지지암구동부와, 상기 세척수분사노즐의 분사동작을 제어하는 분사제어부를 갖는 세척수분사장치에 있어서, 상기 감속전동부는 상기 지지암에 회전력을 전달할 수 있도록 상기 구동부하우징에 설치된 감속기출력축과 상기 지지암구동모터의 회전속도를 감속하여 상기 감속기출력축에 전달하는 감속동작부를 구비한 감속기를 포함하고; 상기 감속전동부는 상기 지지암에 회전력을 전달할 수 있도록 상기 구동부하우징에 설치된 감속기출력축과 상기 지지암구동모터의 회전속도를 감속하여 상기 감속기출력축에 전달하는 감속동작부를 구비한 감속기를 포함하고; 상기 지지암구동부는 상기 연마패드가 회전하는 방향을 연마패드순방향이라고 하고 상기 연마패드순방향에 반대되는 방향을 연마패드역방향이라고 할 때 상기 지지암이 상기 연마패드순방향을 따라 회동하다가 상기 연마패드역방향으로 회동방향을 전환하기 위한 역방향회동전환위치와 상기 지지암이 상기 연마패드역방향을 따라 회동하다가 상기 연마패드순방향으로 회동방향을 전환하기 위한 순방향회동전환위치를 검출하는 회동전환위치검출부를 포함하고; 상기 분사제어부는 상기 회동전환위치검출부로부터의 검출결과에 기초하여 상기 지지암이 상기 연마패드순방향을 따라 회동하는 동안 상기 세척수분사노즐의 분사동작이 이루어지고 상기 지지암이 상기 연마패드역방향을 따라 회동하는 동안 상기 세척수분사노즐의 분사동작이 중지되도록 상기 세척수분사노즐의 분사동작을 제어하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 연마패드의 그루브에 진입한 슬러리와 연마부산물을 효율적으로 세척할 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种清洗喷水装置。根据本发明的实施例的清洗喷水装置包括安装在抛光垫周围的支撑臂; 清洁水歧管，其安装在所述支撑臂上以在所述支撑臂的纵向方向上布置清洁水歧管流路; 连接到清洁水歧管流路的清洁水喷嘴由支撑臂支撑，并将清洁水喷射到抛光垫的上侧; 连接到清洁水歧管流路的清洗水供给管; 支撑臂驱动单元，其包括驱动单元壳体和设置在驱动单元壳体中的减速电动机部分和支撑臂驱动电动机; 以及喷雾控制单元，其控制清洁水喷嘴的喷射操作。

10. 发明授权

KR102088248B1 히터 자켓을 위한 친환경 부직포 단열재 제조장치 有权
公开(公告)号：KR102088248B1
公开(公告)日：2020-03-12
申请号：KR1020180145052
申请日：2018-11-22
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 권병호 , 박선일 , 국존호 , 김대국
IPC分类号： D04H1/425 , D04H1/54 , D04H13/00 , H05B3/58

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