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1. 发明公开

KR1020110070265A 레이저 빔 프로파일러를 구비하는 레이저 가공장치 有权
标题翻译：具有激光光束分析仪的激光加工设备
公开(公告)号：KR1020110070265A
公开(公告)日：2011-06-24
申请号：KR1020090127018
申请日：2009-12-18
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 유효경 , 김현중 , 박헌욱 , 정화
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/02 , C21D1/09 , C23C16/02
CPC分类号： B23K26/0066 , B23K26/02 , C21D1/09 , C23C16/02
摘要： PURPOSE: A laser processing apparatus equipped with a laser beam profiler is provided to measure a beam profile in the longitudinal direction of laser irradiated in the form of a line so as to achieve thermal treatment uniformity and improve measurement accuracy. CONSTITUTION: A laser processing apparatus equipped with a laser beam profiler comprises a laser irradiation apparatus, a substrate support(40) and a beam profiler(130). The laser irradiation apparatus irradiates a line-shape laser beam having a length in a direction parallel with a substrate to the substrate. The substrate support is movable in the horizontal direction along the longitudinal direction of the laser beam. The beam profiler arranged opposite to the line of the laser. The beam profiler is installed at the side of the substrate support. The beam profiler is moved with the substrate support in the horizontal direction and measures a beam profile in the longitudinal direction of the laser beam.
摘要翻译：目的：提供一种配备有激光束轮廓仪的激光加工设备，以测量以线形式照射的激光纵向的光束轮廓，以实现热处理均匀性并提高测量精度。构成：配备有激光束轮廓仪的激光加工装置包括激光照射装置，基板支架（40）和光束轮廓仪（130）。激光照射装置将具有与基板平行的方向的长度的线状激光束照射到基板。基板支撑件沿着激光束的纵向在水平方向上可移动。光束轮廓仪布置成与激光线相对。光束轮廓仪安装在基板支架的侧面。光束轮廓仪与基板支撑件沿水平方向一起移动，并测量激光束的纵向方向上的光束轮廓。

2. 发明授权

KR101164523B1 레이저 빔 프로파일러를 구비하는 레이저 가공장치 有权
标题翻译：具有激光束分析仪的激光加工设备
公开(公告)号：KR101164523B1
公开(公告)日：2012-07-10
申请号：KR1020090127018
申请日：2009-12-18
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 유효경 , 김현중 , 박헌욱 , 정화
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/02 , C21D1/09 , C23C16/02
摘要： 본 발명에 따른 레이저 가공장치는, 기판(41)에 나란한 방향으로 길이를 가지는 라인형태의 레이저(21)를 기판(41)에 조사하는 레이저 조사장치(20); 기판(41)이 올려 놓이며 레이저(21)의 길이방향을 따라 수평하게 이동가능하게 설치되는 기판 지지대(40); 및 레이저(21)의 라인에 대향하도록 기판 지지대(40)의 측부위에 설치되어 기판 지지대(40)의 수평 이동에 따라 함께 이동하면서 레이저(21)의 길이 방향에 따른 강도 프로파일을 측정하는 빔 프로파일러(130);를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 라인형태로 조사되는 레이저의 길이방향에 따른 빔 프로파일의 측정을 통하여 종래에는 이룰 수 없었던 레이저의 길이방향에 따른 열처리 균일성을 얻을 수 있으며, 나아가 기판의 높이 수준에서도 프로파일 측정이 직접적으로 이루어지기 때문에 보다 정확하게 공정에 기여하는 레이저의 빔 프로파일을 얻을 수 있게 된다.
레이저 열처리, 빔 프로파일, 라인형태 레이저

