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1. 发明授权

KR101214970B1 ＬＥＤ 웨이퍼의 정밀 탑재 장치 및 방법 有权
标题翻译：光发射二极管精密装载装置及方法
公开(公告)号：KR101214970B1
公开(公告)日：2012-12-24
申请号：KR1020100091859
申请日：2010-09-17
申请人： 주식회사 로보스타 , 주식회사 엘지씨엔에스
发明人： 류인환 , 이학표 , 양일찬 , 최성규 , 이병승
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , B65G49/07
摘要： LED 웨이퍼가안착될캐리어의포켓에대한위치정보를획득하여정밀하고신속한 LED 웨이퍼의이송작업을수행할수 있는 LED 웨이퍼의정밀탑재장치및 방법이개시된다. LED 웨이퍼의정밀탑재장치는다수의 LED 웨이퍼가탑재되는카세트와, 상기 LED 웨이퍼가안착되기위한다수의포켓이형성된캐리어와, 상기캐리어로안착될상기 LED 웨이퍼를정렬하는얼라인부와, 상기카세트로부터상기얼라인부로상기 LED 웨이퍼를이송하는이송로봇과, 상기얼라인부로이송된상기 LED 웨이퍼를흡착및 흡착해제시키는피커와, 상기피커를고정시키며상기포켓의위치정보를획득하는촬상부, 및상기피커및 상기촬상부를상기얼라인부로부터상기캐리어까지이송시키는 LED 웨이퍼탑재로봇을포함한다. 따라서, 신속하고정확하게 LED 웨이퍼를캐리어에로딩함으로써전체적인공정타임을줄일수 있고불량률을현저히낮출수 있다.

2. 发明授权

KR101308934B1 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 정렬, 공급 및 회수장치 有权
标题翻译：压电元件泄漏测试仪包装的对齐，供应和返回装置
公开(公告)号：KR101308934B1
公开(公告)日：2013-09-23
申请号：KR1020110124535
申请日：2011-11-25
申请人： 주식회사 로보스타
发明人： 최진석 , 류인환 , 양일찬 , 이학표
IPC分类号： H01L41/22
摘要： 본 발명은 압전소자 패키지의 리크 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 압전소자 패키지의 검사전 패키지의 정렬, 공급 및 반송에 관한 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 정렬, 공급 및 회수장치는 압전소자용 패키지인 워크(Work)의 리크(Leak) 검사 장치에 있어서, 상기 워크를 수용하고 공급하며, 상기 워크의 표리를 정렬시키는 볼 피더(Bowl Feeder)와 상기 볼 피더와 연결되어 직선형으로 상기 워크를 하나씩 인덱스 유니트로 공급하는 리니어 피더(Linear Feeder)를 포함하는 파트 피더(Parts Feeder)와; 일정 속도로 회전하는 턴테이블과, 상기 턴테이블 외주에 등간격으로 수직하게 형성되는 다수개의 노즐과, 상기 노즐의 상하 이동이 가능하도록 하는 업다운 유니트와, 상기 노즐을 통해 상기 리니어 피더로부터 공급된 워크를 흡착하도록 하는 진공라인과, 상기 턴테이블의 회전시 상기 진공라인의 꼬임을 방지하면서 회전이 가능하도록 하는 로터리 조인트를 포함하는 인덱스 유니트(Index Uint);를 포함하며, 상기 인덱스 유니트는 상기 파트 피더로부터 공급된 워크를 하나의 노즐을 통해 픽업하고, 픽업된 워크를 상기 턴테이블의 회전에 따라 워크를 수용하는 셔틀 포켓(Shuttle Pocket)에 로딩시키는 것을 특징으로 하여 이루어진다.

