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    • 8. 发明公开
    • 마스크 룸 셀 및 그의 스텐바이 방지용 트랜지스터 제조방법
    • 掩模室单元和用于制造用于待机预防的晶体管的方法
    • KR1019970030849A
    • 1997-06-26
    • KR1019950042337
    • 1995-11-20
    • 삼성전자주식회사
    • 이봉용배준규황선호
    • H01L27/112
    • 본 발명은 스트링 블록 사이에 누설전류의 흐름을 차단하는 트랜지스터를 형성하는 마스크 롬 셀 및 그의 스텐바이 방지용 트랜지스터 제조방법에 관한 것이다.
      본 발명의 마스크롬 셀을 이루는 각각의 스트링 블록은 스트링 선택라인과, 상기 스트링 선택라인과 평행하게 형성된 복수개의 워드라인과, 상기 스트링 선택라인 및 워드라인과 수직하게 형성된 복수개의 비트라인 및 Vss라인과, 상기 비트라인이 접속되는 비트라인 콘택과, 상기 Vss라인이 접속되는 Vss라인 콘택과, 상기 Vss라인의 좌우측에 평행하게 형성된 스텐바이 라인으로 구성되고, 상기 상하로 인접하는 스트링 블록의 사이에는 상기 스텐바이 라인(SB/L)에 연결되는 스텐바이 방지용 트랜지스터가 형성된다.
      본 발명은 스텐바이 방지용 트랜지스터의 폭(width)이 증가하여 스트링 전류를 증가시킴으로써 장치의 동작마진을 증대시킬 수 있고, 스텐바이 방지용 트랜지스터가 금속에 의해 상기 스텐바이 라인에 연결되기 때문에 공정상의 문제점을 최소화할 수 있다.
    • 9. 发明公开
    • 마스크-롬 및 그 제조방법
    • Mask-ROM及其制造方法
    • KR1019970013375A
    • 1997-03-29
    • KR1019950025968
    • 1995-08-22
    • 삼성전자주식회사
    • 배준규이봉용
    • H01L27/112
    • 신규한 마스크-롬 및 그 제조방법이 개시되어 있다. 제1 및 제2 스트링 선택 라인에 각각 그 게이트가 연결된 복수개의 스트링 선택 트랜지스터 ; 상기 복수개의 스트링 선택 트랜지스터에 직렬 연결되어 하나의 스트링을 구성하는 복수개의 셀 트랜지스터 ; 상기 스트링의 끝단에 형성되고 대기라인에 그 게이트가 연결된 대기라인 트랜지스터 ; 상기 스트링 선택 트랜지스터, 셀 트랜지스터, 및 대기라인 트랜지스터를 직렬 접속시키기 위해 형성된 복수개의 불순물층 ; 및 상기 셀 트랜지스터와 셀 트랜지스터 사이에 선택적으로 형성되고 상기 불순물층에 직접 접속되는 워드라인을 갖는 콘택 셀을 구비한다. 셀 트랜지스터들 사이에 선택적인 콘택 셀을 형성함으로써 집적도를 증가시킬 수 있다.