3. 发明授权

KR100709036B1 챔버 윈도우 오염 검출장치를 구비하는 레이저 열처리 장치 失效
标题翻译：一种具有室窗污染检测装置的激光退火装置
公开(公告)号：KR100709036B1
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：KR1020050110650
申请日：2005-11-18
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 진대규 , 허재영 , 김기남 , 장성욱 , 박헌욱
IPC分类号： H01L21/324
摘要： 본 발명은 벽의 일부에 투명한 챔버 윈도우(30)가 설치되는 챔버(10)와, 챔버(10)의 외부에서 챔버 윈도우(30)를 통하여 챔버(10) 내로 레이저를 조사하는 레이저 장치와, 챔버 윈도우(30)의 오염상태를 검출하는 챔버 윈도우 오염 검출장치를 구비하는 레이저 열처리 장치에 관한 것으로서, 상기 챔버 윈도우 오염 검출장치가, 챔버(10)의 외부에 위치하여 챔버 윈도우(30)로 빛을 조사하는 발광장치(70)와, 챔버(10)의 외부에 위치하여 챔버 윈도우(30)에서 반사되어 나오는 발광장치(70)의 빛을 수광하는 수광장치(80)와, 챔버(10)의 외부에 위치하여 수광장치(90)에서 수광되는 빛의 양과 소정의 기준값과의 차이를 통하여 챔버 윈도우(30)의 오염상태를 판단하는 마이콤(90)을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 챔버 커버의 오픈없이 실시간으로 챔버 윈도우(30)의 오염상태를 모니터링할 수 있게 된다. 또한 이러한 자료들을 데이터 베이스화함으로써 최적의 PM 주기를 설정할 수 있게 된다.
챔버 윈도우, 흄, 비정질 실리콘, 오염, 레이저 열처리
摘要翻译：本发明和用于通过所述腔室窗30从腔室10的外侧照射激光到腔室10中的激光装置中，室10是安装在墙壁上，腔室的一部分的透明腔室窗口30 室窗污染检测装置设有用于检测窗（30）的污染状态的室窗污染检测装置，其中室窗污染检测装置位于室（10）的外部，用于接收位于腔室10外部并从腔室窗口30反射的发光装置70的光的光接收装置80和用于从腔室10的外部接收光的光接收装置80 以及微型计算机90，用于基于由光接收装置90接收的光量与预定参考值之间的差来确定腔室窗30的污染状态。根据本发明，可以实时监测室窗30的污染状态，而无需打开室盖。另外，数据库可用于设置最佳的PM周期。

4. 发明公开

KR1020150107933A 발열기 냉각장치 및 이를 이용한 발열기 냉각방법 无效
标题翻译：电动变压器的冷却装置及其冷却方法
公开(公告)号：KR1020150107933A
公开(公告)日：2015-09-24
申请号：KR1020140029611
申请日：2014-03-13
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 박헌욱 , 임기석 , 차은희 , 김태수 , 편지현
IPC分类号： H01F27/08
摘要： 본 발명은 발열기의 발열부 온도를 효율적으로 감소시킬 수 있는 발열기 냉각장치 및 발열기 냉각방법에 관한 것으로서, 일측 및 타측면에 각각 유입구 및 배출구가 형성되고, 발열기가 내장되는 하우징과, 하우징 내에서 유입구 및 배출구 각각에 근접 배치되며, 하우징 내로 외부 공기를 유입시키고, 하우징 내부 공기를 외부로 배기시키는 제1 방열팬 및 제2 방열팬을 포함하는 방열부 및 하우징 내측면 상에서 방열부로부터 이격되어 설치되며, 발열부 측으로 냉각공기를 송풍시키는 송풍부를 포함하여, 수용 공간을 형성하는 하우징의 내부로 공기를 흡입하여 내부로 흡입된 냉각 공기를 발열부 측으로 유도하고, 그 반대편에서도 발열부 측으로 공기를 유도하여 발열부 주위의 냉각 공기의 흐름을 변화시켜 풍속을 증가시키고, 증가된 풍속을 갖는 � �각 공기로 발열기를 냉각시킨 후 하우징 외부로 냉각 공기를 배출함으로써, 발열부의 냉각 효율을 증가시킬 수 있다.
즉, 변압기의 열화를 방지하기 위해 변압기의 발열부 부분의 냉각공기의 풍속을 증가시키기 위해 복수의 방열팬 및 송풍팬들을 배치함으로써 직접적으로 발열부의 온도를 저감시킬 수 있고, 변압기의 열화를 방지할 수 있다.
이에, 변압기의 열화에 의한 변압기 성능 저하의 문제 발생을 해소할 수 있고, 화재를 예방할 수 있어 공정의 안전성을 증가시킬 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及用于冷却加热器的装置和使用该装置冷却加热器的方法，该方法可以降低加热器的发热部分的温度。该装置包括：分别在一侧和另一侧形成入口和排出孔并且安装有加热器的壳体; 一个放热部分，它包括一个第一散热风扇和一个第二散热风扇，它们各自相邻设置在外壳的入口和排放孔中，将外部空气引入外壳并将壳体内的空气排放到外部 ; 以及将发生冷却的空气朝向发热部吹出的吹风部，其中，空气被引入形成容纳空间的壳体的内部，被引导到内部的冷却空气被引导到发热部，风速增加通过在相对侧通过向发热部分的空气的感应来改变发热部分周围的冷却空气的流动，并且在具有增加的风速的冷却空气冷却加热器之后，冷却空气被排放到壳体的外部从而提高发热部的冷却效率。也就是说，为了提高变压器的发热部的发热部的冷却风的风速，配置有多个发热风扇和吹风风扇，能够直接降低发热部的温度，防止发热部的劣化变压器。因此，可以解决由于劣化导致的变压器性能不佳的问题，并且可以防止发生火灾，从而确保公共安全。

