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1. 发明授权

KR101636698B1 스위치와 렛치 구조를 갖는 MEMS 구조의 가변 축전기, 이를 제작하는 방법, 및 이를 포함하는 전자장비 有权
标题翻译：具有切换和锁定机构的MEMS可变电容器，制造方法和具有该电气设备的电气设备
公开(公告)号：KR101636698B1
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：KR1020150011546
申请日：2015-01-23
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 백대현 , 은영기 , 권대성 , 김민욱 , 정태영
IPC分类号： H01G5/16 , H01G5/06 , H01G13/00
CPC分类号： H01G5/16 , H01G5/06 , H01G13/00
摘要： 위치와렛치를포함하는 MEMS 구조의가변축전기, 이를제작하는방법, 및이를포함하는전자장비가개시된다. 본발명의실시예에따른 MEMS 구조의가변축전기(100)는, 정전용량을가변시킬수 있는 MEMS(MEMS: Micro Electro Mechanical Systems)구조의가변축전기(100)로서, 제 1 전극(110); 상기제 1 전극(110)과전기적으로분리되도록소정거리만큼이격되어인접배치된둘 이상의제 2 전극(120); 제 1 전극(110)의일측에인접하여배치되고, 제 1 전극(110)의위치를변경시킴으로써제 1 전극(110)과제 2 전극(120) 사이의간극을조절하여축전기의용량을조절하는제 1 전극구동부(130); 인접하는두 개의제 2 전극(120) 사이와인접하여배치되고, 인접하는두 개의제 2 전극(120)을서로전기적으로연결시키는하나이상의연결스위치(140); 연결스위치(140)에구동력을제공하는연결스위치구동부(150); 및연결스위치(140)의위치를고정시키는연결스위치고정부(160);를포함하는것을구성의요지로한다.본발명의 MEMS 구조의가변축전기(100)에따르면, 넓은캐패시턴스튜닝범위를지님과동시에전 범위에서미세한캐패시턴스튜닝이가능한 MEMS 구조의가변축전기를제공할수 있다.
摘要翻译：公开了具有开关和闭锁机构的MEMS可变电容器，其制造方法以及具有该MEMS可变电容器的电子设备。根据本发明的一个实施例的MEMS可变电容器（100）是具有微机电系统（MEMS）结构并且具有可变电容的可变电容器（100）。 MEMS可变电容器（100）包括：第一电极（110）; 两个或更多个彼此相邻并且与第一电极（110）间隔开预定距离的第二电极（120），以与第一电极电隔离; 布置成与第一电极（110）相邻并且通过移动第一电极（110）来改变第一电极（110）和每个第二电极（120）之间的间隙的第一电极驱动部分（130），从而调节电容器的电容; 布置成与所述两个第二电极（120）相邻并且将所述两个第二电极（120）彼此电连接的连接开关（140）向所述连接开关（140）提供驱动力的连接开关驱动部（150）; 以及固定所述连接开关（140）的连接开关固定部（160）。根据本发明，可以提供一种具有宽电容调谐范围的MEMS可变电容器，并且可以在整个调谐范围内对其电容进行微调。

2. 发明授权

KR101176698B1 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 액추에이터 有权
标题翻译：双向电磁电磁扭矩微处理器
公开(公告)号：KR101176698B1
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：KR1020090016842
申请日：2009-02-27
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 은영기 , 나형주
IPC分类号： G02B26/08
摘要： 본 발명은 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 엑츄에이터에 관한 것으로서, 전류 또는 자기장의 방향을 제어하여 마이크로 거울의 회전방향을 양방향으로 효율적으로 제어할 수 있고, 특히, 간단한 구조를 가지면서도 양방향 효율적인 구동을 수행할 수 있어서 높은 제작 수율과 그에 따른 생산 단가를 현저하게 낮출 수 있을 뿐 아니라, 낮은 작동 전압에서 구동이 가능하여 낮은 작동전압이 요구되는 다양한 응용장치에 적용할 경우 효용성을 높일 수 있는 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 엑츄에이터에 관한 것이다.
엑츄에이터, 마이크로 거울, 좌굴, 주울열, 로렌츠 힘, 양방향 구동

