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1. 外观设计

KR3009196690000S 有权
公开(公告)号：KR3009196690000S
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：KR3020160064184
申请日：2016-12-29
申请人： 주식회사 티에스시
设计人： 박선일 , 김오수

2. 发明授权

KR101587894B1 슬러리공급장치 有权
标题翻译：浆料供应装置
公开(公告)号：KR101587894B1
公开(公告)日：2016-01-25
申请号：KR1020150023836
申请日：2015-02-17
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/67 , H01L41/22
CPC分类号： H01L21/304 , H01L21/67017 , H01L41/22
摘要： 본발명은슬러리공급장치에관한것으로서, 연마패드와, 상기연마패드를회전구동하는연마패드구동부와, 상기연마패드의상측에서상기연마패드에대향하도록설치된연마헤드와, 상기연마헤드를회전구동하는연마헤드구동부를갖는화학기계식웨이퍼연마장치의주위에설치되어상기연마패드의상측으로슬러리를공급하기위한슬러리공급장치에있어서, 내부에공급공동저장실과복귀공동저장실이분리형성되어있고, 직선상으로이격배치된다수의개별저장실이상기공급공동저장실과상기복귀공동저장실과분리형성되어있고, 상기개별저장실각각의바닥면에는외부와상기개별저장실의내부를연결하는슬러리배출공이형성되어있고, 상기공급공동저장실의내부와상기개별저장실각각의내부를연결하는공급슬러리통과공이형성되어있고, 상기복귀공동저장실의내부와상기개별저장실각각의내부를연결하는복귀슬러리통과공이형성되어있고, 외부와상기공급공동저장실의내부를연결하는슬러리공급공이형성되어있고, 외부와상기복귀공동저장실의내부를연결하는슬러리복귀공이형성되어있고, 상기개별저장실각각의천장면에는외부와상기개별저장실의내부를연결하는압력전달공이형성되어있으며, 상기슬러리배출공이상기연마패드를향하도록설치되는슬러리공급블럭과; 탱크유출공과탱크유입공이형성되어있는슬러리저장탱크와; 상기탱크유출공과상기슬러리공급공사이를연결하는슬리러공급관과; 상기슬러리복귀공과상기탱크유입공을연결하는슬리러복귀관과; 상기슬러리공급관에설치되어상기슬러리저장탱크에저장된슬러리를상기슬러리공급관을통해상기공급공동저장실로이송하는펌프와; 상기개별저장실에일 대일로대응하도록설치되고, 압전층에역압전효과(逆壓電效果)가발생할때 상기개별저장실에저장된슬러리가상기슬러리배출공을통과하여상기연마패드를향해배출되도록상기압력전달공을통해상기개별저장실의내부에배출압력을제공하는압전소자엑추에이터와; 상기압전층에역압전효과(逆壓電效果)가발생하도록동작전압을인가하는압전작동부를포함하는것을특징으로한다. 이에의해, 슬러리배출공별로슬러리배출여부를선택할수 있고슬러리배출공별로슬러리배출양을정확하게조절할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及浆料供给装置。浆料供给装置安装在化学机械晶片抛光装置周围，以将浆料供应到抛光垫的上侧，其中化学机械晶片抛光装置包括：抛光垫; 抛光垫驱动单元，用于旋转抛光垫; 抛光头，其安装成在抛光垫的上侧面对抛光垫; 以及用于旋转抛光头的抛光头驱动单元。