5. 发明公开

KR1020070074105A 전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치 失效
标题翻译：通过使用电流作为反馈信号来控制静电卡盘的驱动电压的装置
公开(公告)号：KR1020070074105A
公开(公告)日：2007-07-12
申请号：KR1020060001858
申请日：2006-01-06
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 허재영 , 진대규 , 김기남 , 장성욱 , 박헌욱
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/66
摘要： An apparatus for controlling a driving voltage of an electrostatic chuck by using current as a feedback signal is provided to suppress generation of arc discharge within a particular pressure range by generating electrostatic force enough for absorbing a substrate. A driving voltage supply unit(30) supplies a driving voltage to an electrostatic chuck(10). A current measurement unit(40) measures current to be applied from the driving voltage supply unit to the electrostatic chuck. A constant current control unit(20) receives a measured value from the driving voltage supply unit in order to apply the constant rated current from the driving voltage supply unit to the electrostatic chuck and outputs the measured value as a feedback signal to the driving voltage supply unit in order to control an output voltage of the driving voltage supply unit.
摘要翻译：提供一种通过使用电流作为反馈信号来控制静电卡盘的驱动电压的装置，以通过产生足以吸收基板的静电力来抑制特定压力范围内的电弧放电的产生。驱动电压供给单元（30）向静电吸盘（10）供给驱动电压。电流测量单元（40）测量从驱动电压提供单元施加到静电卡盘的电流。恒流控制单元（20）从驱动电压供应单元接收测量值，以将来自驱动电压供应单元的恒定额定电流施加到静电卡盘，并将测量值作为反馈信号输出到驱动电压源单元，以便控制驱动电压提供单元的输出电压。

6. 发明授权

KR101523674B1 전원 변환 장치 有权
标题翻译：改变电源的设备
公开(公告)号：KR101523674B1
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：KR1020140009724
申请日：2014-01-27
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 박헌욱 , 정화 , 김성환 , 이향도 , 양상희
IPC分类号： H01F27/00 , H01F27/08
摘要： 본발명은전원변환장치로서, 전원변환동작중에화재의위험성을최소화하는전원변환장치에관한것이다. 본발명의실시형태는 1차측에유입된전력을입력받아코일의전자유도작용에의해서전력크기를변환하여 2차측에공급하는전원변환장치에있어서, 상기코일의온도를측정하여측정제1온도로서생성하는제1온도센서; 1차측에유입되는외부전력이상기코일에전달되도록하거나또는상기코일에전달되지않도록차단하는전력차단스위치; 상기측정제1온도가미리설정한기준제1온도보다크거나같은경우, 상기전력차단스위치를제어하여상기 1차측에유입되는전력이상기코일에전달되지않도록차단하는전력선제어부;를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于电源的动力改变装置，更具体地，涉及一种在改变动力的同时使火灾危险最小化的动力改变装置。根据本发明的实施例的电力变换装置在第一侧接收电力，使用电感线圈来改变电力，并将改变的电力提供给第二侧。功率改变装置包括：第一温度传感器，用于测量线圈的温度并从其产生第一测量温度; 电源关闭开关，允许从第一侧接收的外部电力到达线圈，或切断外部电源; 电源线控制单元，用于控制电源切断开关，以防止第一测量温度高于或等于第一规定参考温度时从第一侧接收的外部电力到达线圈。

