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1. 发明公开

KR1020050115397A 리페어용 레이저 박막증착장치 및 이를 이용한액정표시장치용 기판의 리페어 방법 失效
标题翻译：使用其的液晶显示装置的修复和底板修复方法的激光化学蒸气沉积装置
公开(公告)号：KR1020050115397A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：KR1020040040249
申请日：2004-06-03
申请人： 엘지전자 주식회사 , 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이종철
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은 기판이 안착되고 상기 기판 가장자리를 가열할 수 있는 제 1 히팅부가 구비된 고정 스테이지와; 상하 좌우로 이동 가능하도록 상기 스테이지의 기판 상에 이격 설치되며 중심 부분에 상하로 관통 정의된 리텐션영역, 상기 리텐션영역 상면을 밀폐하는 윈도우, 외부의 소스가스를 상기 리텐션영역으로 공급하는 가스공급로, 잉여의 상기 소스가스를 흡입하여 외부로 배출하도록 상기 리텐션영역 외측의 배면으로 구비된 다수의 흡입홀 및 이들을 연통시키는 가스배출로를 구비한 가스쉴드와; 상기 가스쉴드에 구비되어 상기 기판 일부를 가열하는 제 2 히팅부와; 상기 가스쉴드와 함께 이동되며 상기 윈도우 및 리텐션영역을 통해서 그 하단의 상기 기판으로 레이저빔을 조사하는 레이저유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어용 레이저 박막증착장치 및 이를 이용한 액정표시장치용 기판의 리페어 방법을 제공한다.

2. 发明公开

KR1020070001724A 액정패널의 리페어패턴 형성장치 및 방법 有权
标题翻译：一种模式的修复方法
公开(公告)号：KR1020070001724A
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：KR1020050057349
申请日：2005-06-29
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 엘지전자 주식회사
发明人： 이종철 , 박상혁
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： G02F1/1309 , G02F1/136259 , G02F2001/136263
摘要： An apparatus and a method for forming repair patterns for a liquid crystal panel are provided to promptly form repair patterns by short distance laser beam scan by using a mask having slits extended in a length direction of the repair patterns. A vacuum chamber(200) is filled with raw material gas, wherein a liquid crystal panel(100) including a plurality of lines is placed. A laser(250) outputs a laser beam for forming repair patterns repairing bad lines. A mask(240) is placed on the liquid crystal panel and has patterned slits for applying the laser beam to the liquid crystal panel through the slits.
摘要翻译：提供一种用于形成用于液晶面板的修复图案的装置和方法，以通过使用具有在修复图案的长度方向上延伸的狭缝的掩模来快速形成通过短距离激光束扫描的修复图案。在真空室（200）中填充有原料气体，其中放置包括多条管线的液晶面板（100）。激光器（250）输出用于形成修复坏线的修复图案的激光束。将掩模（240）放置在液晶面板上，并且具有用于通过狭缝将激光束施加到液晶面板的图案化狭缝。

3. 发明授权

KR101152555B1 액정패널의 리페어패턴 형성장치 및 방법 有权
标题翻译：一种模式的修复方法
公开(公告)号：KR101152555B1
公开(公告)日：2012-06-01
申请号：KR1020050057349
申请日：2005-06-29
申请人： 엘지디스플레이 주식회사 , 엘지전자 주식회사
发明人： 이종철 , 박상혁
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본발명에따른액정패널의리페어패턴형성방법은복수의라인이형성된액정패널을검사하는단계와, 액정패널에불량이발생했을경우원료가스가충진된챔버내에액정패널을위치시키는단계와, 패턴된슬릿이형성된마스크를이용하여상기액정패널에레이저를조사하여리페어패턴을형성하는단계로구성된다. 상기패턴된슬릿은형성될리페어패턴의길이방향을따라연장되며, 레이저의조사는형성될슬릿을이용하여형성될리페어패턴의폭방향으로스캔함으로써이루어진다.

4. 发明授权

KR100615440B1 리페어용 레이저 박막증착장치 및 이를 이용한액정표시장치용 기판의 리페어 방법 失效
标题翻译：用于其使用的液晶显示装置的修复用激光化学气相沉积装置和基板修复方法
公开(公告)号：KR100615440B1
公开(公告)日：2006-08-25
申请号：KR1020040040249
申请日：2004-06-03
申请人： 엘지전자 주식회사 , 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이종철
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은 기판이 안착되고 상기 기판 가장자리를 가열할 수 있는 제 1 히팅부가 구비된 고정 스테이지와; 상하 좌우로 이동 가능하도록 상기 스테이지의 기판 상에 이격 설치되며 중심 부분에 상하로 관통 정의된 리텐션영역, 상기 리텐션영역 상면을 밀폐하는 윈도우, 외부의 소스가스를 상기 리텐션영역으로 공급하는 가스공급로, 잉여의 상기 소스가스를 흡입하여 외부로 배출하도록 상기 리텐션영역 외측의 배면으로 구비된 다수의 흡입홀 및 이들을 연통시키는 가스배출로를 구비한 가스쉴드와; 상기 가스쉴드에 구비되어 상기 기판 일부를 가열하는 제 2 히팅부와; 상기 가스쉴드와 함께 이동되며 상기 윈도우 및 리텐션영역을 통해서 그 하단의 상기 기판으로 레이저빔을 조사하는 레이저유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어용 레이저 박막증착장치 및 이를 이용한 액정표시장치용 기판의 리페어 방법을 제공한다.
리페어용 LCVD, 제 1 및 제 2 히팅부, 고온 CDA, 제 1 및 제 2 히팅라인

