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1. 发明公开

KR1020130130565A 3차원 형상 측정장치 有权
标题翻译：三维形状测量装置
公开(公告)号：KR1020130130565A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020120054475
申请日：2012-05-22
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 전문영
IPC分类号： G01B11/25 , G01N21/956
摘要： A three-dimensional shape measuring device comprises a lighting part, a projecting part, two or more camera parts, and a central processing part. The lighting part irradiates, with light, a measured object arranged on one side of a substrate. The projecting part irradiates the measured object with grid-patterned light. The camera parts obtain plane images of the measured object by receiving the reflection light of the light emitted from the lighting part to the measured object, and patterned images of the measured object by receiving the reflection light of the grid-patterned light emitted from the projecting part to the measured object. The central processing part calculates the height data of the measured object using the patterned images of the measured object obtained by the camera parts if the height is less than a reference height. If the height is over the reference height, the central processing part calculates the height data of the measured object using the image-formed positions of the plane images of the measured object obtained by the camera parts while matching the plane coordinates of the plane images using the phase or gray scale value of the patterns which are displayed on the pattern images obtained by the camera parts. Accordingly, the present invention expands the range of the height to be measured, and accurately and easily obtains a matching point in a stereo measuring method.
摘要翻译：三维形状测量装置包括照明部分，突出部分，两个或更多相机部分和中央处理部分。照明部分用光照射布置在基板一侧的被测物体。突出部分用网格图案的光照射被测物体。相机部件通过接收从照明部发射到测量对象的光的反射光，并且通过接收从突出部分发射的网格图案光的反射光，从而获得被测物体的平面图像测量对象的一部分。如果高度小于参考高度，则使用由相机部件获得的测量对象的图案图像来计算被测物体的高度数据。如果高度超过参考高度，则中央处理部分使用摄像机部件获得的测量对象的平面图像的图像形成位置来计算被测物体的高度数据，同时使用平面图像的平面坐标进行匹配由相机部件获得的图案图像上显示的图案的相位或灰度值。因此，本发明扩大了要测量的高度的范围，并且在立体测量方法中准确且容易地获得匹配点。

2. 发明授权

KR101207198B1 기판 검사장치 有权
标题翻译：板检查装置
公开(公告)号：KR101207198B1
公开(公告)日：2012-12-03
申请号：KR1020100004398
申请日：2010-01-18
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 홍종규 , 전문영 , 김홍민 , 허정 , 윤상규
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/30 , G01N21/88 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501
摘要： 검사정밀도를향상시킬수 있는기판검사장치가개시된다. 기판검사장치는적어도하나의조명모듈, 결상렌즈, 제1 빔스플리터, 제1 카메라및 제2 카메라를포함한다. 조명모듈은검사기판으로광을제공하고, 결상렌즈는검사기판로부터반사된광을투과시킨다. 제1 빔스플리터는결상렌즈를투과한광 중일부를투과시키고나머지를반사시킨다. 제1 카메라는제1 빔스플리터를투과한광을인가받아촬상하고, 제2 카메라는제1 빔스플리터에서반사된광을인가받아촬상한다. 이와같이, 하나의결상렌즈를이용하여검사기판을검사함에따라, 종래의결상렌즈들간의광축또는배율편차에기인한검사정밀도저하를방지할수 있다.

3. 发明公开

KR1020110085953A 3차원 형상 측정장치 无效
标题翻译：三维形状测量装置
公开(公告)号：KR1020110085953A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：KR1020110056863
申请日：2011-06-13
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 허정 , 전문영 , 김홍민 , 윤상규 , 홍종규
IPC分类号： G01B11/25 , G02B27/22 , G02B5/18
CPC分类号： G01B11/2531 , G02B27/22
摘要： PURPOSE: A three-dimensional shape measuring apparatus is provided to ensure reduced cost and convenient control and management by transferring two ore more grating units with a single grating transfer unit. CONSTITUTION: A three-dimensional shape measuring apparatus comprises a first grating unit(320), a second grating unit(420), and a grating transfer unit(500). The first grating unit has a first grating pattern(322) to generate a first grating pattern light. The second grating unit has a second grating pattern(422) to generate a second grating pattern light. The grating transfer unit simultaneously transfers the first and second grating units.
摘要翻译：目的：提供三维形状测量装置，通过用单个光栅传送单元传送两个以上的光栅单元，确保降低成本并方便控制和管理。构成：三维形状测量装置包括第一光栅单元（320），第二光栅单元（420）和光栅传送单元（500）。第一光栅单元具有第一光栅图案（322）以产生第一光栅图案光。第二光栅单元具有第二光栅图案（422）以产生第二光栅图案光。光栅传送单元同时传送第一和第二光栅单元。