7. 发明授权

KR101389005B1 레이저 가공장치 및 그 제어방법 有权
公开(公告)号：KR101389005B1
公开(公告)日：2014-04-28
申请号：KR1020110138701
申请日：2011-12-20
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사 , 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 박헌욱 , 임기석 , 김성진 , 최동규
IPC分类号： B23K26/70 , B23K26/064
摘要： 본 발명은 레이저 가공장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 특히, 기판 중에서 레이저 가공이 요구되는 부분에만 선택적으로 레이저 가공이 진행될 수 있고, 기판과 스테이지 사이에 산소가 잔존하는 것을 방지할 수 있는 레이저 가공장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.
본 발명은, 반응챔버 내부에 설치되고 기판이 안착되는 스테이지와, 스테이지에 구비되고 기판과 스테이지 사이의 산소를 반응챔버 외부로 배출하는 진공부와, 스테이지에 기판이 안착되면 스테이지의 중앙부로부터 외측 방향으로 단계적인 산소배출작업이 진행되도록 진공부에 작동신호를 송신하는 제어부를 포함하는 레이저 가공장치를 제공한다.

8. 发明公开

KR1020130071290A 레이저 가공장치 및 그 제어방법 有权
标题翻译：激光加工设备及其控制方法
公开(公告)号：KR1020130071290A
公开(公告)日：2013-06-28
申请号：KR1020110138701
申请日：2011-12-20
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사 , 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 박헌욱 , 임기석 , 김성진 , 최동규
IPC分类号： B23K26/70 , B23K26/064
摘要： PURPOSE: A laser processing device and a control method thereof are provided to prevent gas from remaining between a substrate and a stage when the substrate is mounted on the stage. CONSTITUTION: A laser processing device comprises a reaction chamber(10), a stage, a vacuum unit, a laser generation unit(50), an optical unit(70), and a control unit. The reaction chamber comprises the stage on which a substrate is mounted. The stage is installed in the reaction chamber, and the substrate is mounted on the stage. The vacuum unit is installed on the stage and discharges oxygen between the substrate and the stage to the outside of the reaction chamber. The laser generation unit irradiates the laser beam. The optical unit transmits the laser beam to the inside of the reaction chamber. The control unit transmits an operation signal to the vacuum unit when the substrate is mounted on the stage.
摘要翻译：目的：提供一种激光加工装置及其控制方法，以防止当基板安装在台架上时气体残留在基板与台架之间。构成：激光加工装置包括反应室（10），载物台，真空单元，激光产生单元（50），光学单元（70）和控制单元。反应室包括其上安装有基底的载物台。该台安装在反应室中，基板安装在台上。真空单元安装在平台上，并将基板和载物台之间的氧气排放到反应室外部。激光发生单元照射激光束。光学单元将激光束透射到反应室的内部。当基板安装在平台上时，控制单元将操作信号发送到真空单元。

9. 发明授权

KR100814636B1 전류를 피드백신호로 하여 구동전압을 제어하는 정전척구동전압 제어장치 失效
标题翻译：用于通过使用电流作为反馈信号来控制静电卡盘的驱动电压的装置
公开(公告)号：KR100814636B1
公开(公告)日：2008-03-18
申请号：KR1020060001858
申请日：2006-01-06
申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
发明人： 허재영 , 진대규 , 김기남 , 장성욱 , 박헌욱
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/66
摘要： 본 발명은 챔버 내에 설치되어 정전기력에 의해 기판을 흡착 고정하는 정전척의 구동전압을 제어하는 정전기척 구동전압 제어장치에 관한 것으로서, 정전기척에 구동전압을 공급하는 구동전압 공급장치와, 상기 구동전압 공급장치에서 정전기척에 인가되는 전류를 측정하는 전류측정장치와, 상기 구동전압 공급장치에서 상기 정전기척으로 일정한 정격전류가 흐르도록 상기 전류측정장치에서 측정된 값을 입력받아 이를 귀환신호로서 상기 구동전압 공급장치로 출력하여 상기 구동전압 공급장치의 출력전압을 제어하는 정전류 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 정전척이 기판을 흡착 고정시킬 정도의 정전기력을 발휘하도록 하면서도 특정압력범위에서 아크 방전이 발생하지 않도록 할 수 있다.
아크 방전, 파센 곡선, 압력, 정격전류, 정전척, 구동전압, 방전전압

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