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1. 发明授权

KR101713050B1 솔레노이드 일체형 N2 퍼지 노즐 有权
标题翻译：集成了电磁阀的N2净化喷嘴
公开(公告)号：KR101713050B1
公开(公告)日：2017-03-07
申请号：KR1020160021987
申请日：2016-02-24
申请人： 주식회사 싸이맥스 , 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용 , 조수연 , 양대운 , 임종대 , 김택승
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673 , H01L21/02 , H01L21/67
摘要： 본발명은반도체웨이퍼처리장치중 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 N2를공급하는 LPM(Load Port Module)의 N2 퍼지노즐에있어서, 상기 LPM(Load Port Module)에고정되고, 내측은상기노즐이관통삽입될수 있도록관통홀이형성되고, 상기관통홀상측에는제1 걸림턱과제2 걸림턱이형성된하우징; 상기노즐상단에결합되는노즐패드; 상기노즐패드상측에결합되고, 상하측이관통된횡격막이형성되어, N2 퍼지시압력에의해상기횡격막이팽창하면서리크를방지하고, 상기횡격막하측에돌기가형성되어상기횡격막이처지는것을지지하는고무패드; 상기노즐일측에형성되되, 상기제1 걸림턱하단에위치하는걸림판; 상기걸림판하단과상기제2 걸림턱사이에구비되는스프링; 및상기상기하우징내측에결합되고, 내부에상하측으로이동가능한이동부재가구비되며, 상기이동부재는상기노즐과고정되고, 전원이인가되면상기이동부재를하측으로이동시키는솔레노이드;를포함하는솔레노이드일체형 N2 퍼지노즐에관한것이다. 본발명에따르면, 반도체웨이퍼처리장치중 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 N2를공급하는 LPM(Load Port Module)의 N2 퍼지노즐에있어서, N2 퍼지노즐을일체로작동될수 있도록솔레노이드를결합시킴으로써, FOUP(Front Opening Unified Pod)가 LPM(Load Port Module)에안착시, LPM(Load Port Module)의노즐을솔레노이드를통해하측방향으로이동시켰다가 FOUP(Front Opening Unified Pod)이 LPM(Load Port Module)에안착되면, 스프링의탄성을통해노즐을다시상측방향으로이동시켜노즐이 FOUP(Front Opening Unified Pod)의 N2 inlet hole에기밀하게밀착되어리크를방지할수 있는솔레노이드일체형 N2 퍼지노즐을제공할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及LPM（装载端口模块）的N 2吹扫的喷嘴用于半导体晶片处理装置中，信息的LPM的供给N2到FOUP（前开式POD）（负载端口模块）圣地亚哥，通过与喷嘴内一个壳体，其上形成一个通孔以插入其中以及一个形成在该通孔的上侧上的与卡爪相接合的第一啮合爪任务2; 连接到喷嘴的上端的喷嘴垫; 被耦合到上喷嘴垫，所述上和贯穿隔板下部形成，而由N2隔膜yipaengchang吹扫压力防止泄漏，并且被形成在振动板，用于支撑在隔膜下垂的下橡胶垫的投影。锁定板，形成在所述喷嘴的一侧并位于所述第一锁定爪的下端; 设置在接合板的下端和第二接合爪之间的弹簧; 以及螺线管，该螺线管结合到壳体的内部并且包括可在其中上下移动的可动构件，螺线管被固定到喷嘴并且当通电时向下移动可动构件， N2清洗喷嘴。根据本发明，通过接合在N2螺线管吹扫LPM（装载端口模块）的喷嘴用于供给N2到FOUP（前开式POD）的半导体晶片处理装置中，以被一体地操作，N2清洗喷嘴，FOUP 中（装载端口模块）（统一波德前开）安装在，LPM（装载端口模块），然后通过（装载端口模块）LPM到LPM的螺线管转移向下FOUP（前开式POD）的喷嘴当安装时，通过在向上方向上移动所述喷嘴背面可以是与喷嘴紧密接触的弹簧弹性是紧紧在FOUP的N 2入口孔（前开式POD）提供设计成防止泄漏的电磁一个N 2吹扫的喷嘴。