5. 发明公开

KR1020170011711A 잉크젯 프린팅 장치 审中-实审
标题翻译：喷墨打印设备
公开(公告)号：KR1020170011711A
公开(公告)日：2017-02-02
申请号：KR1020150104839
申请日：2015-07-24
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이창선 , 이종철 , 전상은
IPC分类号： B41J2/155 , B41J2/04 , B41J2/07 , B41J3/407 , H05K3/12
摘要： 잉크젯프린팅장치가제공된다. 잉크젯프린팅장치는전도성잉크를분사하는복수의노즐을각각구비하는제1 잉크젯헤드및 제2 잉크젯헤드를포함한다. 잉크젯프린팅장치는제1 잉크젯헤드및 제2 잉크젯헤드가나란히배치되는잉크젯헤드고정부를포함한다. 복수의노즐은, 제1 잉크젯헤드및 제2 잉크젯헤드각각에서복수의행과복수의열을이루며배치된다. 제1 잉크젯헤드의노즐들및 제2 잉크젯헤드의노즐들중 적어도하나가전도성잉크를미분사하거나어느일 방향으로편향되도록전도성잉크를분사하는경우제1 잉크젯헤드및 제2 잉크젯헤드에의해프린팅되는배선에줄빠짐현상이발생하는것을저감시키도록, 제2 잉크젯헤드는제1 잉크젯헤드의일측면을기준으로행 방향으로시프트되어배치된다. 이에따라, 두잉크젯헤드의노즐들중 적어도하나가전도성잉크를미분사하거나, 분사된전도성잉크가편향되어프린팅되는경우에도잉크젯프린팅장치에의해프린팅되는배선의단선문제가발생하는것을억제할수 있다.

6. 发明公开

KR1020130055901A 박막 증착장비용 밸브장치 审中-实审
标题翻译：用于蒸气沉积有机薄膜的阀装置
公开(公告)号：KR1020130055901A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：KR1020110121571
申请日：2011-11-21
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 김지훈 , 이병성 , 이종철
IPC分类号： C23C16/50 , C23C16/513 , H01J9/20
CPC分类号： H01J37/32899 , H01J37/32082
摘要： PURPOSE: A valve device for a thin film deposition apparatus is provided to be installed to reduce standing wave effect which is generated when plasma, which is generated in a process chamber of a large-sized PECD, flows into a transfer chamber. CONSTITUTION: A valve device for a thin film deposition apparatus includes a process chamber, a transfer chamber, a valve housing, and a gate valve module. The process chamber receives a supplied glass substrate, and performs a disposition treatment on the glass substrate. The transfer chamber supplies or returns the glass substrate to the process chamber. The valve housing is connected with the process chamber and the transfer chamber. The gate valve module shuttles inside the valve housing to respectively operate the process chamber and the transfer chamber.
摘要翻译：目的：提供一种用于薄膜沉积设备的阀装置，以减少在大型PECD的处理室中产生的等离子体流入传送室时产生的驻波效应。构成：用于薄膜沉积设备的阀装置包括处理室，传送室，阀壳和闸阀模块。处理室接收供应的玻璃基板，并对玻璃基板进行配置处理。传送室将玻璃基板提供或返回到处理室。阀壳与处理室和传送室连接。闸阀模块在阀壳体内穿梭以分别操作处理室和传送室。

7. 发明公开

KR1020060027682A 평판표시장치의 제조를 위한 대기개방형 박막처리장치 및이를 이용한 박막처리방법 有权
标题翻译：用于制造平板显示装置的打开薄膜处理装置和使用其的薄膜处理方法
公开(公告)号：KR1020060027682A
公开(公告)日：2006-03-28
申请号：KR1020040076582
申请日：2004-09-23
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이종철 , 이제섭 , 박상혁
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： C23C16/047 , C23C16/4412 , C23C16/45574 , H01L21/3065 , H01L21/32135
摘要： 본 발명은 대형의 밀폐된 반응공간을 필요로 하는 종래의 챔버형(chamber type) 박막처리장치와 달리 대기 개방된 상태에서 기판 국소적인 위치에 박막을 증착하거나 또는 기(旣) 증착된 박막을 식각하는 등의 박막처리공정을 수행할 수 있는 대기개방형 박막처리장치 및 이를 이용한 박막처리방법에 관한 것이다.
이에 구체적으로 기판이 안착되는 스테이지와; 상면이 투명윈도우로 밀폐된 리텐션홀에 의해 전체가 상하 관통된 상태로 최상층의 리드플레이트와, 중간층의 유로플레이트와, 다수의 펌프공이 상하 관통된 최하층의 버툼플레이트가 상하 적층되어 상기 스테이지 상에 상하좌우 이동 가능하게 이격 구비되며, 상기 각 플레이트 서로 면접되는 적어도 일 층간 사이로 상기 리텐션홀에 연결되는 제 1 유로 및 상기 다수의 펌프공에 연결되는 하나 이상의 제 2 유로가 매립 형성된 가스쉴드와; 상기 가스쉴드와 함께 상하좌우로 이동되면서 소정의 광에너지를 발생시켜 상기 투명윈도우 및 리텐션홀을 통해서 상기 기판 일 지점에 초점을 맞추는 에너지소스와; 상기 제 1 유로에 연결되는 반응가스공급수단과; 상기 제 2 유로에 연결되는 압력조절수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시장치의 제조를 위한 대기개방형 박막처리장치 및 이를 이용한 박막처리방법을 제공한다.