3. 发明授权

KR101000642B1 ＭＥＭＳ구동기의 기계적 구속에 의한 마이크로 공진기의 고유 주파수 튜닝장치, 이를 구비한 마이크로 공진기, 그 제조방법 및 튜닝방법 失效
标题翻译：通过使用MEMS致动器的机械限制的微谐振器的谐振频率调谐装置，微谐振器具有相同的制造方法和调谐方法
公开(公告)号：KR101000642B1
公开(公告)日：2010-12-10
申请号：KR1020090015658
申请日：2009-02-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 이재익 , 박선우 , 은영기 , 정봉원
IPC分类号： G01J1/44 , H01S3/08 , H01P7/08
摘要： 본 발명은 MEMS구동기의 기계적 구속에 의한 마이크로 공진기의 고유 주파수 튜닝장치, 이를 구비한 마이크로 공진기, 그 제조방법 및 튜닝방법에 관한 것으로, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210)와, 상기 MEMS구동기(210)에 연동하여 마이크로 공진기의 스프링(140)에 접촉되거나 이격되는 방향으로 이동되는 샤프트 홀더(230)를 구비하여, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 상기 스프링(140)의 물리적 구속 상태를 연속적으로 변화시키며 상기 스프링(140)의 강성 및 상기 마이크로 공진기의 고유 주파수를 변화시키는 것을 기술적 요지로 하여, 실시간으로 연속적인 고유 주파수 튜닝이 가능하며, 수직형 콤드라이브 기반의 공진기에 적용가능한 구조를 가지는 MEMS구동기의 기계적 구속에 의한 마이크로 공진기의 고유 주파수 튜닝장치, 이를 구비한 마이크로 공진기, 그 제조방법 및 튜닝방법에 관한 것이다.
마이크로 공진기, MEMS구동기, 스프링, 튜닝, 기계적 구속

4. 发明授权

KR101074993B1 ＭＥＭＳ구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직형 마이크로 구동기 및 그 제조방법 有权
标题翻译：使用MEMS致动器的静电垂直微型致动器的组装装置，具有该致动器的静电垂直微型致动器及其制造方法
公开(公告)号：KR101074993B1
公开(公告)日：2011-10-18
申请号：KR1020090015659
申请日：2009-02-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 은영기
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00 , B81C99/00
摘要： 본발명은 MEMS구동기를이용한수직형마이크로구동기의조립장치, 이를구비한수직형마이크로구동기및 그제조방법에관한것으로, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210); 마이크로구동기의토션바(torsion bar)(140)의수직방향일측부에편중되게연결되는토션바연결빔(240); 및상기 MEMS구동기(210)에연결형성되는구동기연결부(221)와, 상기토션바연결빔(240)에연결형성되고조립에의해상기구동기연결부(221)와체결되는빔연결부(222)가구비되며, 상기 MEMS구동기(210)의작동에의해결정되는상기구동기연결부(221)와빔연결부(222)간의상대위치에따라상기토션바연결빔(240)을당기거나밀어내며상기토션바(140)의각도를조정하게되는조립연결장치(220);를포함하여구성되는것을기술적요지로하여, 마이크로가공공정을거쳐소자를제작한후 간단한조립에의해제작, 완성가능하여, 복잡하고번거로운화학적, 열적처리공정을추가로거치지않고, 보다간단하게제작가능하여높은제작수율을기대할수 있는 MEMS구동기를이용한수직형마이크로구동기의조립장치, 이를구비한수직형마이크로구동기및 그제조방법에관한것이다.

5. 发明公开

KR1020100096666A ＭＥＭＳ구동기를 이용한 수직형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직형 마이크로 구동기 및 그 제조방법 有权
标题翻译：使用MEMS致动器的静电垂直微型致动器的组装装置，具有该致动器的静电垂直微型致动器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100096666A
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：KR1020090015659
申请日：2009-02-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 은영기
IPC分类号： B81B7/00 , B81C1/00 , B81C99/00
摘要： PURPOSE: An assembly device of an electrostatic vertical micro actuator using an MEMS actuator, an electrostatic vertical micro actuator therewith, and a manufacturing method thereof are provided to continuously change the angle of a torsion bar by moving and deforming a torsion bar connecting beam. CONSTITUTION: An assembly device of an electrostatic vertical micro actuator using an MEMS actuator comprises a Micro Electro Mechanical System actuator(210), a torsion bar connecting beam(240), and a connection unit(220). The torsion bar connecting beam is connected to one side of a torsion bar(140) of a micro actuator. The connection unit has an actuator connector and a beam connector. The actuator connector is connected to the MEMS actuator. The beam connector is connected to the torsion bar connecting beam and is coupled to the actuator connector.
摘要翻译：目的：提供使用MEMS致动器的静电垂直微型致动器的组装装置，其静电垂直微型致动器及其制造方法，以通过使扭杆连接梁移动和变形来连续地改变扭杆的角度。构造：使用MEMS致动器的静电垂直微型致动器的组装装置包括微机电系统致动器（210），扭杆连接梁（240）和连接单元（220）。扭杆连接梁连接到微执行器的扭杆（140）的一侧。连接单元具有致动器连接器和梁连接器。致动器连接器连接到MEMS致动器。梁连接器连接到扭杆连接梁并且联接到致动器连接器。

