专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR101692061B1 이황화몰리브덴 기반의 유연하고 투명한 가스 센서 및 그 제조방법 有权
标题翻译：基于MoS2的灵活透明VOC传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101692061B1
公开(公告)日：2017-01-03
申请号：KR1020160037230
申请日：2016-03-28
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 백대현 , 이경훈 , 표순재
IPC分类号： G01N27/12 , G01N27/411
CPC分类号： G01N27/4074 , G01N27/127 , G01N33/0047
摘要： 개시되는가스센서는투명하고유연한기판;과, 상기기판위에고정되고, 금속포르피린을함유한복수개의 MoS단편으로이루어진 MoS군체로형성되는가스센싱부; 및상기가스센싱부를각각가로지르며, 적어도하나이상의상기 MoS단편에대해공통으로접촉하는거리로이격된한 쌍의전극;을포함한다.

2. 发明授权

KR101903147B1 전이금속 칼코겐화합물 기반 향상된 반응성을 가지는 가스센서 有权
公开(公告)号：KR101903147B1
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：KR1020170076532
申请日：2017-06-16
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 강윤성 , 표순재 , 백대현
IPC分类号： G01N21/76 , G01N21/77 , G01N21/17 , B82Y15/00 , B82Y20/00
CPC分类号： G01N21/766 , B82Y15/00 , B82Y20/00 , G01N21/1717 , G01N21/77 , G01N2021/1721 , G01N2021/7753
摘要： 본발명에서는기능화처리된(Functionalized) 전이금속칼코게나이드(Transition Metal Dichalcogenide, TMDC) 기반반도체물질을포함하는유연하고투명한가스센서에대한기술을개시한다. 특히본 발명은반도체구성물질의광에의한여기작용을통해가스의검출의반응성을향상시킨가스센서에대한것이다.

3. 发明授权

KR101302058B1 공중부유형 탄소나노튜브를 이용하는 가스센서 제작방법 有权
标题翻译：基于悬浮碳纳米管的气体传感器制造方法
公开(公告)号：KR101302058B1
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：KR1020110049683
申请日：2011-05-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 심재삼 , 백대현
IPC分类号： G01N27/12 , C23C16/26 , B82Y40/00
摘要： 공중부유형 탄소나노튜브를 이용하는 가스센서 제작방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 공중부유형 탄소나노튜브를 이용하는 가스센서 제작방법은, 공중부유형 탄소나노튜브(CNT, Carbon Nano Tube) 나노구조체를 감지부로 구비하는 가스센서의 제조방법에 있어서, 기판상에 마이크로 전극을 형성하는 전극형성단계; 및 화학기상증착법(CVD, Chemical Vapor Deposition)에 의해 마이크로 전극의 표면에 탄소나노튜브를 합성하되, 탄소나노튜브의 길이방향 증식에 의해 한쌍의 마이크로 전극 각각에 형성된 탄소나노튜브간의 상호 결합이 이루어지도록 하는 감지부합성단계;를 포함한다.