2. 发明授权

KR101703854B1 솔레노이드 분리형 N2 퍼지 노즐 有权
标题翻译： N2电磁阀N2喷淋嘴用于防漏
公开(公告)号：KR101703854B1
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020160021985
申请日：2016-02-24
申请人： 주식회사 싸이맥스 , 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용 , 조수연 , 양대운 , 임종대 , 김택승
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673 , H01L21/02 , H01L21/67
摘要： 본발명은반도체웨이퍼처리장치중 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 N2를공급하는 LPM(Load Port Module)의 N2 퍼지노즐에있어서, 상기 LPM(Load Port Module)에고정되고, 상기노즐이관통삽입되도록관통홀이형성되며, 하단일측에상기노즐의하측이절곡되어절곡된부위가외부로노출되고노출된부위가상하측으로이동가능하도록형성된가이드홀이형성되고, 상기관통홀상측에는제1 걸림턱과제2 걸림턱이형성된하우징; 상기노즐상단에결합되는노즐패드; 상기노즐패드상측에결합되고, 상하측이관통된횡격막이형성되어, N2 퍼지시압력에의해상기횡격막이팽창하면서리크를방지하고, 상기횡격막하측에돌기가형성되어상기횡격막이처지는것을지지하는고무패드; 상기노즐일측에결합되되, 상기제1 걸림턱하단에위치하는걸림판; 상기걸림판하단과상기제2 걸림턱사이에구비되는스프링; 및상기하우징하단에결합되고, 내측에상하측으로이동가능한이동부재가구비되며, 상기이동부재에하측이결합되고상측은외부로돌출되어상기노즐의절곡된부위와결합되고, 전원이인가되면상기이동부재를하측으로이동시키는솔레노이드;를포함하는솔레노이드분리형 N2 퍼지노즐에관한것이다. 본발명에따르면, 반도체웨이퍼처리장치중 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 N2를공급하는 LPM(Load Port Module)의 N2 퍼지노즐에있어서, N2 퍼지노즐을일체로작동될수 있도록솔레노이드를결합시킴으로써, FOUP(Front Opening Unified Pod)가 LPM(Load Port Module)에안착시, LPM(Load Port Module)의노즐을솔레노이드를통해하측방향으로이동시켰다가 FOUP(Front Opening Unified Pod)이 LPM(Load Port Module)에안착되면, 스프링의탄성을통해노즐을다시상측방향으로이동시켜노즐이 FOUP(Front Opening Unified Pod)의 N2 inlet hole에기밀하게밀착되어리크를방지할수 있는솔레노이드분리형 N2 퍼지노즐을제공할수 있다.

3. 实用新型

KR200352329Y1 차량용 프리히터 失效
标题翻译：车辆预热器
公开(公告)号：KR200352329Y1
公开(公告)日：2004-06-04
申请号：KR2020040006669
申请日：2004-03-11
申请人： 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용
IPC分类号： B60H1/08
摘要： 본 고안은 프리히터에 관한 것으로서, 발열효율을 향상시킬 수 있는 동시에, 습기나 결로에 의한 누전 및 쇼트를 방지할 수 있는 차량용 프리히터를 제공한다. 본 고안은 차량(C)에 설치된 히터라지에이터(3)의 전방이나 후방에 선택적으로 설치되며, 전·후면이 관통되어 개방된 케이스(50)와; 단일체로 길게 형성되어 케이스(50)의 내부를 가로지르면서 설치되고, 외부에서 전원이 인가되면 발열하는 전열선(66)이 전체적으로 내장되며, 발열된 온기는 차량(C)의 송풍팬(4)에 의해 송풍되는, 적어도 하나의 박판형 세라믹발열판(60)과; 차량(C)의 외부측 온도를 측정하는 대기온도측정센서(82)와; 히터라지에이터(3)의 토출측 온도를 측정하는 토출온도측정센서(84)와; 차량(C)의 엔진(1)이 작동하는지를 감지하는 엔진작동감지부(86) 및; 전술된 대기 및 토출온도측정센서(82, 84)의 측정온도와, 차량(C)의 에어컨디셔너(A/C) 및 송풍팬(4)의 작동여부, 그리고 엔진작동감지부(86)로부터 인가되는 감지신호에 따라, 차량(C)의 배터리(B) 전원을 전술된 세라믹발열판(60)으로 인가하는 컨트롤부(90);를 포함한다. 따라서, 세라믹발열판(60)은 전열선(66)이 내장상태로 발열함에 따라, 누전 및 쇼트가 방지되면서 전체적으로 균일하게 발열한다.

4. 实用新型

KR2019890021238U 자동차용 바이메탈을 이용한 온도감지장치 失效
公开(公告)号：KR2019890021238U
公开(公告)日：1989-11-02
申请号：KR2019880005424
申请日：1988-04-15
申请人： 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용
IPC分类号： F16K31/70