8. 发明授权

KR101071136B1 평판표시장치의 제조를 위한 기판의 박막처리장치 有权
标题翻译：用于在平板显示装置的基板上处理薄膜的装置
公开(公告)号：KR101071136B1
公开(公告)日：2011-10-10
申请号：KR1020040067917
申请日：2004-08-27
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이종철 , 엄성열 , 박상혁
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： C23C16/45519 , C23C16/48
摘要： 구체적으로본 발명은기판이안착되는스테이지와; 상기기판상부로위치되며일 지점에상하관통개구된리텐션영역, 상기리텐션영역상단을밀폐하는투명윈도우, 상기투명윈도우하단의상기기판일 지점으로외부의반응가스를집중분사하는디스펜스유닛, 상기기판과대면되는배면에형성된다수의흡입홀, 상기다수의흡입홀을내부로연통시켜잉여의상기반응가스를흡입배출하는가스배출유로가구비된가스쉴드와; 상기가스쉴드상부로위치되어상기투명윈도우를통해서상기기판일 지점으로소정의광 또는파장에너지를조사하는에너지소스를포함하는것을특징으로하는평판표시장치의제조를위한기판의박막처리장치를제공한다.

9. 发明授权

KR101034959B1 메탈라인의 결함을 리페어하기 위한 리페어 장치 및리페어방법 有权
标题翻译：修理金属线缺陷的装置及其修理方法
公开(公告)号：KR101034959B1
公开(公告)日：2011-05-17
申请号：KR1020040018178
申请日：2004-03-17
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이종철
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명의 레이저 리페어 장치 및 리페어방법은 2개의 레이저를 출력을 조절하여 리페어 공정에 동시에 적용함으로써 공정시간을 단축시키기 위한 것으로, 리페어를 위한 패턴이 형성되어 있는 기판 위로 레이저빔을 동시에 입사하는 제 1 레이저 발생장치와 제 2 레이저 발생장치; 및 상기 제 1 레이저 발생장치와 제 2 레이저 발생장치 앞에 각각 배치되어 각각의 레이저빔의 출력을 조절하는 제 1 슬릿부와 제 2 슬릿부로 구성된 출력조정부를 포함한다.
결함, 리페어, 메탈라인, 레이저 화학기상증착

10. 发明公开

KR1020060077363A 대기개방형 박막처리장치 및 이를 이용한 평판표시장치용기판의 박막처리방법 无效
标题翻译：用于平板显示设备的大气薄膜处理设备和薄膜处理方法
公开(公告)号：KR1020060077363A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040116195
申请日：2004-12-30
申请人： 엘지디스플레이 주식회사
发明人： 이종철 , 박상혁
IPC分类号： G02F1/13
CPC分类号： C23C16/483 , C23C16/047 , C23C16/45517
摘要： 본 발명은 대기 개방된 상태에서 평판표시장치용 기판의 국소적인 부분에 대한 박막처리공정을 수행하는 대기개방형 박막처리장치 및 이를 이용한 박막처리방법에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 위치되며 상하의 리텐션홀이 관통된 가스쉴드와, 상기 가스쉴드 상부에 위치되고 레이저빔을 출사하여 상기 리텐션홀을 통해 상기 기판으로 초점을 맞추는 에너지소스를 이용하여 대기 개방된 상태에서 상기 기판 표면을 처리하는 평판표시장치용 기판의 박막처리방법으로서, a)상기 스테이지 상에 상기 기판이 안착되는 단계와; b)상기 가스쉴드와 상기 에너지소스가 함께 이동하여 상기 기판 일 지점에 정렬되는 단계와; c)상기 리텐션홀로 반응가스가 공급되고 상기 레이저빔이 상기 리텐션홀을 통해서 상기 기판의 상기 일 지점에 초점을 맞추는 단계와; d)상기 에너지소스가 상기 리텐션 홀을 통해서 라인 형상으로 상기 초점을 상기 일 지점으로부터 타 지점으로 이동시키는 단계를 포함하여, 상기 기판 표면에 상기 일 지점으로부터 상기 타 지점을 연결하는 리페어라인을 형성하는 평판표시장치용 기판의 박막처리방법을 제공하고, 상기와 같은 박막처리방법을 수행할 수 있는 대기개방형 박막처리장치를 제공한다.

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