3. 发明公开

KR1020150011642A 가스배관용 보호커버 조립체 审中-实审
标题翻译：气管线保护罩总成
公开(公告)号：KR1020150011642A
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：KR1020130086850
申请日：2013-07-23
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： F17D1/18 , F16L53/00 , F16L59/14
摘要： Disclosed is a protection cover assembly for a gas pipe line, providing heat insulation to a heater, and allowing a heater to be simply installed to provide heat insulation to the gas pipe line. To achieve this, provided is the protection cover assembly for the gas pipe line, comprising: a cover of a straight protection cover assembly formed to surround a straight gas pipe line under 0.5 inches, and the protection cover assembly for the gas pipe line including a straight protection cover composed of a plurality of fixing members in a longitudinal direction on both ends of the body of the straight protection cover. According to the present invention, the protection cover assembly is easily removed in narrow space or a place where gas pipe lines are installed in a compact manner by being installed on the gas pipe line without an additional tool.
摘要翻译：公开了一种用于气体管线的保护盖组件，其向加热器提供隔热，并允许简单地安装加热器以向气体管线提供隔热。为了实现这一点，提供了用于气体管线的保护盖组件，包括：直立保护盖组件的盖，其形成为围绕0.5英寸以下的直管式管线，以及用于气体管线的保护盖组件，包括直保护盖，由直线保护罩的主体的两端沿长度方向的多个固定部件构成。根据本发明，在没有附加工具的情况下，通过安装在燃气管路上，在狭窄的空间或气体管线的紧密安装的位置容易地将保护盖组件移除。

4. 发明授权

KR101814554B1 에지전극이 내장된 정전척 및 그 제조방법 有权
标题翻译：内置边缘电极的静电吸盘及其制造方法
公开(公告)号：KR101814554B1
公开(公告)日：2018-01-03
申请号：KR1020170116930
申请日：2017-09-13
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 권병호 , 박선일 , 국존호 , 박선태 , 한태인 , 김동훈 , 김대국 , 곽태원
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15
CPC分类号： H01L21/6831 , B23Q3/15 , H01L21/6835 , H02N13/00
摘要： 웨이퍼에지부와의흡착력을충분하게확보하고, 웨이퍼가정전척으로부터탈리되는속도를높이며, 적층및 소결에의해제조할수 있는에지전극이내장된정전척및 그제조방법을제시한다. 그정전척및 방법은베이스와접착된복합유전층을포함하고, 복합유전층은히터유전층및 정전유전층으로구분되며, 정전유전층에는중심전극및 에지전극으로이루어진흡착전극이매립되고, 에지전극은중심전극의외측에위치하고중심전극과평행하며, 중심전극보다탑재된웨이퍼에가깝게배치되고, 정전유전층은적층되어소결에의해제조된다.
摘要翻译：充分地获取所述晶片部分之间的吸引力，它增加了在该解吸从晶片jeoncheok家，提出了一种静电卡盘及其制造电极被嵌入在边缘通过层压和烧结来制备的方法中的速率。在静电卡盘和复合电介质层的方法，并且包括结合到所述基部的复合介质层将通过加热介电层和所述静电电介质层，静电电介质层，其由中心电极和电极的边缘的吸附电极嵌入分离，边缘电极是中心电极配置在中心电极的外侧，平行于中心电极，比中心电极更靠近安装的晶片，并且静电电介质层被层压并通过烧结制造。

5. 发明授权

KR101439989B1 배관용 히터 및 배관히터용 전자파 차폐장치 有权
标题翻译：管式加热器和EMF屏蔽装置
公开(公告)号：KR101439989B1
公开(公告)日：2014-09-12
申请号：KR1020130166550
申请日：2013-12-30
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： H05B3/48
CPC分类号： H05B3/58 , F16L53/38 , H05K9/009
摘要： The present invention relates to a pipe heater and an electromagnetic wave shielding apparatus for the pipe heater. The pipe heater, having a heat generating portion which has a heating element and is equipped to deliver heat generated from the heating element to an object to be heated and a sheath disposed in the outer area of the heat generating portion, comprises: a shielding portion including a shield layer part which is disposed in the inner side of the sheath and is formed by using a conductive felt material, and a shielding line in which one end is electrically connected to the shielding layer and the other end is exposed to the outside; and an insulating layer disposed between the shielding layer and the heating element. Thus, malfunctions of a heater controller and an apparatus controller due to the electromagnetic waves generated from the pipe heater itself and peripheral devices of the pipe heater can be prevented, and the health of workers can be protected from the electromagnetic waves.
摘要翻译：本发明涉及一种用于管式加热器的管式加热器和电磁波屏蔽装置。具有发热部分的发热部分具有加热元件并且被配置为将从加热元件产生的热量传递到被加热物体，以及设置在发热部分的外部区域中的护套，包括：屏蔽部分包括设置在护套的内侧并通过使用导电毡材料形成的屏蔽层部分和其一端电连接到屏蔽层并且另一端暴露于外部的屏蔽线; 以及设置在所述屏蔽层和所述加热元件之间的绝缘层。因此，可以防止加热器控制器和设备控制器由于管道加热器本身和管道加热器的外围设备产生的电磁波的故障，并且可以保护工人的健康，免受电磁波的伤害。

