会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 8. 发明公开
    • 플래시 램프를 이용한 어닐링 방법
    • 使用闪光灯的退火方法
    • KR1020170051447A
    • 2017-05-11
    • KR1020177006735
    • 2015-08-20
    • 쌩-고벵 글래스 프랑스
    • 카노바로렌조미뭉에마뉘엘뒤보스브리스
    • H01L21/324H01L21/268H01L21/02H01L21/67H01L21/677H01L31/18C03C17/00
    • C03C17/366C03C17/06C03C17/22C03C23/0005C03C2217/24C03C2217/254C03C2217/256C03C2218/32C23C14/5806H01L21/02565H01L21/02667H01L21/268H01L21/67115H01L21/6776H01L31/1884Y02E10/50
    • 본발명은코팅을갖는기판의표면을어닐링하기위한방법으로서, 어닐링될코팅(2)을갖는기판(1)을상기코팅(2)이있는기판(1) 면이플래시램프(4)를향하게하여플래시램프(4) 아래로지나게하는단계, 및플래시램프와어닐링될코팅사이에위치하고기판의진행방향에대해수직인세로축을갖는슬릿을포함하는마스크(3)를통하여플래시램프(4)에의해방출된고출력펄스광으로어닐링될코팅을조사하고, 플래시램프의주파수및 기판의진행속도를조정하여, 어닐링될코팅의각각의지점이적어도하나의광 펄스를받게하는단계를포함하고, 마스크의하부면과어닐링될코팅의표면사이의거리는 1 mm 이하이며, 슬릿의형상과크기는, 마스크가없을경우어닐링될코팅에도달했을광 세기가이하 "공칭광 세기"라고하는임계광 세기보다낮은모든영역에서마스크가어닐링될코팅을엄폐하도록하는것을특징으로하는방법에관한것이다.
    • 本发明提供了一种用于退火具有涂层,其中,所述衬底(1)具有涂层的基板的表面(2)是退火的涂层(2)的基板(1)侧朝向闪光灯(4) 闪光灯(4),包括:传下来,闪光灯和位于之间通过掩模(3),包括具有用于在基板的移动由所述闪光灯的方向上的竖直的纵向轴线的狭缝被退火的涂层的放电(4) 通过照射涂层进行退火作为脉冲光,并调整频率的行进速度和所述闪光灯的基板doengo输出,其中,所述涂层中的每个点进行退火的工序的下表面接收所述至少一个光脉冲,并且所述掩模 和的距离是被退火,是在涂层到达狭缝的形状和大小没有掩模的被退火不是“标称光强度”的光强度的涂层的表面之间1mm或更小,在低比光强度每个区域的阈值掩码, 覆盖待退火的涂层 本发明涉及其特征在于,一个过程。