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    • 4. 发明授权
    • 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치
    • 压电元件泄漏测试仪包装测试仪
    • KR101308935B1
    • 2013-09-23
    • KR1020110124536
    • 2011-11-25
    • 주식회사 로보스타
    • 최진석류인환양일찬이학표
    • H01L41/22
    • 본 발명은 압전소자 패키지의 리크 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반송장치에 의해 공급된 패키지의 리크 검사를 위한 패키지의 검사 셋팅 구조에 관한 것이다.
      본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치는, 압전소자용 패키지인 워크(Work)의 리크(Leak) 검사 장치에 있어서, 수평 배열되는 한 쌍의 제1 및 제2 X축 레일과; 상기 제1 및 제2 X축 레일 상으로 서로 이동되면서 왕복 회전을 하며, 다수개의 워크가 일렬로 배열되어 로딩되고, 각각 상기 제1 및 제2 X축 레일 상에 위치되어 서로 다른 공정을 수행하는 한 쌍의 셔틀 포켓(Shuttle Pocket)과; 상기 제1 또는 제2 X축 레일 상에 위치되며, 상기 한 쌍의 셔틀 포켓 중 어느 하나에 대해서 워크의 리크 검사를 수행하고, 상기 셔틀 포켓의 하단으로는 상기 셔틀 포켓을 상방향으로 올리는 가압부가 위치하며 상기 셔틀 포켓의 상단으로는 상기 가압부에 의해 상기 셔틀 포켓이 업되는 상황에서 상기 셔틀 포켓의 상부를 실링시키는 커버부를 포함하는 검사 유니트;를 포함하여 이루어질 수 있다.
    • 5. 发明公开
    • 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치
    • 压电元件泄漏测试仪包装测试仪
    • KR1020130058501A
    • 2013-06-04
    • KR1020110124536
    • 2011-11-25
    • 주식회사 로보스타
    • 최진석류인환양일찬이학표
    • H01L41/22
    • G01M3/26G01M3/40H01L41/00
    • PURPOSE: A testing apparatus of a leak testing package of a piezoelectric element package is provided to provide an impedance measuring structure of an aligned piezoelectric element package before and after pressurization. CONSTITUTION: A pair of first and second X-axis rails is horizontally arranged. A pair of shuttle pockets(30) processes different processes by being respectively arranged on the first and second X-axis rails. A bowl bushing(311) is formed under the shuttle pockets to be guided to an upper direction by a pressure unit(313). A pressure spring(32) for restoring an original position of the shuttle pockets is formed under the bowl bushing. The shuttle pockets are moved as a pressurized unit(31) following the first and second X-axis rails. A testing unit(40) performs a leak test of a work about one of the shuttle pockets.
    • 目的:提供压电元件封装的泄漏测试封装的测试装置,以在加压之前和之后提供对准的压电元件封装的阻抗测量结构。 构成:水平排列一对第一和第二X轴导轨。 一对穿梭槽(30)通过分别布置在第一和第二X轴轨道上来处理不同的过程。 碗形衬套(311)形成在穿梭槽下方,以通过压力单元(313)被引导到上方。 用于恢复穿梭袋的原始位置的压力弹簧(32)形成在碗衬套的下方。 穿梭槽随着第一和第二X轴导轨之后的加压单元(31)移动。 测试单元(40)执行关于其中一个穿梭袋的工作的泄漏测试。