5. 发明授权

KR100552992B1 파워스티어링 시스템의 유량조절밸브 失效
标题翻译：动力转向系统流量控制阀
公开(公告)号：KR100552992B1
公开(公告)日：2006-02-20
申请号：KR1020040029438
申请日：2004-04-28
申请人： 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용
IPC分类号： B62D5/08
摘要： 본 발명은 유로공(10a)을 갖는 파워스티어링 시스템의 유압제어기(10)에 일체로 장착되는 유량조절밸브에 관한 것이다. 본 발명은 상단이 차폐된 상태로 고정부재에 의하여 상기 유압제어기(10)에 장착되고, 스프링(514)에 의하여 탄력지지되는 스풀(512)이 내장되는 동시에, 상기 유압제어기(10)의 유로공(10a)과 긴밀하게 상응하면서, 스풀(512)의 작동에 의하여 개폐되는 오일공(500a)을 일측에 가지며, 하단에는 플랜지 이음을 위한 하단플랜지(515)를 갖는 원통형의 밸브본체(500); 상기 밸브본체(500)의 하단부로, 링형 패킹(614)이 외주면에 끼워진 보스(612) 및, 이 보스(612)에 축지지되는 로드(611)가 삽입되어, 상기 밸브본체(500)의 스풀(512)을 하부에서 작동시키는 솔레노이드(610); 상기 솔레노이드(610)가 내주면에 내장되고, 개방된 상단부에는 체결부재에 의하여 상기 밸브본체(500)의 하단플랜지(515)에 플랜지 이음되는 상단플랜지(625)를 갖는 캡형상의 하우징(620) 및; 상기 하우징(620)에 내장된 상기 솔레노이드(610)의 유동을 방지시키는 유동방지수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 밸브본체(500)에 솔레노이드(610)가 내장된 하우징(620)을 플랜지 이음으로 용이하게 직결시킬 수 있다.
파워스티어링, 오일, 유량, 솔레노이드, 하우징

6. 实用新型

KR200054306Y1 자동차용 바이메탈을 이용한 온도감지장치 失效
标题翻译：汽车用双金属温度传感装置
公开(公告)号：KR200054306Y1
公开(公告)日：1991-02-01
申请号：KR2019880005424
申请日：1988-04-15
申请人： 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용
IPC分类号： F16K31/70

7. 实用新型

KR200366223Y1 컷오프밸브 失效
标题翻译：截止阀
公开(公告)号：KR200366223Y1
公开(公告)日：2004-11-04
申请号：KR2020040023385
申请日：2004-08-16
申请人： 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용
IPC分类号： B62D5/07 , B62D5/06
摘要： 본 고안은 파워스티어링시스템의 기어박스에 내장되는 컷오프밸브에 관한 것이다. 본 고안은 일측에는 오일이 유입되는 소구경 및 대구경오리피스(110a, 110b)가 이격되어 마련되고, 타측에는 오일이 배출되는 배출오리피스(120)를 가지며, 이 소구경 및 대구경오리피스(110a, 110b) 사이의 내주면에는 돌출된 단턱부(130)를 갖는 밀폐형의 밸브실린더(100)와; 상기 밸브실린더(100)에 내장되어 밸브실린더(100)의 내부를 개폐시키며, 중심축상에는 밸브실린더(100)의 상기 단턱부(130)와 긴밀하게 선접촉하면서, 밸브실린더(100)의 내부를 차단하는 동시에, 후단부가 상기 대구경오리피스(110b)와 인접하는 테이퍼진 원추형의 스플랜더(210)를 갖는 스플(200)과; 상기 밸브실린더(100)의 타측 내부에서, 상기 스플(200)을 탄력적으로 지지하는 탄성체(300) 및; 상기 스플(200)의 상기 밸브실린더(100) 내부 개방시, 밸브실린더(100)에서 배출되는 오일을 제어하여, 오일을 점증적으로 완만하게 배출시키는 오일제어수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 오일제어수단이 오일을 점증시켜서 배출하므로, 기어박스의 유압이 안정적으로 보상되는 효과가 있다.

8. 实用新型

KR200356948Y1 가스차량의 액상분사식 연료공급시스템 失效
标题翻译：汽车液体喷射燃料供给系统
公开(公告)号：KR200356948Y1
公开(公告)日：2004-07-21
申请号：KR2020040010731
申请日：2004-04-19
申请人： 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용
IPC分类号： F02M21/02
摘要： 본 고안은 가스차량의 연료공급시스템에 관한 것이며, 연료공급시스템에서 인젝터를 경유한 액상의 가스를 리턴라인에 자연적으로 바이패스시키는 액상분사식 연료공급시스템을 제공한다. 이러한 본 고안은 차량의 엔진(E)이 시동되면, 봄베(10)에 저장된 액상의 가스를 펌프(P)가 펌핑하여, 액상상태로 공급라인(L1)을 통해 인젝터(20)로 공급하고, 인젝터(20)를 경유하는 액상의 가스는, 펌핑압에 의하여 인젝터(20)에 연결된 배출라인(L2)을 지나서, 압력조절기(30)의 하우징(31)에 마련된 연료유입챔버(32) 및 밸브포핏(34), 그리고 연료배출관(36)을 순차적으로 경유한 후, 리턴라인(L3)을 통해서 다시 봄베(10)로 순환하는 가스차량의 액상분사식 연료공급시스템에 있어서, 전술된 압력조절기(30)의 연료배출관(36)에는, 연료유입챔버(32)와 연통하는 바이패스포트(100)를 형성한 것을 특징으로 한다. 따라서, 바이패스포트(100)가 연료유입챔버(32)로 유입되는 액상의 가스 중에서 일부의 액상 가스를, 유입 즉시 연료배출관(36)으로 우회시켜서, 배출라인(L2)의 압력을 감압시키므로, 잔류가스에 의하여 배출라인(L2)이 팽창하는 것을 방지할 수 있다.