3. 发明授权

KR101273570B1 ＬＥＤ 웨이퍼 피커 有权
标题翻译：光发射二极管的选择器
公开(公告)号：KR101273570B1
公开(公告)日：2013-06-13
申请号：KR1020100091857
申请日：2010-09-17
申请人： 주식회사 로보스타 , 주식회사 엘지씨엔에스
发明人： 류인환 , 이학표 , 양일찬 , 이호중
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/06 , B65G47/91
摘要： 흡입력이 증대되고 LED 웨이퍼의 상면이 접촉될 우려 없이 안정된 흡착을 수행할 수 있는 LED 웨이퍼 피커가 개시된다. LED 웨이퍼 피커는 상부로 공급된 공기가 유선형으로 이루어진 토출면을 따라 양측으로 배출됨에 따라 하부의 LED 웨이퍼를 흡착하는 피커 본체, 및 상기 토출면의 하부에 배치되어 공기가 상기 토출면을 따라 이동될 수 있도록 하는 가이드 부재를 포함하는 LED 웨이퍼 피커에 있어서, 상기 가이드 부재의 중앙부에 형성되며 상기 토출면과 대응되는 부위 내에 위치하는 단일개의 중앙홀, 및 상기 가이드 부재의 하부 방향으로 돌출되게 일체로 연장 형성되어 상기 LED 웨이퍼를 지지하는 지지부를 포함한다. 따라서, 비교적 멀리 떨어져 있는 LED 웨이퍼를 용이하게 흡착할 수 있으며, LED 웨이퍼의 상면이 가이드 부재에 접촉되는 것을 방지시킴으로써 이물 오염에 의한 불량을 줄일 수 있다.

4. 发明授权

KR101872375B1 파티클 제거 방법 및 그 장치 有权
公开(公告)号：KR101872375B1
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：KR1020170019173
申请日：2017-02-13
申请人： 주식회사 로보스타
发明人： 최진석 , 김상범 , 양일찬
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/02052 , H01L21/02057 , H01L21/6704
摘要： 본발명은파티클제거방법및 그장치에관한것으로, 본발명은파티클제거부재의한쪽에점착액을묻히는단계; 상기파티클제거부재에묻은점착액을반건조시켜젤(gel)화시키는단계; 상기파티클제거부재의점착젤로칩에부착된파티클을제거하는단계; 상기파티클이붙은파티클제거부재의점착젤을제거하는단계; 상기점착젤이제거된파티클제거부재에새로운점착액을묻히는단계를포함한다. 본발명에따르면, 칩에부착된파티클을효율적으로제거할뿐만아니라부품의손실을최소화한다.

5. 发明授权

KR101259428B1 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사등급에 따른 반송장치 有权
标题翻译：根据压电元件泄漏测试仪包装测试等级的返回装置
公开(公告)号：KR101259428B1
公开(公告)日：2013-04-30
申请号：KR1020110124539
申请日：2011-11-25
申请人： 주식회사 로보스타
发明人： 최진석 , 류인환 , 양일찬 , 이학표
IPC分类号： H01L41/22 , H01L21/677
CPC分类号： H01L41/22 , H01L21/67721 , H01L21/67754 , H01L21/6838 , H01L22/30
摘要： PURPOSE: A return apparatus corresponding to a test grade of a package for a leak test of a piezoelectric element package is provided to reduce tack time by using a parallel double rail structure. CONSTITUTION: A first and a second x-axis rail(60,70), and a y-axis rail(80) are horizontally arranged. A shuttle pocket(30) is transferred according to the second x-axis rail. The shuttle pocket arranges works in a row. An unloading module(511) includes the works and nozzles corresponding to the works. A signal line(513) receives the unloading signal of the works attached to the unloading module. An unloading unit(50) performs a command according to the signal of a signal line.
摘要翻译：目的：提供一种对应于用于压电元件封装的泄漏测试的封装的测试等级的返回装置，以通过使用平行双轨结构来减少粘着时间。构成：水平地布置有第一和第二x轴导轨（60,70）和y轴导轨（80）。穿梭槽（30）根据第二x轴导轨传送。穿梭口袋连续排列作品。卸载模块（511）包括与工件相对应的工件和喷嘴。信号线（513）接收附着到卸载模块的作业的卸载信号。卸载单元（50）根据信号线的信号执行命令。

