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1. 发明公开

KR1020130026503A 하전 입자 빔 현미경 有权
标题翻译：充电颗粒光束显微镜
公开(公告)号：KR1020130026503A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：KR1020137003177
申请日：2011-08-08
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 후꾸다,무네유끼 , 스즈끼,나오마사 , 쇼조,도모야스 , 다까하시,노리쯔구 , 스즈끼,히로시 , 마끼노,히로시
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/263 , G01N23/22 , H01J37/222 , H01J37/28
摘要： 본 발명의 하전 입자 빔 현미경은, 검출 입자(118)의 계측 처리법의 선택 수단(153, 155)을 구비하고, 상기 수단은 시료(114)로부터 방출되는 2차 전자(115)수가 많은 주사 영역과, 2차 전자수가 적은 주사 영역에서, 상이한 계측 처리법을 선택하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 하전 입자 빔 현미경을 이용한 시료 검사에 있어서, 방출되는 2차 전자수가 적은 구멍 바닥이나 홈 바닥의 대비를 강조한 상, 및 음영 대비를 강조한 상을 단시간에 취득할 수 있게 되었다.

2. 发明授权

KR101685274B1 하전 입자선 장치 有权
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：KR101685274B1
公开(公告)日：2016-12-09
申请号：KR1020147030888
申请日：2013-04-12
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 다찌바나,이찌로 , 스즈끼,나오마사
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J37/3178 , H01J2237/04756 , H01J2237/0492 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/15 , H01J2237/21 , H01J2237/244 , H01J2237/2602 , H01J2237/281
摘要： 깊은구멍관찰등을위해서리타딩과부스팅을조합해서제어함으로써, 신호전자를에너지선택해서검출하는경우, 포커스조정에는대물렌즈의자장변화를사용할수밖에없지만, 자장변화는응답성이나쁘기때문에, 스루풋이저하되어버린다. 1차전자선을발생하는전자원과, 상기 1차전자선을집속하는대물렌즈와, 상기 1차전자선을편향시키는편향기와, 상기 1차전자선의조사에의해시료로부터발생하는 2차전자또는반사전자를검출하는검출기와, 상기 1차전자선이통과하는구멍을갖는전극과, 상기전극에부전압을인가하는전압제어전원과, 상기시료에부전압을인가함으로써상기시료상에상기 1차전자선을감속시키는전계를생성하는리타딩전압제어전원을구비하고, 상기전극에인가되는전압과상기시료에인가되는전압의차를일정하게한 채초점조정을행한다.
摘要翻译：当通过组合并控制用于观察深孔等的延迟和升压来进行能量选择来检测信号电子时，聚焦调整的唯一方式是使用物镜的磁场变化。然而，由于磁场变化的响应性差，吞吐量降低。带电粒子束装置包括：电子源，被配置为产生一次电子束; 配置成聚焦一次电子束的物镜; 偏转器，被配置为偏转所述一次电子束; 检测器，被配置为通过一次电子束的照射来检测从样品产生的二次电子或反射电子; 具有一次电子束通过的孔的电极; 电压控制电源，被配置为向所述电极施加负电压; 以及延迟电压控制电源，被配置为通过向样本施加负电压来产生使样品上的一次电子束减速的电场，其中带电粒子束装置执行焦点调整，同时施加到施加到样品的电极和电压保持不变。

3. 发明公开

KR1020130018853A 주사 전자 현미경 및 시료 관찰 방법 有权
标题翻译：扫描电子显微镜和样品观察方法
公开(公告)号：KR1020130018853A
公开(公告)日：2013-02-25
申请号：KR1020127029072
申请日：2011-04-20
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 다까다,사또시 , 스즈끼,나오마사 , 반,나오마 , 가또,다쯔이찌
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/026 , H01J2237/2594 , H01J2237/281 , H01J2237/2815
摘要： 본 발명의 주사 전자 현미경은, 시료(110)의 프리차지를 행할 때에, 상기 시료에 대하여 복수의 입사 방향(403, 404)으로부터 전자선을 입사시키는 것이나, 프리차지 조사 영역을 동심 형상의 복수의 링 형상 영역(807, 813)으로 나누고, 상기 각 링 형상 영역에 대하여 전자선을 주사시키는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 콘택트 홀 벽면에서 상실되는 2차 전자가 감소되어 콘택트 홀의 바닥의 정보를 얻는 것이 가능해지므로, 프리차지 시에 전자선의 경사에 의해 콘택트 홀 내의 대전이 불균일해져서 관찰이 곤란해지는 문제를 해결할 수 있게 되었다.

