专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020020071004A 도전성 주사형 현미경용 프로브 및 이를 이용한 가공방법 失效
标题翻译：导电扫描型显微镜的探针及使用其的处理方法
公开(公告)号：KR1020020071004A
公开(公告)日：2002-09-11
申请号：KR1020027008427
申请日：2001-09-28
申请人： 나카야마 요시카즈 , 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스 , 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오 , 오카와타카시 , 타카노유이치 , 야스타케마사토시 , 시라카와베요시하루
IPC分类号： G01Q70/16 , H01J37/28 , C01B31/02 , B82Y40/00
摘要： 탐침이 되는 도전성 나노튜브와 시료 사이에 전압을 인가하거나 통전시킬 수 있는 도전성 주사형 현미경용 프로브를 실현한다.
이를 위해, 본 발명에 관한 도전성 주사형 현미경용 프로브(20)는, 캔틸레버(4)에 고착된 도전성 나노튜브 탐침(12)의 선단(14a)에 의해 시료표면의 물성 정보를 얻는 주사형 현미경용 프로브에 있어서, 상기 캔틸레버(4)의 표면에 형성된 도전성 피막(17)과, 캔틸레버(4)의 소요부 표면에 기초단부(16)가 접촉 배치된 도전성 나노튜브(12)와, 이 도전성 나노튜브(12)의 기초단부(16)로부터 상기 도전성 피막(17)의 일부를 피복하여 도전성 나노튜브(12)를 고정하는 도전성 퇴적물(18)로 구성되어, 도전성 나노튜브(12)와 도전성 피막(17)을 도전성 퇴적물(18)에 의해 도통 상태로 한 것을 특징으로 하고 있다.

2. 发明公开

KR1020020081258A 수직식 주사형 현미경용 캔틸레버 및 이를 사용한 수직식주사형 현미경용 프로우브 失效
标题翻译：垂直扫描型显微镜的悬臂和使用该悬臂的垂直型扫描探针显微镜
公开(公告)号：KR1020020081258A
公开(公告)日：2002-10-26
申请号：KR1020027009127
申请日：2001-09-28
申请人： 나카야마 요시카즈 , 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스 , 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오 , 오카와타카시 , 타카노유이치 , 야스타케마사토시 , 시라카와베요시하루
IPC分类号： G01Q60/38 , B82Y15/00
摘要： 탐침으로 되는 나노튜브 선단이 시료면에 대하여 대략 수직상태로 접하여 시료의 표면정보를 고감도로 검출할 수 있는 수직식 주사형 현미경용 프로우브을 실현한다.
그 때문에, 본 발명에 관한 수직식 주사형 현미경용 프로우브는, 캔틸레버(2)에 고착된 나노튜브 탐침의 선단에 의해 시료 표면(24)의 물성 정보를 얻는 주사형 현미경용 프로우브(20)에 있어서, 나노튜브(12)의 기단부(14)를 고착하는 부착영역을 캔틸레버(2)에 형성하고, 캔틸레버(2)를 평균시료표면(26)에 대하여 측정상태로 배치한 때에 상기 부착영역의 높이방향이 상기 평균시료표면(26)에 대하여 대략 수직상태로 되도록 하고, 나노튜브(12)의 기단부(14)를 그 부착영역의 높이방향으로 고착시킨 것을 특징으로 한다.

3. 发明授权

KR100505991B1 수직식 주사형 현미경용 캔틸레버 및 이를 사용한 수직식주사형 현미경용 프로우브 失效
标题翻译：用于垂直扫描显微镜的扫描仪和使用其的垂直扫描显微镜的探针
公开(公告)号：KR100505991B1
公开(公告)日：2005-08-04
申请号：KR1020027009127
申请日：2001-09-28
申请人： 나카야마 요시카즈 , 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스 , 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오 , 오카와타카시 , 타카노유이치 , 야스타케마사토시 , 시라카와베요시하루
IPC分类号： G01Q60/38 , B82Y15/00
摘要： 탐침으로 되는 나노튜브 선단이 시료면에 대하여 대략 수직상태로 접하여 시료의 표면정보를 고감도로 검출할 수 있는 수직식 주사형 현미경용 프로우브을 실현한다.
그 때문에, 본 발명에 관한 수직식 주사형 현미경용 프로우브는, 캔틸레버(2)에 고착된 나노튜브 탐침의 선단에 의해 시료 표면(24)의 물성 정보를 얻는 주사형 현미경용 프로우브(20)에 있어서, 나노튜브(12)의 기단부(14)를 고착하는 부착영역을 캔틸레버(2)에 형성하고, 캔틸레버(2)를 평균시료표면(26)에 대하여 측정상태로 배치한 때에 상기 부착영역의 높이방향이 상기 평균시료표면(26)에 대하여 대략 수직상태로 되도록 하고, 나노튜브(12)의 기단부(14)를 그 부착영역의 높이방향으로 고착시킨 것을 특징으로 한다.