4. 发明公开

KR1020110080472A 기판 검사장치 및 이를 이용한 기판 검사방법 有权
标题翻译：使用设备的板检查装置和板检查方法
公开(公告)号：KR1020110080472A
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：KR1020100000721
申请日：2010-01-06
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 홍종규 , 전문영 , 김홍민 , 허정 , 윤상규
IPC分类号： G01B11/25 , G01B11/30 , G01N21/956
摘要： PURPOSE: A substrate test device and a substrate test method using the same are provided to reduce the number of grating transfer units by grating units arranged on the same grating plane through a single grating transfer unit. CONSTITUTION: A substrate test device comprises illumination modules(100), a grating transfer unit(300), an image pickup module(400), and a control unit. Each illumination module includes an illumination unit(110), a grating unit(120) which changes the light generated by the illumination unit to the grating pattern light, and a projection lens for projecting the grating pattern light to a substrate being tested. The grating transfer unit simultaneously controls the grating units of the illumination modules predetermined times. The image pickup module photographs the grating pattern lights reflected off the substrate. The control unit inspects the substrate using the images obtained by the image pickup module.
摘要翻译：目的：提供一种基板测试装置和使用该基板测试装置的基板测试方法，以通过单个光栅传送单元在布置在相同光栅平面上的光栅单元减少光栅传送单元的数量。构成：基板测试装置包括照明模块（100），光栅传送单元（300），图像拾取模块（400）和控制单元。每个照明模块包括照明单元（110），将由照明单元产生的光改变为光栅图案光的光栅单元（120），以及用于将光栅图案光投影到正被测试的基板的投影透镜。光栅传送单元同时控制预定次数的照明模块的光栅单元。图像拾取模块拍摄从基板反射的光栅图案光。控制单元使用由图像拾取模块获得的图像来检查基板。

5. 发明授权

KR101035895B1 3차원형상 측정장치 有权
标题翻译：三维图像感应系统
公开(公告)号：KR101035895B1
公开(公告)日：2011-05-23
申请号：KR1020080082629
申请日：2008-08-23
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 전문영
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/00
摘要： 형상측정의 속도를 향상시키고 정확성을 향상시킬 수 있는 3차원형상 측정장치가 개시된다. 이러한 3차원형상 측정장치는 3차원형상 측정장치는 워크-스테이지, 다수의 투영부, 엑추에이터, 결상부 및 제어부를 포함한다. 상기 워크-스테이지는 측정 대상물을 지지하는 측정 기판상기 측정 기판측정기판을 고정한다. 상기 다수의 투영부는 각각이 광원, 상기 광원에서 조사된 빛을 투과시키는 격자 및 상기 격자의 격자이미지광을 상기 측정 기판 내의 측정대상물에 결상시키는 투영렌즈부를 포함하며, 상기 측정대상물에 대해 각각 다른 방향에서 격자이미지를 조사하기 위해서 정다각형의 각 꼭지점에 배열되고, 상기 광원에서 조사된 빛이 진행하는 방향과 상기 측정 기판의 법선이 일정 각도를 갖는다. 상기 엑추에이터는 상기 다수의 투영부 중, 이웃하는 두 개의 투영부의 격자를 동시에 움직이도록 제어할 수 있다. 상기 결상부는 상기 측정대상물에 의해 반사되는 상기 격자이미지 광을 수신한다. 상기 제어부는 상기 측정대상물의 형태에 따라 상기 다수개의 투영부 중 적어도 2개 이상을 선택적으로 턴온/턴오프한다.