6. 发明授权

KR101431663B1 단열구조 및 이를 포함하는 배관용 히터 有权
标题翻译：绝缘结构和管道加热器
公开(公告)号：KR101431663B1
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：KR1020130153651
申请日：2013-12-11
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： F16L53/00 , F16L59/14 , H05B3/40
摘要： The present invention relates to an insulation structure and a pipe heater therewith and, more specifically, to the insulation structure installed between a heating part which has a heating unit installed to conduct heat generated from the heating unit to a heated target and an outer cover arranged to be separated from the heating part, preventing heat generated from the heating unit from conducting to the outer cover. The present invention comprises: a supporting part of an insulation felt member in which a plurality of receiving grooves for the insulation felt member are formed in the same direction; the insulation felt member made of a polytetrafluoroethylene (PTFE) material in a felt form and inserted into the receiving groove for the insulation felt member; and having a feature whereby the receiving groove for the insulation felt is installed between the heating part and the outer cover heading for the heating part. Therefore, the present invention can stably maintain a thermal conductivity of the insulation structure.
摘要翻译：本发明涉及一种绝缘结构和一种管式加热器，更具体地说，涉及一种绝缘结构，该绝缘结构安装在具有加热单元的加热部件之间，该加热部件被安装成将加热单元产生的热量传导到加热靶材，与加热部分分离，防止从加热单元产生的热量传导到外盖。本发明包括：绝缘毡构件的支撑部分，其中多个用于绝缘毡构件的容纳槽沿同一方向形成; 由毡状的聚四氟乙烯（PTFE）材料制成并插入到绝缘毡部件的接收槽中的绝缘毡构件; 并且具有这样的特征，即，用于绝缘毡的接收槽安装在加热部件和朝向加热部件的外盖之间。因此，本发明可以稳定地保持绝缘结构的导热性。

7. 发明授权

KR102088248B1 히터 자켓을 위한 친환경 부직포 단열재 제조장치 有权
公开(公告)号：KR102088248B1
公开(公告)日：2020-03-12
申请号：KR1020180145052
申请日：2018-11-22
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 권병호 , 박선일 , 국존호 , 김대국
IPC分类号： D04H1/425 , D04H1/54 , D04H13/00 , H05B3/58

8. 发明授权

KR101655253B1 배관용 히터 有权
标题翻译：管加热器
公开(公告)号：KR101655253B1
公开(公告)日：2016-09-08
申请号：KR1020140164926
申请日：2014-11-25
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： H05B3/06 , F16L53/00 , H05B3/34 , H05B3/56
摘要： 본발명은배관용히터에관한것으로서, 전길이구간에걸쳐한 쌍의분리면이형성되어있는관형태의단열층부와, 상기단열층부를둘러싸도록상기단열층부의외표면에결합된외피와, 상기단열층부의내측에설치된발열선을구비한발열층부와, 상기발열층부를둘러싸도록상기발열층부의내측에설치된내피를갖는배관용히터에있어서, 상기외피는폴리이미드섬유(Polyimide Fiber)로짠 직물의양면에수지와고무재질중 어느하나를코팅하여형성된직물외피층을포함하는것을특징으로한다. 이에의해, 직물구조로형성된외피또는내피의단열성을향상시킬수 있다.

