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    • 1. 发明公开
    • 본딩 장치
    • 绑定设备
    • KR1020160127073A
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    • KR1020167026410
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    • 가부시키가이샤 신가와
    • 카쿠타니오사무타자와히데히로츠지마사히토
    • H01L23/00H01L21/52H01L21/78
    • H01L24/741H01L24/75H01L2224/75651H01L2224/75744H01L2224/75745H01L2224/75804H01L2224/75841
    • 가대(41)에대하여 Y축방향으로이동가능하도록설치되는테이블(52)과, 가대(41)에대하여 Y축방향으로이동가능하도록각각설치되는제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)를구비하고, 제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)는테이블(52)이 Y축방향으로이동할때에 Y축방향에있어서테이블(52)과역방향으로각각이동하도록구성되고, 제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)는테이블(52)을사이에두고 X축방향의양측에각각배치되고, 제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)는제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)의무게중심이테이블(52)의무게중심에기초하는위치가되도록배치된다. 이것에의해스페이스의증가를억제함과아울러, 가대에있어서의중량밸런스를개선할수 있는본딩장치를제공한다.
    • 提供了一种接合装置,其包括相对于基座(41)沿Y轴方向可移动地设置的工作台(52),第一反作用部件(58A)和第二反作用部件(58B)。 第一反作用构件和第二反作用构件被构造成当工作台沿Y轴方向移动时沿与Y工作台相反的方向移动。 从X轴方向观察,第一反应构件和第二反应构件分别设置在工作台的两侧,工作台位于第一和第二反应构件之间,使得第一和第二反应的重心 构件基于桌子的重心定位。 因此,接合装置能够抑制空间的增加,能够提高基座上的重量平衡。
    • 3. 发明授权
    • 본딩 장치
    • 绑定设备
    • KR101835814B1
    • 2018-03-08
    • KR1020167026410
    • 2014-09-30
    • 가부시키가이샤 신가와
    • 카쿠타니오사무타자와히데히로츠지마사히토
    • H01L23/00H01L21/52H01L21/78
    • H01L24/741H01L24/75H01L2224/75651H01L2224/75744H01L2224/75745H01L2224/75804H01L2224/75841
    • 가대(41)에대하여 Y축방향으로이동가능하도록설치되는테이블(52)과, 가대(41)에대하여 Y축방향으로이동가능하도록각각설치되는제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)를구비하고, 제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)는테이블(52)이 Y축방향으로이동할때에 Y축방향에있어서테이블(52)과역방향으로각각이동하도록구성되고, 제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)는테이블(52)을사이에두고 X축방향의양측에각각배치되고, 제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)는제1 반동부재(58A) 및제2 반동부재(58B)의무게중심이테이블(52)의무게중심에기초하는위치가되도록배치된다. 이것에의해스페이스의증가를억제함과아울러, 가대에있어서의중량밸런스를개선할수 있는본딩장치를제공한다.
    • 第一回弹构件和台52被安装为能够Y轴相对于台架41,它们分别设置成是Y轴相对于所述支架(41)(58A)mitje 2回弹部件的方向在可动的方向移动(58B ),其包括,第一和配置的一个回弹构件(58A)mitje 2回弹构件(58B)有一个表(52),以便当在Y轴方向上移动,以分别移动在Y轴方向上的台52 gwayeok方向,并且 第一回弹构件(58A)mitje 2回弹构件(58B)是表52 eulsa这个地方分别配置在X轴方向的两侧,第一回弹构件(58A)mitje 2回弹构件(58B)neunje一个反冲构件 第二反冲构件58B和第二反冲构件58B的重心位于基于工作台52的重心的位置处。 由此,可以提供一种能够抑制空间增加并且改善安装件中的重量平衡的接合装置。