6. 发明公开

KR1020110003208A 3차원 형상 측정장치 有权
标题翻译：三维形状测量装置
公开(公告)号：KR1020110003208A
公开(公告)日：2011-01-11
申请号：KR1020090060865
申请日：2009-07-03
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 허정 , 전문영 , 김홍민 , 윤상규 , 홍종규
IPC分类号： G01B11/25 , G02B27/22 , G02B5/18
摘要： PURPOSE: A three-dimensional shape measuring apparatus is provided to transport at least two grid units using one grid transport unit since the grid transport unit transports a grid unit in a direction slope to the arranging direction and the extending direction of a grid pattern. CONSTITUTION: A three-dimensional shape measuring apparatus comprises a first light source unit, a first grid unit(320), a first lighting unit(300) and a grid transport unit(500). The first light source unit generates light. The first grid unit changes the generated light to a first grid pattern light with a first grid pattern. The first lighting unit irradiates the first grid pattern light to a target(10) in a first direction. The grid transport unit transports the first grid unit in a direction slope to the arranging direction of the first grid pattern. The grid transport unit transports in a slope direction of 10~80° to at least one of the extending directions of the first grid pattern.
摘要翻译：目的：提供一种三维形状测量装置，用于使用一个网格传输单元传送至少两个网格单元，因为网格传送单元沿着网格图案的布置方向和延伸方向的斜率方向传送网格单元。构成：三维形状测量装置包括第一光源单元，第一栅格单元（320），第一照明单元（300）和栅格输送单元（500）。第一光源单元产生光。第一网格单元将生成的光改变为具有第一格栅图案的第一格栅图案光。第一照明单元将第一格栅图案光沿第一方向照射到目标（10）。网格传送单元沿着与第一网格图案的排列方向倾斜的方向传送第一格栅单元。电网输送单元沿着第一格栅图案的延伸方向的至少一个方向向10〜80°的倾斜方向输送。

7. 发明授权

KR100615576B1 3차원형상 측정장치 有权
标题翻译：三维图像测量仪
公开(公告)号：KR100615576B1
公开(公告)日：2006-08-25
申请号：KR1020040002400
申请日：2004-01-13
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 고광일 , 성은형 , 전문영
IPC分类号： G01B11/25
CPC分类号： G01B11/2518 , G01B11/25
摘要： 본 발명은 3차원형상 측정장치에 관한 것으로, XYZ축이송장치에 의해 X축, Y축 및 Z축으로 이송되어 워크스테이지에 지지되어 고정된 측정대상물의 일측에 격자이미지를 N번 주사하여 측정대상물에 의해 변형된 격자이미지를 N번 획득하고 교대로 측정대상물의 타측에 N번 주사하여 측정대상물에 의해 변형된 격자이미지를 N번 획득하는 이미지획득장치와, 이미지획득장치의 일측에 설치되어 소정의 파장을 갖는 광을 발생하여 입사하는 발광장치와, 워크스테이지와 XYZ축이송장치를 제어하여 이미지획득장치의 일측에 설치된 발광장치에서 발생된 광이 워크스테이지의 일측에 설정된 기준면으로 입사시킨 후 반사되는 광이미지를 이미지획득장치를 통해 수신받아 수직거리를 측정하여 측정대상물과 이미지획득장치의 초점거리를 일정하게 유지시킴과 아울러 이미지획득장치단에서 획득된 변형된 격자이미지를 각각 수신받아 측정대상물의 3차원형상을 산출하는 제어부로 구비하여, 보다 정밀한 3차원형상을 측정할 수 있도록 함에 있다.
회절격자, 분배기, 미러, 격자이미지, 3차원