4. 发明授权

KR101591154B1 회절 수차 보정기를 적용한 하전 입자 빔 현미경 有权
标题翻译：带有衍射偏差校正器的充电颗粒光束显微镜
公开(公告)号：KR101591154B1
公开(公告)日：2016-02-02
申请号：KR1020137016861
申请日：2011-12-26
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 후꾸다,무네유끼 , 오세,요이찌 , 사또,미쯔구 , 이또,히로유끼 , 스즈끼,히로시 , 스즈끼,나오마사
IPC分类号： H01J37/153
CPC分类号： H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/26 , H01J2237/1534 , H01J2237/2614
摘要： Aharonov-Bohm 효과를이용하여전자빔의위상을제어하는회절수차보정의동작원리에기초하여, 솔레노이드코일링의다극자에의해구성되는보정기의구조와빔 축에대한벡터포텐셜의직교도와축 어긋남을조정하는기능에의해회절수차보정기를구성하고, 위상차를발생시키기위해벡터포텐셜을빔 축에직교하고, 또한빔 축에대해직교면내에서대칭인분포로유기하는회절수차보정기를대물조리개와대물렌즈의가까이에설치하고, 빔축으로부터비스듬히진행하는회절파는자속의링을지나감으로써상기벡터포텐셜에의한 Aharonov-Bohm 효과에의해빔 직경내의위상차를증대하여시료상의전자빔의강도를억제할수 있다.

5. 发明授权

KR101411119B1 하전 입자 빔 현미경 有权
标题翻译：充电颗粒光束显微镜
公开(公告)号：KR101411119B1
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：KR1020137003177
申请日：2011-08-08
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 후꾸다,무네유끼 , 스즈끼,나오마사 , 쇼조,도모야스 , 다까하시,노리쯔구 , 스즈끼,히로시 , 마끼노,히로시
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/263 , G01N23/22 , H01J37/222 , H01J37/28
摘要： 본 발명의 하전 입자 빔 현미경은, 검출 입자(118)의 계측 처리법의 선택 수단(153, 155)을 구비하고, 상기 수단은 시료(114)로부터 방출되는 2차 전자(115)수가 많은 주사 영역과, 2차 전자수가 적은 주사 영역에서, 상이한 계측 처리법을 선택하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 하전 입자 빔 현미경을 이용한 시료 검사에 있어서, 방출되는 2차 전자수가 적은 구멍 바닥이나 홈 바닥의 대비를 강조한 상, 및 음영 대비를 강조한 상을 단시간에 취득할 수 있게 되었다.