6. 发明授权

KR101352941B1 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터 제조방법, 이 제조방법에 의해 제조된 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터 有权
标题翻译：微结构，微型致动器，微结构微型致动器的制造方法
公开(公告)号：KR101352941B1
公开(公告)日：2014-01-23
申请号：KR1020120060172
申请日：2012-06-05
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 은영기 , 이재익 , 최정욱 , 송영섭
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81C1/0015 , B81B2203/0136 , B82Y30/00 , G02B26/0841
摘要： 본 발명은 마이크로 구조물의 제조방법에 관한 것으로서, 마이크로 구조물 위에 고도로 정렬된 건식 접착 특성을 가지는 나노 물질 어레이를 직접 합성하여 마이크로 구조물의 소성변형 공정 시 접착물질로 활용되도록 함으로써, 기존과 같은 복잡한 가공공정을 사용하지 않고서도 마이크로 엑츄에이터를 일괄공정으로 간단하고 손쉽게 제작할 수 있는 마이크로 구조물 제조방법을 제공한다.

7. 发明授权

KR101192478B1 정렬된 탄소나노튜브 어레이를 접촉 재료로 사용하는 마이크로 기전 스위치의 스위칭 소자, 마이크로 기전 스위치 및 그 제조방법 有权
标题翻译：微电子机械开关的切换装置，基于对准的碳纳米管阵列的微电子机械开关作为接触材料及其制造方法
公开(公告)号：KR101192478B1
公开(公告)日：2012-10-18
申请号：KR1020110052834
申请日：2011-06-01
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 최정욱 , 이재익 , 은영기 , 김민욱
IPC分类号： H01H59/00 , B81B3/00
摘要： PURPOSE: A switching device of a micro electromechanical switch, the micro electromechanical switch, and a manufacturing method thereof are provided to stably transmit high current density by using the aligned carbon nano tube array. CONSTITUTION: A source electrode(10) is electrically connected to a drain electrode(20). The drain electrode is formed between a gate electrode(30) and the source electrode. A shuttle is movably connected to the drain electrode by a spring(22). A first contact device(41) is formed in one end of an anchor. A second contact device(42) is formed in one end of the shuttle.
摘要翻译：目的：提供微机电开关的开关装置，微机电开关及其制造方法，以通过使用对准的碳纳米管阵列稳定地传输高电流密度。构成：源电极（10）电连接到漏电极（20）。漏电极形成在栅电极（30）和源电极之间。梭子通过弹簧（22）可移动地连接到排出电极。第一接触装置（41）形成在锚的一端。第二接触装置（42）形成在梭子的一端。