4. 发明授权

KR100491411B1 도전성 주사형 현미경용 프로브 및 이를 이용한 가공방법 失效
标题翻译：用于扫描显微镜的导电性探针和使用其的加工方法
公开(公告)号：KR100491411B1
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：KR1020027008427
申请日：2001-09-28
申请人： 나카야마 요시카즈 , 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스 , 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오 , 오카와타카시 , 타카노유이치 , 야스타케마사토시 , 시라카와베요시하루
IPC分类号： G01Q70/16 , H01J37/28 , C01B31/02 , B82Y40/00
摘要： 탐침이 되는 도전성 나노튜브와 시료 사이에 전압을 인가하거나 통전시킬 수 있는 도전성 주사형 현미경용 프로브를 실현한다.
이를 위해, 본 발명에 관한 도전성 주사형 현미경용 프로브(20)는, 캔틸레버(4)에 고착된 도전성 나노튜브 탐침(12)의 선단(14a)에 의해 시료표면의 물성 정보를 얻는 주사형 현미경용 프로브에 있어서, 상기 캔틸레버(4)의 표면에 형성된 도전성 피막(17)과, 캔틸레버(4)의 소요부 표면에 기초단부(16)가 접촉 배치된 도전성 나노튜브(12)와, 이 도전성 나노튜브(12)의 기초단부(16)로부터 상기 도전성 피막(17)의 일부를 피복하여 도전성 나노튜브(12)를 고정하는 도전성 퇴적물(18)로 구성되어, 도전성 나노튜브(12)와 도전성 피막(17)을 도전성 퇴적물(18)에 의해 도통 상태로 한 것을 특징으로 하고 있다.

5. 发明公开

KR1020020067612A 집속 이온빔 가공에 의한 주사형 현미경용 프로브 失效
标题翻译：聚焦离子束加工扫描显微镜的探针
公开(公告)号：KR1020020067612A
公开(公告)日：2002-08-22
申请号：KR1020027009162
申请日：2001-09-28
申请人： 나카야마 요시카즈 , 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스 , 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오 , 오카와타카시 , 타가노유이치 , 야스타케마사토시 , 사라카와베요시하루
IPC分类号： G01Q70/16
摘要： 나노튜브(nanotube) 탐침을 고정하고, 절단하고, 더욱이 다른 종류 원자의 주입 등으로 나노튜브 탐침의 재질개선을 할 수 있는 주사형(走査型) 현미경용 프로브를 실현하는 것이다.
그 때문에, 본 발명에 관한 집속(集束) 이온빔에 의한 주사형 현미경용 프로브는, 캔틸레버(4)에 고착된 나노튜브 탐침(12)의 선단(14a)에 의해 시료표면의 물성정보를 얻는 주사형 현미경용 프로브에 있어서, 집속 이온빔 장치(2) 내에서 이온빔(Ⅰ)에 의해 유기가스(G)를 분해하고, 생성한 분해성분의 퇴적물(18)에 의해 나노튜브(12)와 캔틸레버(4)를 고착하는 것을 특징으로 하고 있다. 또한, 집속 이온 빔(Ⅰ)을 사용하여, 나노튜브 선단부(14)에 부착된 불필요 퇴적물(24)을 제거하거나, 나노튜브의 불필요 부분을 절단하여 탐침의 길이 제어를 하거나, 나노튜브 선단부(14)에 이온을 주입하여 그 나노튜브 탐침의 개질(改質)을 할 수 있는 주사형 현미경용 프로브를 제공하는 것이다.