6. 发明公开

KR1020120029800A ＬＥＤ 웨이퍼의 정밀 탑재 장치 및 방법 有权
标题翻译：光发射二极管精密装载装置及方法
公开(公告)号：KR1020120029800A
公开(公告)日：2012-03-27
申请号：KR1020100091859
申请日：2010-09-17
申请人： 주식회사 로보스타 , 주식회사 엘지씨엔에스
发明人： 류인환 , 이학표 , 양일찬 , 최성규 , 이병승
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67721 , H01L21/67766 , H01L21/681 , H01L21/6838
摘要： PURPOSE: An apparatus and method for precisely loading an LED wafer are provided to reduce process time by loading an LED wafer on a carrier. CONSTITUTION: A transfer robot(40) transfers an LED wafer from a cassette(10) to an aligning unit(93). A picker absorbs and releases an LED wafer which is transferred from the alignment unit. An imaging unit(80) fixes the picker and obtains location information of the pocket. An LED wafer mounting robot(95) transfers the picker and the imaging unit from the aligning unit to a carrier(30).
摘要翻译：目的：提供用于精确加载LED晶片的装置和方法，以通过将LED晶片装载在载体上来缩短处理时间。构成：传送机器人（40）将LED晶片从盒（10）传送到对准单元（93）。拾取器吸收并释放从对准单元传送的LED晶片。成像单元（80）固定拾取器并获得口袋的位置信息。 LED晶片安装机器人（95）将拾取器和成像单元从对准单元传送到载体（30）。

7. 发明授权

KR101308935B1 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치 有权
标题翻译：压电元件泄漏测试仪包装测试仪
公开(公告)号：KR101308935B1
公开(公告)日：2013-09-23
申请号：KR1020110124536
申请日：2011-11-25
申请人： 주식회사 로보스타
发明人： 최진석 , 류인환 , 양일찬 , 이학표
IPC分类号： H01L41/22
摘要： 본 발명은 압전소자 패키지의 리크 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반송장치에 의해 공급된 패키지의 리크 검사를 위한 패키지의 검사 셋팅 구조에 관한 것이다.
본 발명에 따른 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치는, 압전소자용 패키지인 워크(Work)의 리크(Leak) 검사 장치에 있어서, 수평 배열되는 한 쌍의 제1 및 제2 X축 레일과; 상기 제1 및 제2 X축 레일 상으로 서로 이동되면서 왕복 회전을 하며, 다수개의 워크가 일렬로 배열되어 로딩되고, 각각 상기 제1 및 제2 X축 레일 상에 위치되어 서로 다른 공정을 수행하는 한 쌍의 셔틀 포켓(Shuttle Pocket)과; 상기 제1 또는 제2 X축 레일 상에 위치되며, 상기 한 쌍의 셔틀 포켓 중 어느 하나에 대해서 워크의 리크 검사를 수행하고, 상기 셔틀 포켓의 하단으로는 상기 셔틀 포켓을 상방향으로 올리는 가압부가 위치하며 상기 셔틀 포켓의 상단으로는 상기 가압부에 의해 상기 셔틀 포켓이 업되는 상황에서 상기 셔틀 포켓의 상부를 실링시키는 커버부를 포함하는 검사 유니트;를 포함하여 이루어질 수 있다.