6. 发明公开

KR1020140143441A 하전 입자선 장치 有权
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：KR1020140143441A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020147030888
申请日：2013-04-12
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 다찌바나,이찌로 , 스즈끼,나오마사
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J37/3178 , H01J2237/04756 , H01J2237/0492 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/15 , H01J2237/21 , H01J2237/244 , H01J2237/2602 , H01J2237/281
摘要： 깊은 구멍 관찰 등을 위해서 리타딩과 부스팅을 조합해서 제어함으로써, 신호 전자를 에너지 선택해서 검출하는 경우, 포커스 조정에는 대물 렌즈의 자장 변화를 사용할 수밖에 없지만, 자장 변화는 응답성이 나쁘기 때문에, 스루풋이 저하되어버린다. 1차 전자선을 발생하는 전자원과, 상기 1차 전자선을 집속하는 대물 렌즈와, 상기 1차 전자선을 편향시키는 편향기와, 상기 1차 전자선의 조사에 의해 시료로부터 발생하는 2차 전자 또는 반사 전자를 검출하는 검출기와, 상기 1차 전자선이 통과하는 구멍을 갖는 전극과, 상기 전극에 부전압을 인가하는 전압 제어 전원과, 상기 시료에 부전압을 인가함으로써 상기 시료 상에 상기 1차 전자선을 감속시키는 전계를 생성하는 리타딩 전압 제어 전원을 구비하고, 상기 전극에 인가되는 전압과 상기 시료에 인가되는 전압의 차를 일정하게 한 채 초점 조정을 행한다.
摘要翻译：当通过组合并控制用于观察深孔等的延迟和升压来进行能量选择来检测信号电子时，聚焦调整的唯一方式是使用物镜的磁场变化。然而，由于磁场变化的响应性差，吞吐量降低。带电粒子束装置包括：电子源，被配置为产生一次电子束; 配置成聚焦一次电子束的物镜; 偏转器，被配置为偏转所述一次电子束; 检测器，被配置为通过一次电子束的照射来检测从样品产生的二次电子或反射电子; 具有一次电子束通过的孔的电极; 电压控制电源，被配置为向所述电极施加负电压; 以及延迟电压控制电源，被配置为通过向样本施加负电压来产生使样品上的一次电子束减速的电场，其中带电粒子束装置执行焦点调整，同时施加到施加到样品的电极和电压保持恒定。

7. 发明授权

KR101386290B1 주사 전자 현미경 및 시료 관찰 방법 有权
标题翻译：扫描电子显微镜和样品观察方法
公开(公告)号：KR101386290B1
公开(公告)日：2014-04-17
申请号：KR1020127029072
申请日：2011-04-20
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 다까다,사또시 , 스즈끼,나오마사 , 반,나오마 , 가또,다쯔이찌
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/147
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/026 , H01J2237/2594 , H01J2237/281 , H01J2237/2815
摘要： 본 발명의 주사 전자 현미경은, 시료(110)의 프리차지를 행할 때에, 상기 시료에 대하여 복수의 입사 방향(403, 404)으로부터 전자선을 입사시키는 것이나, 프리차지 조사 영역을 동심 형상의 복수의 링 형상 영역(807, 813)으로 나누고, 상기 각 링 형상 영역에 대하여 전자선을 주사시키는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 콘택트 홀 벽면에서 상실되는 2차 전자가 감소되어 콘택트 홀의 바닥의 정보를 얻는 것이 가능해지므로, 프리차지 시에 전자선의 경사에 의해 콘택트 홀 내의 대전이 불균일해져서 관찰이 곤란해지는 문제를 해결할 수 있게 되었다.

8. 发明公开

KR1020130102627A 회절 수차 보정기를 적용한 하전 입자 빔 현미경 有权
标题翻译：带有衍射偏差校正器的充电颗粒光束显微镜
公开(公告)号：KR1020130102627A
公开(公告)日：2013-09-17
申请号：KR1020137016861
申请日：2011-12-26
申请人： 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人： 후꾸다,무네유끼 , 오세,요이찌 , 사또,미쯔구 , 이또,히로유끼 , 스즈끼,히로시 , 스즈끼,나오마사
IPC分类号： H01J37/153
CPC分类号： H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/26 , H01J2237/1534 , H01J2237/2614
摘要： Based on the operation principle of diffraction aberration correction for controlling the phase of the electron beam using the Aharonov-Bohm effect, a diffraction aberration corrector is formed by the structure of a corrector formed by the multipole of the solenoid coil ring and a function of adjusting the degree of orthogonality or axial shift of the vector potential with respect to the beam axis. In order to cause a phase difference, the diffraction aberration corrector that induces a vector potential, which is perpendicular to the beam axis and has a symmetrical distribution within the orthogonal plane with respect to the beam axis, is provided near the objective aperture and the objective lens. A diffracted wave traveling in a state of being inclined from the beam axis passes through the ring of the magnetic flux. Therefore, since the phase difference within the beam diameter is increased by the Aharonov-Bohm effect due to the vector potential, it is possible to suppress the intensity of the electron beam on the sample.

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