基本信息:
- 专利标题： 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터 제조방법, 이 제조방법에 의해 제조된 마이크로 구조물 및 마이크로 엑츄에이터
- 专利标题（英）：Micro structure, micro actuator, method of fabricating micro structure and micro actuator
- 专利标题（中）：微结构，微型致动器，微结构微型致动器的制造方法
- 申请号：KR1020120060172 申请日：2012-06-05
- 公开(公告)号：KR101352941B1 公开(公告)日：2014-01-23
- 发明人： 김종백 , 은영기 , 이재익 , 최정욱 , 송영섭
- 申请人： 연세대학교 산학협력단
- 申请人地址： 서울특별시 서대문구 연세로 ** (신촌동, 연세대학교)
- 专利权人： 연세대학교 산학협력단
- 当前专利权人： 연세대학교 산학협력단
- 当前专利权人地址： 서울특별시 서대문구 연세로 ** (신촌동, 연세대학교)
- 代理人： 특허법인(유)화우
- 优先权： KR1020110129274 2011-12-05
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B81B7/00
摘要：
본 발명은 마이크로 구조물의 제조방법에 관한 것으로서, 마이크로 구조물 위에 고도로 정렬된 건식 접착 특성을 가지는 나노 물질 어레이를 직접 합성하여 마이크로 구조물의 소성변형 공정 시 접착물질로 활용되도록 함으로써, 기존과 같은 복잡한 가공공정을 사용하지 않고서도 마이크로 엑츄에이터를 일괄공정으로 간단하고 손쉽게 제작할 수 있는 마이크로 구조물 제조방법을 제공한다.
摘要（英）：
The present invention relates to a method of producing a micro structure, directly synthesizing the nano-material array having a highly aligned dry adhesion properties on micro structure to ensure that utilized as the adhesive material during the plastic deformation process in the micro-structure, complicated processes, such as conventional a micro actuator also simply as a batch process and provides a method for manufacturing micro-structures can be produced easily without using.
公开/授权文献:
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B81 | 微观结构技术 |
| ----B81C | 专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备 |
| ------B81C1/00 | 在基片内或其上制造或处理的装置或系统 |