9. 发明公开

KR1020050104133A 파워스티어링 시스템의 유량조절밸브 失效
标题翻译：动力转向系统流量控制阀
公开(公告)号：KR1020050104133A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：KR1020040029438
申请日：2004-04-28
申请人： 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용
IPC分类号： B62D5/08
摘要： 본 발명은 유로공(10a)을 갖는 파워스티어링 시스템의 유압제어기(10)에 일체로 장착되는 유량조절밸브에 관한 것이다. 본 발명은 상단이 차폐된 상태로 고정부재에 의하여 상기 유압제어기(10)에 장착되고, 스프링(514)에 의하여 탄력지지되는 스풀(512)이 내장되는 동시에, 상기 유압제어기(10)의 유로공(10a)과 긴밀하게 상응하면서, 스풀(512)의 작동에 의하여 개폐되는 오일공(500a)을 일측에 가지며, 하단에는 플랜지 이음을 위한 하단플랜지(515)를 갖는 원통형의 밸브본체(500); 상기 밸브본체(500)의 하단부로, 링형 패킹(614)이 외주면에 끼워진 보스(612) 및, 이 보스(612)에 축지지되는 로드(611)가 삽입되어, 상기 밸브본체(500)의 스풀(512)을 하부에서 작동시키는 솔레노이드(610); 상기 솔레노이드(610)가 내주면에 내장되고, 개방된 상단부에는 체결부재에 의하여 상기 밸브본체(500)의 하단플랜지(515)에 플랜지 이음되는 상단플랜지(625)를 갖는 캡형상의 하우징(620) 및; 상기 하우징(620)에 내장된 상기 솔레노이드(610)의 유동을 방지시키는 유동방지수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 밸브본체(500)에 솔레노이드(610)가 내장된 하우징(620)을 플랜지 이음으로 용이하게 직결시킬 수 있다.

10. 发明公开

KR1020050091178A 차량용 프리히터 및 그 제어방법 无效
标题翻译：汽车预热器及其控制方法
公开(公告)号：KR1020050091178A
公开(公告)日：2005-09-15
申请号：KR1020040016357
申请日：2004-03-11
申请人： 인지컨트롤스 주식회사
发明人： 정구용
IPC分类号： B60H1/08
摘要： 본 발명은 프리히터에 관한 것으로서, 발열효율을 향상시킬 수 있는 동시에, 습기나 결로에 의한 누전 및 쇼트를 방지할 수 있는 차량용 프리히터 및 그 제어방법을 제공한다. 본 발명은 차량(C)의 외부측 대기온도 및 차량(C)에 설치된 히터라지에이터(3)의 토출측 온도를 대기 및 토출온도측정센서(82, 84)로 측정하는 단계(S1)와; 이 측정된 온도를 컨트롤부(90)가 설정된 온도와 비교하는 단계(S2)와; 이 비교된 온도가 설정된 온도 보다 작거나 같으면, 컨트롤부(90)가 차량(C)에 설치된 에어컨디셔너(A/C)의 작동여부를 감지하는 단계(S3)와; 에어컨디셔너(A/C)가 미작동하면, 컨트롤부(90)가 엔진작동감지부(86)를 통해 엔진(1)의 작동을 감지하는 단계(S4)와; 엔진(1)이 작동하면, 컨트롤부(90)가 송풍팬(4)의 작동을 감지하는 단계(S5) 및; 송풍팬(4)이 미작동하면, 컨트롤부(90)가 배터리(B)의 전원으로 프리히터의 박판형 세라믹발열판(60)을 작동시키는 단계(S6);를 포함하는 것을 특징으로 하며, 세라믹발열판(60)은 내부에 전체적으로 패턴되어 내장된 전열선(66)에 의하여 발열된다. 따라서, 세라믹발열판(60)은 전열선(66)에 의하여 박판화가 가능할 뿐만아니라, 누전 및 쇼트가 방지되면서 전체적으로 균일하게 발열한다.

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