6. 发明授权

KR100501506B1 집속 이온빔 가공에 의한 주사형 현미경용 프로브 失效
标题翻译：通过聚焦离子束加工生产的扫描显微镜探针
公开(公告)号：KR100501506B1
公开(公告)日：2005-07-18
申请号：KR1020027009162
申请日：2001-09-28
申请人： 나카야마 요시카즈 , 가부시키가이샤 히타치 하이테크 사이언스 , 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오 , 오카와타카시 , 타가노유이치 , 야스타케마사토시 , 사라카와베요시하루
IPC分类号： G01Q70/16
摘要： 나노튜브(nanotube) 탐침을 고정하고, 절단하고, 더욱이 다른 종류 원자의 주입 등으로 나노튜브 탐침의 재질개선을 할 수 있는 주사형(走査型) 현미경용 프로브를 실현하는 것이다.
그 때문에, 본 발명에 관한 집속(集束) 이온빔에 의한 주사형 현미경용 프로브는, 캔틸레버(4)에 고착된 나노튜브 탐침(12)의 선단(14a)에 의해 시료표면의 물성정보를 얻는 주사형 현미경용 프로브에 있어서, 집속 이온빔 장치(2) 내에서 이온빔(Ⅰ)에 의해 유기가스(G)를 분해하고, 생성한 분해성분의 퇴적물(18)에 의해 나노튜브(12)와 캔틸레버(4)를 고착하는 것을 특징으로 하고 있다. 또한, 집속 이온 빔(Ⅰ)을 사용하여, 나노튜브 선단부(14)에 부착된 불필요 퇴적물(24)을 제거하거나, 나노튜브의 불필요 부분을 절단하여 탐침의 길이 제어를 하거나, 나노튜브 선단부(14)에 이온을 주입하여 그 나노튜브 탐침의 개질(改質)을 할 수 있는 주사형 현미경용 프로브를 제공하는 것이다.

7. 发明公开

KR1020020006708A 나노핀셋 및 나노매니퓰레이터 失效
标题翻译：纳米镊子和纳米机械手
公开(公告)号：KR1020020006708A
公开(公告)日：2002-01-24
申请号：KR1020017013543
申请日：2001-03-08
申请人： 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤 , 나카야마 요시카즈
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오 , 오카와타카시
IPC分类号： B82B3/00 , B25B9/02 , G01N3/16
CPC分类号： B25J7/00 , B81B2201/032 , B81B2201/12 , B81B2203/0118 , B81C99/002 , B82B3/00 , G01Q80/00 , Y10S977/732 , Y10S977/734 , Y10S977/742 , Y10S977/778 , Y10S977/78 , Y10S977/837 , Y10S977/842 , Y10S977/858 , Y10S977/863 , Y10S977/875 , Y10S977/876 , Y10S977/89 , Y10S977/901 , Y10S977/962
摘要： 부품구성의극소화를도모하여, 절연체·반도체·도전체의각종나노물질을파지할수 있으며, 임의의형상의나노물질을파지할수 있는나노핀셋및 나노매니퓰레이터를개발한다. 정전방식의나노핀셋(2)은, 홀더(6)에기단부를고정하여돌설된복수의나노튜브와, 이들나노튜브표면을절연피복하는코팅피막과, 이중 2본의나노튜브(8, 9)에연결된리드선(10, 10)으로이루어지며, 이리드선사이에전압을인가하여정전인력에의해상기 2본의나노튜브의선단사이를개폐자재로만들어, 이사이에나노물질을파지할수 있는것을특징으로하고있다. 또, 나노튜브(9)의표면에압전막(32)을형성하고, 압전막을신축시켜서상기나노튜브의선단사이를개폐자재로만들면, 절연체·반도체·도전체에관계없이, 임의의나노물질을핸들링할수 있다. 또, 3본의나노튜브를정전방식으로개폐자재로만들면, 구상·막대모양등의임의의형상의나노물질을핸들링할수 있다. 나아가, 3차원구동기구와조합하여나노매니퓰레이터를구성하여, 나노물질의파지·방출을용이하게한다.

