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1. 发明公开

KR1020130011451A 기울기센서 및 그 제조방법 有权
标题翻译：倾斜传感器及其形成方法
公开(公告)号：KR1020130011451A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：KR1020110072610
申请日：2011-07-21
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬 , 최영찬
IPC分类号： G01C9/20 , G01C9/18
CPC分类号： G01C9/18 , G01C9/06 , G01C25/00 , G01C2009/182
摘要： PURPOSE: A tilt sensor and a manufacturing method thereof are provided to sense an inclination in a 2 axial direction and to improve performance through an additional process without changing a manufacturing process. CONSTITUTION: A tilt sensor comprises a first substrate(100), a plurality of metal electrodes(200), and a common electrode(280). The first substrate comprises an top-opened grooved(120) where electrolyte solution is stored and a bottom-through groove(140). The plurality of metal electrodes is formed on the top of the first substrate. The common electrode is arranged in the lower part of the first substrate and connected to the top-opened groove by the bottom-through groove.
摘要翻译：目的：提供一种倾斜传感器及其制造方法，用于感测2轴方向的倾斜度，并且通过附加的过程改善性能而不改变制造过程。构成：倾斜传感器包括第一基板（100），多个金属电极（200）和公共电极（280）。第一基板包括其中存储电解质溶液的顶部开槽的沟槽（120）和底部通孔（140）。多个金属电极形成在第一基板的顶部上。公共电极布置在第一基板的下部，并且通过底部通孔与顶部开口的凹槽连接。

2. 发明授权

KR101308132B1 마이크로 보트 有权
标题翻译： microboat
公开(公告)号：KR101308132B1
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：KR1020110068512
申请日：2011-07-11
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬 , 최영찬
IPC分类号： B81B7/00 , B81B1/00
摘要： 본 발명의 일실시예는 마이크로 보트에 관한 것으로서 가열수단을 포함하는 제1기판 그리고 노즐을 포함하는 제2기판을 포함하며, 제1기판과 제2기판의 접합으로 마이크로 챔버가 형성된다.

3. 发明授权

KR101297400B1 기울기센서 및 그 제조방법 有权
标题翻译：倾斜传感器及其形成方法
公开(公告)号：KR101297400B1
公开(公告)日：2013-08-19
申请号：KR1020110072610
申请日：2011-07-21
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬 , 최영찬
IPC分类号： G01C9/20 , G01C9/18
摘要： 본 발명의 일실시예는 기울기 센서에 관한 것으로서 상부개방홈과 하부 관통홈을 포함하는 제1기판, 제1기판의 상부에 형성되는 복수의 금속전극 그리고 제1기판의 하부에 배치되는 공통전극을 포함하며, 상부개방홈에는 전해질 용액이 저장되고, 상부개방홈이 관통홈에 의해서 공통전극과 연통되도록 배치된다.

4. 发明公开

KR1020120126752A 적외선 센서 및 그 제조방법 无效
标题翻译：红外探测器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020120126752A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：KR1020110044790
申请日：2011-05-12
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬 , 박중희
IPC分类号： G01J5/20 , G01J5/02 , G01J5/14
摘要： PURPOSE: An infrared sensor and a manufacturing method thereof are provided to reduce a loss of infrared rays being incident to an infrared sensor, thereby enhancing the sensitivity of the infrared sensor by a bolometer. CONSTITUTION: An infrared sensor comprises a detection circuit substrate(500), a plurality of pixels, a bolometer(100), and a silicon substrate layer(300). The pixels are formed on the top of the detection circuit substrate. The bolometer absorbs the infrared rays. The silicon substrate layer is etched by a pixel unit on the top of the bolometer. The silicon substrate layer comprises a reflecting plate.
摘要翻译：目的：提供一种红外线传感器及其制造方法，以减少入射到红外线传感器的红外线的损失，从而通过测辐射热量计提高红外线传感器的灵敏度。构成：红外线传感器包括检测电路基板（500），多个像素，测辐射热计（100）和硅基板层（300）。像素形成在检测电路基板的顶部。辐射热量计吸收红外线。硅衬底层被测辐射热计顶部的像素单元蚀刻。硅衬底层包括反射板。

5. 发明公开

KR1020100037915A 기울기 또는 가속도 측정이 가능한 반도체 센서 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：用于测量倾斜或加速度的半导体传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR1020100037915A
公开(公告)日：2010-04-12
申请号：KR1020080097259
申请日：2008-10-02
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/09
CPC分类号： G01P15/0802 , G01P15/0897 , G01P15/18 , G01P2015/0868
摘要： PURPOSE: A semiconductor-sensor for measuring tilt or acceleration, and a manufacturing method thereof are provided to easily miniaturize by simplifying the configuration of a heating element and a temperature sensor. CONSTITUTION: An insulating layer(101) is formed with an insulating material. A heating element(110) is formed on the insulating layer. The temperature sensor(120) is formed on the top surface of the insulating layer. The temperature sensor is separated from the heating element. A cover houses the insulating layer, the heating element, and the temperature sensor. The heating element heats the air. The temperature sensor senses the temperature of the peripheral area.
摘要翻译：目的：提供一种用于测量倾斜或加速度的半导体传感器及其制造方法，通过简化加热元件和温度传感器的构造来容易地小型化。构成：绝缘层（101）由绝缘材料形成。在绝缘层上形成加热元件（110）。温度传感器（120）形成在绝缘层的顶表面上。温度传感器与加热元件分离。盖子容纳绝缘层，加热元件和温度传感器。加热元件加热空气。温度传感器检测周边区域的温度。