8. 发明公开

KR1020130058501A 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 검사장치 有权
标题翻译：压电元件泄漏测试仪包装测试仪
公开(公告)号：KR1020130058501A
公开(公告)日：2013-06-04
申请号：KR1020110124536
申请日：2011-11-25
申请人： 주식회사 로보스타
发明人： 최진석 , 류인환 , 양일찬 , 이학표
IPC分类号： H01L41/22
CPC分类号： G01M3/26 , G01M3/40 , H01L41/00
摘要： PURPOSE: A testing apparatus of a leak testing package of a piezoelectric element package is provided to provide an impedance measuring structure of an aligned piezoelectric element package before and after pressurization. CONSTITUTION: A pair of first and second X-axis rails is horizontally arranged. A pair of shuttle pockets(30) processes different processes by being respectively arranged on the first and second X-axis rails. A bowl bushing(311) is formed under the shuttle pockets to be guided to an upper direction by a pressure unit(313). A pressure spring(32) for restoring an original position of the shuttle pockets is formed under the bowl bushing. The shuttle pockets are moved as a pressurized unit(31) following the first and second X-axis rails. A testing unit(40) performs a leak test of a work about one of the shuttle pockets.
摘要翻译：目的：提供压电元件封装的泄漏测试封装的测试装置，以在加压之前和之后提供对准的压电元件封装的阻抗测量结构。构成：水平排列一对第一和第二X轴导轨。一对穿梭槽（30）通过分别布置在第一和第二X轴轨道上来处理不同的过程。碗形衬套（311）形成在穿梭槽下方，以通过压力单元（313）被引导到上方。用于恢复穿梭袋的原始位置的压力弹簧（32）形成在碗衬套的下方。穿梭槽随着第一和第二X轴导轨之后的加压单元（31）移动。测试单元（40）执行关于其中一个穿梭袋的工作的泄漏测试。

9. 发明公开

KR1020120029798A ＬＥＤ 웨이퍼 피커 有权
标题翻译：光发射二极管的选择器
公开(公告)号：KR1020120029798A
公开(公告)日：2012-03-27
申请号：KR1020100091857
申请日：2010-09-17
申请人： 주식회사 로보스타 , 주식회사 엘지씨엔에스
发明人： 류인환 , 이학표 , 양일찬 , 이호중
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/06 , B65G47/91
CPC分类号： H01L21/6838 , B25J15/0616 , B25J15/0683 , B65G47/911 , B65G51/03 , B65G2249/045
摘要： PURPOSE: An LED wafer picker is provided to easily absorb an LED wafer by increasing a suction force through a central hole of a guide member. CONSTITUTION: A guide member(20) is arranged on the lower side of a discharge surface(11). A central hole(25) is formed in the center of the guide member. A central hole is arranged to correspond to the discharge surface. A support unit(30) is extended in a downward direction of the guide member. The support unit supports an LED wafer(99).
摘要翻译：目的：提供LED晶片拾取器，以通过增加通过引导构件的中心孔的吸力来容易地吸收LED晶片。构成：引导构件（20）布置在排放表面（11）的下侧。中心孔（25）形成在引导构件的中心。中心孔布置成对应于排放表面。支撑单元（30）沿着引导构件的向下方向延伸。支撑单元支撑LED晶片（99）。

10. 发明授权

KR101273571B1 ＬＥＤ 웨이퍼 피커 有权
公开(公告)号：KR101273571B1
公开(公告)日：2013-06-13
申请号：KR1020100091858
申请日：2010-09-17
申请人： 주식회사 로보스타 , 주식회사 엘지씨엔에스
发明人： 류인환 , 이학표 , 양일찬 , 이호중
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B25J15/06 , B65G47/91
摘要： 흡입력이 증대되고 LED 웨이퍼의 상면이 접촉될 우려 없이 안정된 흡착을 수행할 수 있는 LED 웨이퍼 피커가 개시된다. LED 웨이퍼 피커는 상부로 공급된 공기가 유선형으로 이루어진 토출면을 따라 양측으로 배출됨에 따라 하부의 LED 웨이퍼를 흡착하는 피커 본체, 및 상기 토출면의 하부에 배치되어 공기가 상기 토출면을 따라 이동될 수 있도록 하는 가이드 부재를 포함하는 LED 웨이퍼 피커에 있어서, 상기 가이드 부재의 중앙부에 형성되며 상기 토출면과 대응되는 부위 내에 위치하는 단일개의 중앙홀, 및 상기 가이드 부재의 측면 방향으로 일체로 연장 형성되어 상기 LED 웨이퍼를 지지하는 지지부를 포함한다. 따라서, 비교적 멀리 떨어져 있는 LED 웨이퍼를 용이하게 흡착할 수 있으며, LED 웨이퍼의 상면이 가이드 부재에 접촉되는 것을 방지시킴으로써 이물 오염에 의한 불량을 줄일 수 있다.

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