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1. 发明公开

KR1019980032998A 오버헤드 솔레노이드 안테나를 가지는 유도 결합된ＲＦ 플라즈마 반응기용 열제어 장치 无效
标题翻译：带有架空螺线管天线的电感耦合射频等离子体反应堆热控制装置
公开(公告)号：KR1019980032998A
公开(公告)日：1998-07-25
申请号：KR1019970053878
申请日：1997-10-21
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 콜린스,케네쓰 , 라이스,마이클 , 부크버거,더글라스 , 로더릭,크레이그 , 아스카리남,에릭
IPC分类号： H01L21/20
摘要： 본 발명은 플라즈마 반응기 챔버와 처리동안 상기 챔버 내부에 제품을 홀딩하기 위한 제품 지지대를 포함하고, 상기 챔버는 상기 지지대에 대향하는 반응기 밀봉부를 가지고; 상기 반응기 밀봉부 위에 놓이는 냉각 바디; 상기 반응기 밀봉부와 상기 냉각 바디 사이의 플라즈마 전력 어플리케이터; 및 상기 냉각 바디와 상기 반응기 밀봉부사이에 접촉하고 있는 열도체를 포함하는 플라즈마 반응기로 구현된다. 상기 열도체와 상기 냉각 싱크는 그사이의 냉각 싱크 인터페이스를 한정하고, 상기 반응기는 바람직하게 상기 냉각 싱크 인터페이스에 걸친 열저항을 감소하기 위해 상기 냉각 싱크 인터페이스내에 열전도성 물질을 더 포함한다. 상기 열전도성 물질은 상기 냉각 바디 인터페이스를 채우는 열전도성 가스가 될 수 있다. 선택적으로, 상기 열전도성 물질은 열전도성 고체 재료가 될 수 있다. 상기 반응기는 열전도성 가스의 소스와 연통할 수 있는 상기 냉각 바디내에의 가스 매니폴드, 및 상기 가스 매니폴드로부터 상기 냉각 바디를 관통하여 상기 냉각 바디 인터페이스까지 개방되는 인렛을 포함할 수 있다. 상기 반응기는 상기 냉각 바디와 상기 열도체사이에 샌드위치되고 상기 냉각 바디로부터 상기 인렛과 연통하여 거의 미소한 두께의 상기 냉각 바디 인터페이스에 대한 가스 함유 볼륨을 한정하는 O-링 장치를 더 포함할 수 있다. 일반적으로, 상기 반응기는 열전도성 가스 또는 물질의 인터페이스내에 삽입에 의한 가열 및/또는 냉각 싱크와 상기 반응기 챔버 내부 환경에 노출된 어떤 부분, 이를테면 시일링, 벽 또는 폴리머-경화 선구물질 링 사이의 인터페이스에 걸친 열 전달의 용이성을 포함할 수 있다.

2. 发明授权

KR100369720B1 오버헤드솔레노이드안테나및모듈식플라즈마구속자석라이너를가지는유도결합된RF플라즈마반응기 失效
公开(公告)号：KR100369720B1
公开(公告)日：2003-03-17
申请号：KR1019980027562
申请日：1998-07-09
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 콜린스,케네쓰 , 라이스,마이클 , 버치버거,더글라스 , 로더릭,크레이그 , 아스카리남,에릭 , 슈나이더,게르하르트 , 트로우,존 , 추이,조슈아 , 그리마드,데니스 , 인,제럴드 , 우,로버트
IPC分类号： H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32522 , C23C16/517 , H01F2029/143 , H01J37/32082 , H01J37/321 , H01J37/32146 , H01J37/32165 , H01J37/32458 , H01J37/32467 , H01J37/32688 , H01J37/32706 , H01J37/32871 , H01J2237/3343 , H01J2237/3345 , H01J2237/3346 , H01L21/31116 , H01L21/6831
摘要： A plasma reactor has a chamber (50) for containing a plasma and a passageway (60) communicating with the chamber is enhanced with a first removable plasma confinement magnet module placed adjacent the passageway including a first module housing (20,10) and a first plasma confinement magnet (80) inside the housing. It may further include a second removable plasma confinement magnet module placed adjacent the passageway including a second module housing (20,20), and a second plasma confinement magnet (82). Preferably, the first and second modules are located on opposite sides of the passageway. Moreover, the first and second plasma confinement magnets have magnetic orientations which tend to oppose plasma transport or leakage through the passageway. Preferably, the module housing includes a relatively non-magnetic thermal conductor such as aluminum and is in thermal contact with said chamber body. Cooling apparatus can be thermally coupled to the chamber body, whereby to maintain the first plasma confinement magnet below its Curie temperature. If the reactor includes a pumping annulus adjacent to a periphery of the chamber, then the passageway can be one which communicates between the chamber and the pumping annulus. Also, the passageway can be a wafer slit valve or a gas feed inlet. Such a gas feed inlet can be a center gas feed through a ceiling of the chamber. The module housing (20,20) can rest upon the chamber side wall and the chamber ceiling (52) can rest upon the module housing.
摘要翻译：等离子体反应器具有用于容纳等离子体的腔室（50），与腔室连通的通道（60）通过邻近通道放置的第一可移除等离子体约束磁体模块得到增强，所述第一可移除等离子体约束磁体模块包括第一模块壳体（20,10）和第一模块壳体等离子体约束磁体（80）。它还可以包括邻近通道放置的第二可移除等离子体约束磁体模块，第二等离子体约束磁体模块包括第二模块壳体（20,20）和第二等离子体约束磁体（82）。优选地，第一和第二模块位于通道的相对侧上。此外，第一和第二等离子体约束磁体具有倾向于阻止等离子体传输或通过通道泄漏的磁性取向。优选地，模块壳体包括诸如铝的相对非磁性的热导体并且与所述腔室主体热接触。冷却设备可热耦合到腔室主体，由此将第一等离子体约束磁体保持在其居里温度以下。如果反应器包括邻近腔室外围的泵送环形空间，则通道可以是在腔室和泵送环形空间之间连通的通道。而且，通道可以是晶片狭缝阀或气体供给入口。这种气体供给入口可以是通过腔室顶部的中心气体供给。模块壳体（20,20）可以搁置在腔室侧壁上并且腔室天花板（52）可以搁置在模块壳体上。＆lt;图像＆GT;