8. 发明公开

KR1020040071593A 3차원형상 측정장치 有权
标题翻译：三维图像测量装置
公开(公告)号：KR1020040071593A
公开(公告)日：2004-08-12
申请号：KR1020040002400
申请日：2004-01-13
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 고광일 , 성은형 , 전문영
IPC分类号： G01B11/25
CPC分类号： G01B11/2518 , G01B11/25
摘要： PURPOSE: A three-dimensional image measuring apparatus is provided to make the apparatus by arranging a projection part and a three-dimensional camera on one line and is provided to precisely measure a three-dimensional image by removing a shadow area with respect to the three-dimensional image. CONSTITUTION: A three-dimensional image measuring apparatus includes an xyz-conveyance unit(10), a work stage(20), an image gathering unit(40), a light emitting unit. The xyz-conveyance unit(10) is installed on an upper side of a base member(30). The work stage has a predetermined reference surface installed in one side of the work stage(20). The work stage(20) is installed at the base member(30) and conveys an object to be measured to a measurement position. The light emitting unit emits light having a predetermined wavelength. The three-dimensional image measuring apparatus includes a first guide, a second guide, and a guide conveyance unit.
摘要翻译：目的：提供一种三维图像测量装置，用于通过在一条线上布置投影部分和三维照相机来制造该装置，并且被提供以通过去除三维图像的阴影区域来精确地测量三维图像维度图像。构成：三维图像测量装置包括xyz传送单元（10），工作台（20），图像采集单元（40），发光单元。 xyz输送单元（10）安装在基部构件（30）的上侧。工作台具有安装在工作台（20）一侧的预定参考表面。工作台（20）安装在基座构件（30）上，将待测物体输送到测量位置。发光单元发射具有预定波长的光。三维图像测量装置包括第一引导件，第二引导件和引导件输送单元。

9. 发明授权

KR101371371B1 형상 측정장치 有权
标题翻译：形状测量装置
公开(公告)号：KR101371371B1
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：KR1020120054477
申请日：2012-05-22
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 서장일 , 전문영 , 김홍민 , 허정 , 윤상규 , 홍종규
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02
摘要： 주파수 주사 간섭계(FSI)를 이용한 형상 측정장치가 개시된다. 상기 형상 측정장치는 파장 가변형 레이저 장치로부터 조사된 광을 확산시키는 확산판; 상기 확산판으로부터 조사된 광을 분할시키는 광분할 수단; 상기 광분할 수단을 통과한 광을 다시 상기 광분할 수단 측으로 반사시키는 레퍼런스 미러; 상기 광분할 수단에 의해 분할된 후 측정대상물로부터 반사된 다음 상기 광분할 수단을 통과하는 광과, 상기 광분할 수단을 통과한 후 레퍼런스 미러에 의해 반사된 다음 상기 광분할 수단에 의해 경로가 변경되는 광을 이미지 센서에 입사되도록 투과시키기 위한 제1 렌즈; 및 상기 확산판과 광분할 수단 사이에 위치하여 상기 확산판에 의해 확산된 광을 수렴시켜 상기 광분할 수단 측으로 입사되도록 하여 상기 광분할 수단에 의해 분할된 광이 사선으로 측정대상물에 입사되도록 함으로써 측정대상물로부터 반사된 후 상기 광분할 수단을 통과하여 상기 제1 렌즈로 입사되는 광의 면적을 넓힐 수 있는 제2 렌즈를 포함할 수 있다.

10. 发明公开

KR1020130130634A 파장가변형 레이저 장치 및 이의 튜닝 방법 有权
标题翻译：可激活的激光和调谐的相同的MATHOD
公开(公告)号：KR1020130130634A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020130055431
申请日：2013-05-16
申请人： 주식회사 고영테크놀러지
发明人： 서장일 , 전문영 , 김홍민 , 허정 , 윤상규 , 홍종규
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： G02B26/101 , H01J5/30 , H01S3/1302
摘要： A tunable laser device includes a laser ray source, a collimate lens, a diffraction grating and a mirror. The laser ray source outputs a laser ray. The collimate lens converges the laser ray outputted by the laser source, and outputs a parallel ray. The diffraction grating diffracts the rays incident from the collimate lens. The mirror reflects the rays, incident from the diffraction grating, to the diffraction grating, and includes another mirror having a rotary axis rotatable within a preset range of tuning angles and rotating with respect to the rotary axis which is set as a pivot point such that the wavelength of the laser ray varies according to mode hopping. Therefore, the present invention improves the tuning speed and the tuning stability.
摘要翻译：可调激光器件包括激光射线源，准直透镜，衍射光栅和反射镜。激光射线源输出激光。准直透镜会聚由激光源输出的激光，并输出平行光线。衍射光栅衍射从准直透镜入射的光线。反射镜将从衍射光栅入射的光线反射到衍射光栅，并且包括具有可在调谐角度的预设范围内旋转并且相对于被设置为枢转点的旋转轴线旋转的旋转轴线的另一反射镜，使得激光的波长根据跳频而变化。因此，本发明提高了调谐速度和调谐稳定性。

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