4. 发明公开

KR1020120131483A 공중부유형 탄소나노튜브를 이용하는 가스센서 제작방법 有权
标题翻译：基于悬浮碳纳米管的气体传感器的制造方法，通过该方法制造的CNT纳米结构和气体传感器
公开(公告)号：KR1020120131483A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：KR1020110049683
申请日：2011-05-25
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 심재삼 , 백대현
IPC分类号： G01N27/12 , C23C16/26 , B82Y40/00
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a gas sensor using a floating type carbon nano tube and a carbon nano tube nano structure and the gas sensor manufacture by the same are provided to obtaining an excellent gas sensing function because resistance variations can be sensitively measured because of added bonding of the carbon nano tubes. CONSTITUTION: A method for manufacturing a gas sensor using a floating type carbon nano tube is as follows. The gas sensor comprises a carbon nano tube nano structure as a sensing unit. A pair of micro electrodes is formed on a substrate(S1). The carbon nano tube is synthesized on a surface of the micro electrode by a chemical vapor deposition method. A mutual combination of the carbon nano tubes formed in each micro electrode is performed by an increase of the carbon nano tubes to a longitudinal direction(S2). [Reference numerals] (S1) Step for forming micro electrodes; (S1-1a) Step for forming an insulating layer; (S1-1b) Step for adding the insulating layer; (S1-2) Step for PR-patterning; (S1-3) Step for mask-patterning; (S1-4) Step for etching a substrate; (S1-4a) Step for etching an element layer; (S1-4b) Step for etching a substrate layer; (S1-5) Step for removing the insulating layer; (S2) Step for forming a sensing unit; (S2-1) Step for depositing a catalyst; (S2-2) Step for combining a CNT; (S3) Step for connecting a measuring device; (S3-1) Step for connecting the electrodes; (S3-2) Step for connecting a device
摘要翻译：目的：提供使用浮动型碳纳米管和碳纳米管纳米结构的气体传感器的制造方法以及由其制造的气体传感器，以获得优异的气体感测功能，因为可以灵敏地测量电阻变化，因为添加碳纳米管的结合。构成：使用浮动型碳纳米管制造气体传感器的方法如下。气体传感器包括作为感测单元的碳纳米管纳米结构。在基板上形成一对微电极（S1）。通过化学气相沉积法在微电极的表面上合成碳纳米管。通过碳纳米管向纵向方向的增加，可以实现在每个微电极中形成的碳纳米管的相互组合（S2）。（附图标记）（S1）用于形成微电极的步骤; （S1-1a）形成绝缘层的工序; （S1-1b）添加绝缘层的工序; （S1-2）PR图案化步骤; （S1-3）掩模图案化步骤; （S1-4）蚀刻基板的工序; （S1-4a）蚀刻元件层的工序; （S1-4b）蚀刻基板层的工序; （S1-5）去除绝缘层的步骤; （S2）用于形成感测单元的步骤; （S2-1）沉积催化剂的步骤; （S2-2）CNT组合工序; （S3）连接测量装置的步骤; （S3-1）连接电极的工序; （S3-2）连接设备的步骤

5. 发明授权

KR101636698B1 스위치와 렛치 구조를 갖는 MEMS 구조의 가변 축전기, 이를 제작하는 방법, 및 이를 포함하는 전자장비 有权
标题翻译：具有切换和锁定机构的MEMS可变电容器，制造方法和具有该电气设备的电气设备
公开(公告)号：KR101636698B1
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：KR1020150011546
申请日：2015-01-23
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 백대현 , 은영기 , 권대성 , 김민욱 , 정태영
IPC分类号： H01G5/16 , H01G5/06 , H01G13/00
CPC分类号： H01G5/16 , H01G5/06 , H01G13/00
摘要： 위치와렛치를포함하는 MEMS 구조의가변축전기, 이를제작하는방법, 및이를포함하는전자장비가개시된다. 본발명의실시예에따른 MEMS 구조의가변축전기(100)는, 정전용량을가변시킬수 있는 MEMS(MEMS: Micro Electro Mechanical Systems)구조의가변축전기(100)로서, 제 1 전극(110); 상기제 1 전극(110)과전기적으로분리되도록소정거리만큼이격되어인접배치된둘 이상의제 2 전극(120); 제 1 전극(110)의일측에인접하여배치되고, 제 1 전극(110)의위치를변경시킴으로써제 1 전극(110)과제 2 전극(120) 사이의간극을조절하여축전기의용량을조절하는제 1 전극구동부(130); 인접하는두 개의제 2 전극(120) 사이와인접하여배치되고, 인접하는두 개의제 2 전극(120)을서로전기적으로연결시키는하나이상의연결스위치(140); 연결스위치(140)에구동력을제공하는연결스위치구동부(150); 및연결스위치(140)의위치를고정시키는연결스위치고정부(160);를포함하는것을구성의요지로한다.본발명의 MEMS 구조의가변축전기(100)에따르면, 넓은캐패시턴스튜닝범위를지님과동시에전 범위에서미세한캐패시턴스튜닝이가능한 MEMS 구조의가변축전기를제공할수 있다.
摘要翻译：公开了具有开关和闭锁机构的MEMS可变电容器，其制造方法以及具有该MEMS可变电容器的电子设备。根据本发明的一个实施例的MEMS可变电容器（100）是具有微机电系统（MEMS）结构并且具有可变电容的可变电容器（100）。 MEMS可变电容器（100）包括：第一电极（110）; 两个或更多个彼此相邻并且与第一电极（110）间隔开预定距离的第二电极（120），以与第一电极电隔离; 布置成与第一电极（110）相邻并且通过移动第一电极（110）来改变第一电极（110）和每个第二电极（120）之间的间隙的第一电极驱动部分（130），从而调节电容器的电容; 布置成与所述两个第二电极（120）相邻并且将所述两个第二电极（120）彼此电连接的连接开关（140）向所述连接开关（140）提供驱动力的连接开关驱动部（150）; 以及固定所述连接开关（140）的连接开关固定部（160）。根据本发明，可以提供一种具有宽电容调谐范围的MEMS可变电容器，并且可以在整个调谐范围内对其电容进行微调。