8. 发明授权

KR100398276B1 전자장치의 표면신호조작용 프로우브 및 그 제조방법 有权
标题翻译： 전자장치의표면신호조작용프로우브및그제조방
公开(公告)号：KR100398276B1
公开(公告)日：2003-09-19
申请号：KR1020007005559
申请日：1999-11-12
申请人： 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤 , 나카야마 요시카즈
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오
IPC分类号： G01Q70/16
CPC分类号： G01Q60/16 , G01Q60/38 , G01Q60/54 , G01Q70/12 , Y10S977/869 , Y10S977/873 , Y10S977/876
摘要： 주사형 프로우브현미경에 사용할 수 있는 고분해능인 고강성ㆍ고벤딩탄성의 프로우브를 실현하고, 표면원자상을 고분해능으로 촬상할 수 있도록 한다. 또한, 고정밀도의 자기정보처리장치에 사용할 수 있는 고정밀도의 입출력용 프로우브를 실현한다.
이 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전자장치의 표면신호조작용 프로우브는 나노튜브(24)와, 이 나노튜브(24)를 유지하는 홀더(2A)와, 상기 나노튜브(24)의 선단부(24a)를 돌출시킨 상태에서 그 기단부(24b)를 홀더면에 고착시키는 고정수단으로 구성되고, 상기 나노튜브(24)의 선단부(24a)를 탐침으로 사용한다. 또한, 고정수단의 일예로서 나노튜브(24)의 기단부(24b)를 피복하는 코팅막(24)을 형성한다. 또한, 선단부의 근원측의 중간부(24c)에도 코팅막(30)을 형성하면, 또한 탐침강도와 분해능이 증가한다. 고정수단의 다른 예로서 기단부(24b)를 홀더면에 융착시킨다. 기단부(24b)의 전체 또는 일부가 융착부로 이루어져 나노튜브(24)가 홀더에 강고하게 고착한다.
나노튜브에는 카본나노튜브(CNT), BCN계 나노튜브, BN계 나노튜브 등의 일반의 나노튜브를 사용할 수 있다. 나노튜브는 선단곡률반경이 작기 때문에 고분해능으로 신호를 조작할 수 있고, 또한 강성이나 벤딩탄성이 높기 때문에 매우 파손하기 어려워 수명이 길다. 그리고, 원료값이 싸기 때문에, 고성능의 프로우브를 싼값에 제공할 수 있다. 또한, 이 프로우브를 예컨대, 주사형 터널현미경이나 원자간력현미경의 탐침으로서 사용할 수 있고, 자기디스크장치의 자기헤드로 대체하는 입출력용 프로우브로서도 사용할 수 있다.
摘要翻译：本发明实现了具有高分辨率，高刚性和高弯曲弹性的探针，其可用于扫描探针显微镜并且使得可以以高分辨率拾取表面原子的图像。此外，还实现了可用于高密度磁信息处理设备的高精度输入输出探针。为了实现该目的，本发明的电子设备表面信号操作探针由纳米管24，保持该纳米管24的保持器2a以及将纳米管24的基端部分24b紧固到保持器的表面使得纳米管24的末端部分24a突出; 并且纳米管24的末端部分24a用作探针。此外，作为紧固部件的一个例子，形成覆盖纳米管24的基端部24b的涂膜29。如果在前端部的根部侧的中间部分24c上也形成涂膜30，则探针强度和分辨率进一步提高。作为紧固装置的另一个例子，纳米管24的基端部分24b被熔焊到保持器表面。基部端部24b的全部或一部分形成熔焊部分，使得纳米管24牢固地紧固到保持器。诸如碳纳米管（CNT），BCN型纳米管或BN型纳米管等常见纳米管可以用作上述纳米管。由于纳米管具有较小的尖端曲率半径，信号可以高分辨率操作。此外，由于纳米管具有高刚性和弯曲弹性，因此它们具有极强的抗损伤性并具有长的使用寿命。而且，由于原材料便宜，可以廉价地获得高性能探针。此外，这些探针可以用作扫描隧道显微镜或原子力显微镜中的探针，或者用作磁盘驱动器中磁头的输入输出探针。＆lt;图像＆GT;