8. 发明公开

KR1020130085906A 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터 제조방법, 이 제조방법에 의해 제조된 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터 有权
标题翻译：微结构，微型致动器，微结构微型致动器的制作方法
公开(公告)号：KR1020130085906A
公开(公告)日：2013-07-30
申请号：KR1020120060172
申请日：2012-06-05
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 은영기 , 이재익 , 최정욱 , 송영섭
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81C1/0015 , B81B2203/0136 , B82Y30/00 , G02B26/0841
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a micro structure and a micro actuator, the micro structure and the micro actuator manufactured by the same method are provided to manufacture the micro actuator simply and easily by synthesizing a nano material array directly and then using the nano material array as an adhesive material during plastic deformation process, and to oxidize and remove the nano material array easily in the air environment after the plastic process is finished. CONSTITUTION: According to a method for manufacturing a micro structure, nano material arrays (142,144) are synthesized with the micro structure and then are grown for a constant time. The micro structure has initial shape before the micro structure is deformed. The nano material array has dry adhesive property. The deformation state of the micro structure is maintained by the adhesive force of the nano material array, by performing plastic deformation in a high temperature inert gas environment under the state that the micro structure is transformed into a desired shape. The nano material array remaining in the plastically deformed micro structure is removed.
摘要翻译：目的：制造微结构和微型致动器的方法，通过相同的方法制造的微结构和微型致动器被提供，通过直接合成纳米材料阵列然后使用纳米材料阵列来简单且容易地制造微致动器在塑性变形过程中作为粘合剂材料，并且在塑性加工完成后，在空气环境中容易地氧化和除去纳米材料阵列。构成：根据微结构的制造方法，用微结构合成纳米材料阵列（142,144），然后长时间生长。微结构在微结构变形之前具有初始形状。纳米材料阵列具有干燥的粘合性能。微结构的变形状态通过纳米材料阵列的粘合力，通过在微结构转变成所需形状的状态下在高温惰性气体环境中进行塑性变形来维持。残留在塑性变形微结构中的纳米材料阵列被去除。

9. 发明公开

KR1020100097943A 양방향 구동 가능한 전열 전자기 회전형 마이크로 액추에이터 有权
标题翻译：双向电磁电磁扭矩微处理器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100097943A
公开(公告)日：2010-09-06
申请号：KR1020090016842
申请日：2009-02-27
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 은영기 , 나형주
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/085 , B81B7/02 , B81B2201/042 , G02B6/3584 , G02B26/105
摘要： PURPOSE: A micro-actuators for a bidirectional driven electrothermal device and a method of manufacturing the same are provided to drive a micro-mirror in bidirectional by applying electromagnetic field from the outside to control the direction of the fixed beam. CONSTITUTION: A mirror(102) comprises a reflecting surface. Incident light is reflected from the reflecting surface. Torsion bars(104a,104b) are arranged on the rotation center axis of the mirror. The torsion bars are connected to the both sides of the mirror. Torsion bar anchors supports the torsion bar. A pair of buckling beams are connected to the both sides of the mirror and are faced with each other. The buckling beam anchors support the buckling beam.
摘要翻译：目的：提供用于双向驱动电热装置的微致动器及其制造方法，以通过从外部施加电磁场来控制固定光束的方向来驱动双向的微反射镜。构成：反射镜（102）包括反射面。入射光从反射面反射。扭转杆（104a，104b）布置在反射镜的旋转中心轴线上。扭杆连接到镜子的两侧。扭杆支撑扭杆。一对屈曲梁连接到镜子的两侧并相互面对。屈曲梁锚固件支撑屈曲梁。

10. 发明公开

KR1020100096665A ＭＥＭＳ구동기의 기계적 구속에 의한 마이크로 공진기의 고유 주파수 튜닝장치, 이를 구비한 마이크로 공진기, 그 제조방법 및 튜닝방법 失效
标题翻译：使用MEMS致动器的机械限制微型谐振器的共振调谐装置，具有该MEMS致动器的微型谐振器，制造方法及其调谐方法
公开(公告)号：KR1020100096665A
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：KR1020090015658
申请日：2009-02-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 이재익 , 박선우 , 은영기 , 정봉원
IPC分类号： G01J1/44 , H01S3/08 , H01P7/08
摘要： PURPOSE: A natural frequency tuning device for a micro-resonator using an MEMS actuator, a micro-resonator therewith, a manufacturing method thereof, and a turning method thereof are provided to enable continuous natural frequency tuning in real time. CONSTITUTION: A natural frequency tuning device for a micro-resonator using an MEMS actuator comprises Micro Electro Mechanical System drivers(210) and shaft holders(230). The shaft holders are connected to the MEMS drivers and are in contact with springs(140) of a micro-resonator. Natural frequency of the micro-resonator and strength of the springs are changed by powering MEMS.
摘要翻译：目的：提供一种使用MEMS致动器，微谐振器的微谐振器的固有频率调谐装置及其制造方法及其转动方法，以实时实现连续的固有频率调谐。构成：使用MEMS致动器的微谐振器的固有频率调谐装置包括微机电系统驱动器（210）和轴保持器（230）。轴保持器连接到MEMS驱动器并且与微谐振器的弹簧（140）接触。微谐振器的固有频率和弹簧的强度通过为MEMS供电而改变。

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