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1. 发明授权

KR101566178B1 절대 변위 센서를 이용한 광학식 원자현미경 有权
标题翻译：光学原子力显微镜使用绝对位移传感器
公开(公告)号：KR101566178B1
公开(公告)日：2015-11-05
申请号：KR1020140031363
申请日：2014-03-18
申请人： 광주과학기술원
发明人： 박기환 , 정지성 , 조준현 , 윤여민
IPC分类号： G01Q60/24 , G02B21/00
摘要： 실시예는광학식원자현미경으로서, 샘플을수평방향으로이동시키는 XY축나노스캐너, 상기샘플의표면을켄틸레버로스캐닝하는 Z축나노스캐너헤드부, 상기 Z축나노스캐너헤드부의상대변위를측정하는광센서, 상기 Z축나노스캐너를지지하는프레임및 상기 Z축나노스캐너의일측에마련된나노스캐너헤드부의절대변위를측정하는절대변위센서를포함하고, 상기 Z축나노스캐너헤드부의변위측정은측정하고자하는샘플표면형상이가지는높이에따라상기광센서또는상기절대변위센서로수행된다. 따라서, 원자현미경의광센서외에추가적으로스트레인게이지센서를이용하여 Z축나노스캐너의절대변위를측정함으로써, 기존의컨트롤제어출력값을이용하여형상정보를얻는경우에발생되는 Z축나노스캐너의비선형성으로인한측정에러를제거하여, 보다정확한형상정보를얻을수 있다.

2. 发明公开

KR1020150108513A 절대 변위 센서를 이용한 광학식 원자현미경 有权
标题翻译：光学原子力显微镜使用绝对位移传感器
公开(公告)号：KR1020150108513A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：KR1020140031363
申请日：2014-03-18
申请人： 광주과학기술원
发明人： 박기환 , 정지성 , 조준현 , 윤여민
IPC分类号： G01Q60/24 , G02B21/00
CPC分类号： G02B21/362 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q60/32
摘要： 실시예는 광학식 원자 현미경으로서, 샘플을 수평 방향으로 이동시키는 XY축 나노 스캐너, 상기 샘플의 표면을 켄틸레버로 스캐닝하는 Z축 나노 스캐너 헤드부, 상기 Z축 나노 스캐너 헤드부의 상대 변위를 측정하는 광센서, 상기 Z축 나노 스캐너를 지지하는 프레임 및 상기 Z축 나노 스캐너의 일측에 마련된 나노 스캐너 헤드부의 절대 변위를 측정하는 절대 변위 센서를 포함하고, 상기 Z축 나노 스캐너 헤드부의 변위 측정은 측정하고자 하는 샘플 표면 형상이 가지는 높이에 따라 상기 광센서 또는 상기 절대 변위 센서로 수행된다. 따라서, 원자현미경의 광센서 외에 추가적으로 스트레인 게이지 센서를 이용하여 Z축 나노스캐너의 절대 변위를 측정함으로써, 기존의 컨트롤 제어 출력값을 이용하여 형상 정보를 얻는 경우에 발생되는 Z축 나노 스캐너의 비선형성으로 인한 측정 에러를 제거하여, 보다 정확한 형상 정보를 얻을 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种光学扫描探针显微镜，其包括：XY轴纳米扫描器沿水平方向传送样品; Z轴纳米镜头部用悬臂扫描样品表面; 测量Z轴纳米镜头部的相对位移的光学传感器; 支持Z轴纳米镜的框架; 以及绝对位移传感器，其测量设置在Z轴纳米镜一侧的纳米头部的绝对位移。 Z轴纳米头部的位移测量由光学传感器或绝对位移传感器根据要测量的样品的表面形状的高度进行。因此，除了扫描探针显微镜的光学传感器之外，通过另外使用应变计传感器来测量Z轴纳米扫描仪的绝对位移，还可以通过除去非轴的测量误差来获得更精确的配置信息通过使用现有的控制控制输出值来获取配置信息时产生的Z轴纳米扫描仪的线性度。

3. 发明授权

KR101816657B1 원자현미경을 이용한 높이 교정 방법 有权
公开(公告)号：KR101816657B1
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：KR1020160065642
申请日：2016-05-27
申请人： 광주과학기술원
发明人： 박기환 , 정지성 , 윤여민 , 김준섭
IPC分类号： G01B9/04 , G01B5/30 , G01Q10/04 , G01Q60/42
摘要： 실시예는원자현미경을사용하여물체의높이를측정하는과정에포함되는높이교정방법으로서, 측정하고자하는물체를원자현미경의측정부에올려놓는단계, 절대변위센서로측정된압전구동기절대변위값과상기압전구동기의절대변위값에따른제1 제어기의제1 출력값을통해상기측정부에올려진물체의높이변환계수를교정하는단계및 광센서로측정되는압전구동기의변위에따른제2 제어기의제2 출력값에상기높이변환계수를곱하여상기물체의높이를구하는단계를포함하고, 상기높이변환계수는상기압전구동기의절대변위값을상기제1 출력값으로나누어준값일수 있다실시예는원자현미경으로물체의높이를측정시높이변환계수를교정하는과정에만선형적인특성을가지는센서를적용함으로써, 분해능이좋은기존의광센서를통해정밀한높이측정이가능하다.

4. 发明公开

KR1020170134022A 원자현미경을 이용한 높이 교정 방법 审中-实审
标题翻译：使用原子显微镜的高度修正方法
公开(公告)号：KR1020170134022A
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020160065642
申请日：2016-05-27
申请人： 광주과학기술원
发明人： 박기환 , 정지성 , 윤여민 , 김준섭
IPC分类号： G01B9/04 , G01B5/30 , G01Q10/04 , G01Q60/42
CPC分类号： G01B9/04 , G01B5/30 , G01Q10/045 , G01Q60/42
摘要： 실시예는원자현미경을사용하여물체의높이를측정하는과정에포함되는높이교정방법으로서, 측정하고자하는물체를원자현미경의측정부에올려놓는단계, 절대변위센서로측정된압전구동기절대변위값과상기압전구동기의절대변위값에따른제1 제어기의제1 출력값을통해상기측정부에올려진물체의높이변환계수를교정하는단계및 광센서로측정되는압전구동기의변위에따른제2 제어기의제2 출력값에상기높이변환계수를곱하여상기물체의높이를구하는단계를포함하고, 상기높이변환계수는상기압전구동기의절대변위값을상기제1 출력값으로나누어준값일수 있다실시예는원자현미경으로물체의높이를측정시높이변환계수를교정하는과정에만선형적인특성을가지는센서를적용함으로써, 분해능이좋은기존의광센서를통해정밀한높이측정이가능하다.
摘要翻译：一个实施例是包括在使用原子显微镜测量对象高度的过程中的高度校正方法，该方法包括以下步骤：将待测量对象放置在原子力显微镜的测量部分上;计算绝对位移值根据通过根据压电致动器的绝对位移值的第一控制器的第一输出的压电致动器的位移的第二控制器在步骤测量和安装在测量部用于校正对象的变换系数的高度的光学传感器并且，高度换算系数可以是将压电致动器的绝对位移值除以第一输出值而得到的值，本实施方式是原子力显微镜通过仅在测量高度时校准高度转换系数的过程中应用具有线性特性的传感器，可以通过使用具有良好分辨率的现有光学传感器来精确测量高度。

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