9. 发明公开

KR1020010032339A 전자장치의 표면신호조작용 프로우브 및 그 제조방법 有权
标题翻译：电子设备的表面信号处理探针及其制造方法
公开(公告)号：KR1020010032339A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020007005559
申请日：1999-11-12
申请人： 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤 , 나카야마 요시카즈
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오
IPC分类号： G01Q70/16
摘要： 주사형 프로우브현미경에 사용할 수 있는 고분해능인 고강성ㆍ고벤딩탄성의 프로우브를 실현하고, 표면원자상을 고분해능으로 촬상할 수 있도록 한다. 또한, 고정밀도의 자기정보처리장치에 사용할 수 있는 고정밀도의 입출력용 프로우브를 실현한다.
이 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 전자장치의 표면신호조작용 프로우브는 나노튜브(24)와, 이 나노튜브(24)를 유지하는 홀더(2A)와, 상기 나노튜브(24)의 선단부(24a)를 돌출시킨 상태에서 그 기단부(24b)를 홀더면에 고착시키는 고정수단으로 구성되고, 상기 나노튜브(24)의 선단부(24a)를 탐침으로 사용한다. 또한, 고정수단의 일예로서 나노튜브(24)의 기단부(24b)를 피복하는 코팅막(24)을 형성한다. 또한, 선단부의 근원측의 중간부(24c)에도 코팅막(30)을 형성하면, 또한 탐침강도와 분해능이 증가한다. 고정수단의 다른 예로서 기단부(24b)를 홀더면에 융착시킨다. 기단부(24b)의 전체 또는 일부가 융착부로 이루어져 나노튜브(24)가 홀더에 강고하게 고착한다.
나노튜브에는 카본나노튜브(CNT), BCN계 나노튜브, BN계 나노튜브 등의 일반의 나노튜브를 사용할 수 있다. 나노튜브는 선단곡률반경이 작기 때문에 고분해능으로 신호를 조작할 수 있고, 또한 강성이나 벤딩탄성이 높기 때문에 매우 파손하기 어려워 수명이 길다. 그리고, 원료값이 싸기 때문에, 고성능의 프로우브를 싼값에 제공할 수 있다. 또한, 이 프로우브를 예컨대, 주사형 터널현미경이나 원자간력현미경의 탐침으로서 사용할 수 있고, 자기디스크장치의 자기헤드로 대체하는 입출력용 프로우브로서도 사용할 수 있다.

10. 发明授权

KR100482172B1 나노핀셋 및 나노매니퓰레이터 失效
标题翻译： NANOTWEEZERS和NANOMANUPULATOR
公开(公告)号：KR100482172B1
公开(公告)日：2005-04-13
申请号：KR1020017013543
申请日：2001-03-08
申请人： 다이켄카가쿠 코교 가부시키가이샤 , 나카야마 요시카즈
发明人： 나카야마요시카즈 , 아키타세이지 , 하라다아키오 , 오카와타카시
IPC分类号： B82B3/00 , B25B9/02 , G01N3/16
摘要： 부품구성의 극소화를 도모하여, 절연체·반도체·도전체의 각종 나노물질을 파지할 수 있으며, 임의의 형상의 나노물질을 파지할 수 있는 나노핀셋 및 나노매니퓰레이터를 개발한다.
정전방식의 나노핀셋(2)은, 홀더(6)에 기단부를 고정하여 돌설된 복수의 나노튜브와, 이들 나노튜브 표면을 절연 피복하는 코팅피막과, 이 중 2본의 나노튜브(8, 9)에 연결된 리드선(10, 10)으로 이루어지며, 이 리드선 사이에 전압을 인가하여 정전인력에 의해 상기 2본의 나노튜브의 선단 사이를 개폐 자재로 만들어, 이 사이에 나노물질을 파지할 수 있는 것을 특징으로 하고 있다. 또, 나노튜브(9)의 표면에 압전막(32)을 형성하고, 압전막을 신축시켜서 상기 나노튜브의 선단 사이를 개폐 자재로 만들면, 절연체·반도체·도전체에 관계없이, 임의의 나노물질을 핸들링할 수 있다. 또, 3본의 나노튜브를 정전방식으로 개폐 자재로 만들면, 구상·막대모양 등의 임의의 형상의 나노물질을 핸들링할 수 있다. 나아가, 3차원 구동기구와 조합하여 나노매니퓰레이터를 구성하여, 나노물질의 파지·방출을 용이하게 한다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式