3. 发明公开

KR1019990013713A 오버헤드솔레노이드안테나및모듈식플라즈마구속자석라이너를가지는유도결합된RF플라즈마반응기 失效
标题翻译：电感耦合RF等离子体反应器，带有高架螺线管天线和模块化等离子体约束磁性衬垫
公开(公告)号：KR1019990013713A
公开(公告)日：1999-02-25
申请号：KR1019980027562
申请日：1998-07-09
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 콜린스,케네쓰 , 라이스,마이클 , 버치버거,더글라스 , 로더릭,크레이그 , 아스카리남,에릭 , 슈나이더,게르하르트 , 트로우,존 , 추이,조슈아 , 그리마드,데니스 , 인,제럴드 , 우,로버트
IPC分类号： H05H1/46
摘要： 본 발명의 제 1 특징에 따르면, 플라즈마를 구속하기 위한 챔버와 상기 챔버와 연통하는 통로를 가지는 플라즈마 반응기는 제 1 모듈 하우징과 상기 하우징 내부의 제 1 플라즈마 구속 자석을 포함하는 상기 통로에 인접하게 배치된 제 1 제거가능한 플라즈마 구속 자석 라이너로 기능이 강화된다. 상기 플라즈마 반응기는 제 2 모듈 하우징과 제 2 플라즈마 구속 자석을 포함하는 상기 통로에 인접하게 배치된 제 2 제거가능한 플라즈마 구속 자석 라이너를 더 포함한다. 바람직하게, 상기 제 1 및 제 2 모듈은 상기 통로의 반대쪽에 배치된다. 더욱이, 상기 제 1 및 제 2 플라즈마 구속 자석은 상기 통로를 통한 플라즈마 전달 또는 누설에 대항하려는 자기 방향을 가진다. 바람직하게, 상기 모듈 하우징은 알루미늄과 같은 상대적으로 비자기적인 열도체를 포함하고, 챔버와 열적으로 접촉하고 있다. 냉각 장치가 챔버 바디에 열적으로 결합될 수 있고, 그결과 제 1 플라즈마 구속 자석의 온도를 큐리 온도 이하로 유지한다. 반응기가 챔버 주변에 인접한 펌핑 환형부를 포함한다면, 상기 통로는 챔버와 펌핑 환형부 사이의 연통로가 된다. 또한, 상기 통로는 웨이퍼 슬릿 밸브 또는 가스 공급 인렛이 될 수 있다. 가스 공급 인렛은 챔버의 시일링을 통과하는 중앙 가스 공급부가 될 수 있다. 상기 모듈 하우징은 챔버 측벽에 안착될 수 있고 상기 챔버 시일링은 상기 모듈 하우징에 안착될 수 있다.

4. 发明公开

KR1019980033120A 유도 안테나를 가지고 플라즈마 이온 밀도의 방사 분포를조절할 수 있는 병렬 플레이트 전극 플라즈마 반응기 无效
标题翻译：利用感应天线可以控制等离子体离子密度的辐射分布的平行板电极等离子体反应器
公开(公告)号：KR1019980033120A
公开(公告)日：1998-07-25
申请号：KR1019970054578
申请日：1997-10-24
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 라이스,마이클 , 트로우,존 , 아스카리남,에릭 , 콜린스,케네쓰 , 버치버거,더글라스 , 트소이,조슈아 , 그로에첼,데이비드 , 헝,레이몬드
IPC分类号： H01L21/306
摘要： 반도체 제품, 이를테면 웨이퍼를 처리하기 위한 플라즈마 반응기가 개시되는데, 상기 플라즈마 반응기는 반구형 또는 돔과 같은 3차원 형태를 갖는 오버헤드 시일링을 가지는 챔버를 포함한다. 상기 반응기는 상기 시일링 형태이거나 아닐 수 있는 시일링 상의 유도 안테나를 더 포함한다. 상기 시일링은 그것이 상기 안테나의 유도 필드를 위한 윈도우, 및 접지될 수 있거나 RF 전력이 인가되거나 전기적 부유가 허용될 수 있는 전극으로서 기능할 수 있도록 반도체 재료를 포함할 수 있다. 상기 반응기는 웨이퍼 표면에 걸친 플리즈마 이온 밀도가 웨이퍼 표면에 걸친 처리 균일성을 위해 최적의 분포로 조절될 수 있도록 하는 여러 가지 형태를 포함한다.

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