6. 发明公开

KR1020140108408A 마이크로 수상로봇 审中-实审
标题翻译： MICRO表面机器人
公开(公告)号：KR1020140108408A
公开(公告)日：2014-09-11
申请号：KR1020130020944
申请日：2013-02-27
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬 , 최영찬 , 정동건 , 최성규 , 김용직 , 박주현 , 김도훈
IPC分类号： B63H11/12 , B25J7/00 , B63B35/00 , B81B7/02
CPC分类号： B25J7/00 , B63H11/12 , B81B7/02
摘要： The present invention relates to a micro surface robot. According to an embodiment of the present invention, the micro surface robot comprises: a body (10) which moves on the surface of a liquid (1); a first chamber (21) which has the liquid (1) accommodated therein; a first heating wire (23) to heat the liquid (1) which is accommodated in the first chamber (21); a first substrate (20) which includes a first liquid inlet (25) opened to supply the first liquid (1) to the first chamber (21) and a first steam outlet (27) opened to discharge steam generated by vaporizing the first liquid (1); a second chamber (31) which has the liquid (1) accommodated therein; a second heating wire (33) to heat the liquid (1) accommodated in the second chamber (31); a second substrate (30) which includes a second liquid inlet (35) opened to supply the first liquid (1) to the second chamber (31) and a second steam outlet (37) opened to discharge steam generated by vaporizing the first liquid (1); a power supply means (40) which supplies electricity to the first heating wire (23) and the second heating wire (33); and a control unit (50) which controls the power supply unit (40) and changes the direction of progress of the body (10) by controlling the amount of steam (3) discharged from the first substrate (20) and the second substrate (30), wherein the body (10) is propelled by propulsion generated by the steam (3) discharged from the first substrate (20) and the second substrate (30).
摘要翻译：微型机器人技术领域本发明涉及一种微型机器人。根据本发明的实施例，微型表面机器人包括：在液体（1）的表面上移动的主体（10）; 具有容纳在其中的液体（1）的第一室（21）第一加热线（23），用于加热容纳在第一腔室（21）中的液体（1）; 第一基板（20），其包括开放以将第一液体（1）供应到第一室（21）的第一液体入口（25）和第一蒸汽出口（27），其打开以排出通过蒸发第一液体 1）; 具有容纳在其中的液体（1）的第二室（31）; 第二加热线（33），用于加热容纳在第二腔室（31）中的液体（1）; 第二基板（30），其包括打开以将第一液体（1）供应到第二室（31）的第二液体入口（35）和打开以排出通过蒸发第一液体产生的蒸汽的第二蒸汽出口（37） 1）; 向第一加热丝（23）和第二加热线（33）供电的供电装置（40）; 以及控制单元（50），其通过控制从第一基板（20）和第二基板（20）排出的蒸汽（3）的量来控制电源单元（40）并改变主体（10）的进行方向 30），其中主体（10）由从第一基板（20）和第二基板（30）排出的蒸汽（3）产生的推进推进。

7. 发明公开

KR1020130007890A 마이크로 보트 有权
标题翻译： MICROBOAT
公开(公告)号：KR1020130007890A
公开(公告)日：2013-01-21
申请号：KR1020110068512
申请日：2011-07-11
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬 , 최영찬
IPC分类号： B81B7/00 , B81B1/00
摘要： PURPOSE: A micro boat is provided to reduce energy consumption as a separate energy source is not necessary so that semi-permanent operation can be possible. CONSTITUTION: A micro boat comprises a first substrate(100) and a second substrate(200). The first substrate comprises a heating member(120). The second substrate comprises a nozzle(230). A micro chamber is formed by bonding the first and second substrates. [Reference numerals] (AA) Water
摘要翻译：目的：提供微型船，以减少能源消耗，因为不需要单独的能源，以便半永久性操作是可能的。构造：微型船包括第一基板（100）和第二基板（200）。第一衬底包括加热构件（120）。第二基板包括喷嘴（230）。通过结合第一和第二基板形成微室。（附图标记）（AA）水

8. 发明授权

KR101024616B1 기울기 또는 가속도 측정이 가능한 반도체 센서 및 그의 제조방법 有权
标题翻译：用于测量倾斜或加速度的半导体传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101024616B1
公开(公告)日：2011-03-25
申请号：KR1020080097259
申请日：2008-10-02
申请人： 경북대학교 산학협력단
发明人： 공성호 , 최주찬
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/09
摘要： 본 발명은 기울기 또는 가속도 측정이 가능한 반도체 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 반도체 센서는, 절연 물질로 형성된 절연막; 상기 절연막의 상부 표면에 형성된 발열부; 상기 절연막의 상부 표면에 형성되며, 상기 발열부로부터 일정거리 이격된 위치에 형성된 온도 감지부; 및 상기 절연막, 상기 발열부 및 상기 온도 감지부를 밀폐되도록 하우징하며, 상기 발열부와 상기 온도 감지부의 상부에 공간을 제공하는 덮개부;를 구비하고, 상기 발열부는 상기 덮개부에 의해 제공된 공간의 공기를 가열하며, 상기 온도 감지부는 상기 발열부를 기준으로 하여 서로 대칭되는 위치에 각각 형성되어 주변영역의 온도를 감지하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 본 발명은 기울기 및 가속도 센서의 소형화 및 저가격화에 기여하고, 더불어 반응성과 감도가 우수한 반도체 센서를 제공할 수 있다.
반도체 공정, 반도체 센서, 기울기 센서, 가속도 센서

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