9. 发明公开

KR1020160062360A 배관용 히터 有权
标题翻译：管加热器
公开(公告)号：KR1020160062360A
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：KR1020140164926
申请日：2014-11-25
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： H05B3/06 , F16L53/00 , H05B3/34 , H05B3/56
CPC分类号： H05B3/06 , F16L53/30 , F16L53/35 , H05B3/34 , H05B3/56
摘要： 본발명은배관용히터에관한것으로서, 전길이구간에걸쳐한 쌍의분리면이형성되어있는관형태의단열층부와, 상기단열층부를둘러싸도록상기단열층부의외표면에결합된외피와, 상기단열층부의내측에설치된발열선을구비한발열층부와, 상기발열층부를둘러싸도록상기발열층부의내측에설치된내피를갖는배관용히터에있어서, 상기외피는폴리이미드섬유(Polyimide Fiber)로짠 직물의양면에수지와고무재질중 어느하나를코팅하여형성된직물외피층을포함하는것을특징으로한다. 이에의해, 직물구조로형성된외피또는내피의단열성을향상시킬수 있다.
摘要翻译：本发明是一种管式加热器，它包括一个具有管状形状的隔热层和一组形成在整个长度部分上的分隔面; 耦合到绝热层的外表面以包围隔热层的外皮; 具有散热线并且安装在所述隔热层内部的散热层; 以及安装在散热层的内部以包围散热层的内表皮。此外，外皮包括通过在由聚酰亚胺纤维制成的织物的两个表面上涂覆树脂和橡胶材料之一而形成的织物外皮层。因此，可以提高在织物结构中形成的外层或内层的隔热性。

10. 发明授权

KR101619061B1 배관용 히터 有权
标题翻译：管加热器
公开(公告)号：KR101619061B1
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：KR1020140164928
申请日：2014-11-25
申请人： 주식회사 티에스시
发明人： 김오수 , 박선일
IPC分类号： H05B3/06 , F16L53/00 , H05B3/34 , H05B3/56 , B32B27/06 , B32B27/12 , B32B27/28
CPC分类号： F16L53/008 , F16L53/38 , F16L59/14 , H05B3/58 , H05B2203/003 , H05B3/06 , B32B27/065 , B32B27/12 , B32B27/281 , B32B2266/0221 , F16L53/30 , F16L53/35 , H05B3/34 , H05B3/56
摘要： 본발명은배관용히터에관한것으로서, 전길이구간에걸쳐한 쌍의분리면이형성되어있는관형태의단열층부와, 상기단열층부를둘러싸도록상기단열층부의외표면에결합된외피와, 상기단열층부의내측에설치된발열선을구비한발열층부와, 상기발열층부를둘러싸도록상기발열층부의내측에설치된내피를갖는배관용히터에있어서, 상기단열층부는폴리이미드폼(Polyimide Foam)으로형성된폴리이미드폼층을포함하고; 상기폴리이미드폼층과상기발열선사이에배치되어상기폴리이미드폼층에산재하는기포가상기발열선으로부터전달되는열에의해소멸되는것을방지하는보호층부를포함하는것을특징으로한다. 이에의해, 단열성이향상되고용이하게단열성을증가시킬수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于管道的加热器。用于管道的加热器包括：管状隔热层部分，其在其总纵向部分上形成有一对分离膜; 外涂层，其与绝热层部分的外表面结合以封闭隔热层部分; 加热层部，其包括设置在所述隔热层部内的加热线; 以及安装在加热层部内部以包围加热层部的内涂层。加热层部分的特征在于包括：由聚酰亚胺泡沫形成的聚酰亚胺泡沫层; 以及布置在聚酰亚胺泡沫层和加热丝之间的保护层部分，以防止分散在聚酰亚胺泡沫层上的气泡由于从加热丝传递的热量而熄灭。因此，根据本发明，能够容易地提高绝热性能。

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