6. 发明授权

KR101431625B1 위험물질 감지센서 및 제조방법, 그리고 이를 이용한 실시간 위험물질 경보장치 有权
标题翻译：危险物质检测传感器和制造方法以及实时危险材料报警系统
公开(公告)号：KR101431625B1
公开(公告)日：2014-08-22
申请号：KR1020130053272
申请日：2013-05-10
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 김민욱 , 이경훈 , 나형주 , 권대성 , 최정욱 , 이재익 , 백대현
IPC分类号： G01N27/12
摘要： A hazardous material detection sensor, a method of fabricating the same and a real-time hazardous material alarm device using the same are disclosed. The hazardous material detection sensor according to an aspect of the present invention includes: a substrate; a first electrode provided on a substrate; a second electrode spaced apart from the first electrode on the substrate; a carbon nanotube array provided on a free end of the first electrode and the second electrode; and a reactive material coated on one side of at least one of the first electrode and the second electrode, wherein the reactive material can contract or expand through a chemical reaction with a detection target material, the electrode coated with the reactive material is mechanically displaced and a contact resistance between the carbon nanotube array varies according to the contraction or the expansion of the reactive material.
摘要翻译：公开了一种危险材料检测传感器，其制造方法和使用其的实时危险材料报警装置。根据本发明的一个方面的危险材料检测传感器包括：基板; 设置在基板上的第一电极; 与所述基板上的所述第一电极间隔开的第二电极; 设置在所述第一电极和所述第二电极的自由端上的碳纳米管阵列; 以及涂覆在第一电极和第二电极中的至少一个上的反应性材料，其中反应性材料可以通过与检测目标材料的化学反应而收缩或膨胀，涂覆有反应性材料的电极被机械移位，碳纳米管阵列之间的接触电阻根据反应性材料的收缩或膨胀而变化。

7. 发明授权

KR101411332B1 금속산화물나노선의 이온주입 성장방법 및 이를 이용한 금속산화물나노선 패턴 소자 有权
标题翻译：使用该方法的金属氧化物纳米管和配置装置的固化辅助生长方法
公开(公告)号：KR101411332B1
公开(公告)日：2014-06-27
申请号：KR1020130157282
申请日：2013-12-17
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 김종백 , 나형주 , 백대현 , 이경훈 , 최정욱 , 심재삼
IPC分类号： B82B3/00 , B82B1/00
CPC分类号： C23C14/48 , C23C14/08 , C23C14/5806 , C23C14/5833 , Y10T428/24802
摘要： According to one aspect of the present invention, provided is a method for growing metal oxide nanowire by injecting ions. The method includes a thin film deposition step of depositing a metal oxide thin film on a substrate, an ion injection step of injecting ions into the metal oxide thin film, and a heating step of growing the metal oxide thin film by heating the metal oxide thin film containing the ions.
摘要翻译：根据本发明的一个方面，提供了一种通过注入离子生长金属氧化物纳米线的方法。该方法包括在基板上沉积金属氧化物薄膜的薄膜沉积步骤，将离子注入到金属氧化物薄膜中的离子注入步骤，以及通过加热金属氧化物薄片来生长金属氧化物薄膜的加热步骤含有离子的薄膜。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式