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1. 发明授权

KR100810467B1 결정 성장 장비 有权
标题翻译：水晶生长单元
公开(公告)号：KR100810467B1
公开(公告)日：2008-03-07
申请号：KR1020067009551
申请日：2004-10-25
申请人： 크리스탈 그로우잉 시스템즈 게엠베하
发明人： 뮈헤,안드레아스 , 알텍뤼거,부르크하르트 , 본호프,액셀
IPC分类号： H01L21/20
CPC分类号： C30B15/30 , C30B11/00 , C30B15/14 , Y10S117/90 , Y10T117/10
摘要： 본 발명은 결정 성장 장비에 관한 것이다. 이 장비에는 융액(13)을 가열하는 저항 히터 및 도가니에서 교류 자계 (이 자계의 흐름은 융액(13)에서 유도된다)를 발생하는 필드 코일이 장착된다.
본 발명은 저항 히터들이 또한 필드 코일로서 기능하도록 즉, 이 코일들이 중공 원통체(1)로 형성되고 그 주위에 권선된 서라운딩 슬릿(2)에 의해 나선형 단일층 전류 경로가 형성되도록 하는 식으로 설계된다. 이는 장비에서 전기 가열에 필요한 전류가 또한 자게 발생에도 이용되는 장점을 갖는다. 따라서, 개별적인 필드 코일도 개별적인 전류공급도 불필요하게 된다. 또한, 코일 어레이로서 배열된 필드 코일로서 역할을 하는 저항 히터는 고온 저항성이며, 장비의 바로 뜨거운 코어 영역을 에워싸고 이에 따라 융액 영역을 에워싼다. 따라서, 자계를 발생하는 체적이 최소화된다. 더욱이, 교류 자계가 결정 성장 장비의 베젤벽을 관통할 필요가 없으므로 이 베젤은 통상적인 스틸 보일러로서 설계될 수 있다.
반도체, 융액, 코일 어레이, 자계, 결정, 성장

2. 发明授权

KR100831609B1 단결정 성장 설비용 인대 회전두부 有权
标题翻译：水晶绘图系统的旋转头
公开(公告)号：KR100831609B1
公开(公告)日：2008-05-23
申请号：KR1020067021083
申请日：2005-03-11
申请人： 크리스탈 그로우잉 시스템즈 게엠베하
发明人： 뮈헤,안드레아스
IPC分类号： C30B15/30
CPC分类号： C30B15/30 , Y10S117/90 , Y10T117/10 , Y10T117/1008 , Y10T117/1032 , Y10T117/1064 , Y10T117/1068 , Y10T117/1072 , Y10T117/1088
摘要： 쵸크랄스키-결정인상설비에 장치된 인대회전두부(引帶回轉頭部)(8)에 있어서, 인대(7)와 그 단부(端部)에 고정된 종자결정 파지기(6)를 수평 방향 및 수직으로 구동하기 위한 슬립링(slip ring)이 없는 인대회전장치(8)를 실시하기 위하여 인대권취기구(15)를 구비하는 인대회전두부(8)가 수직 중공축(14)으로 지지되고, 상기 중공축(14)을 통하여 인대(7)를 결정인상설비 속에 매달도록 되어 있으며, 상기 인대회전두부(8)는 자신의 축을 중심으로 회전하도록 지지되어, 상기 결정인상설비에 고정된 회전모터(11)에 의하여 상기 인대권취기구(15) 및 인대(7)와 함께 회전할 수 있도록 되어 있고, 상기 수직 중공축(14)은 이중치차(16)에 의하여 동축으로 둘러싸여 있고, 상기 이중치차(16)는 중공축(14)을 중심으로 회전 가능하게 지지되어, 상기 결정인상설비에 고정된 인상모터(10)에 의하여 회전할 수 있도록 되어있으며, 이때 상기 이중치차(16)는 치차장치를 통하여 상기 인대권취기구(15)를 회전시킴으로써, 상기 결정인상설비에 고정된 인상모터(10)로부터 기계 에너지가 상기 결정인상설비에 대하여 상대적 회전을 하는 인대권취기구(15)로 전달될 수 있게된다.
초크랄스키-단결정 성장설비, 인대회전두부, 결정인상설비

3. 发明公开

KR1020010082689A 단결정인상장치 无效
标题翻译：水晶拉丝机
公开(公告)号：KR1020010082689A
公开(公告)日：2001-08-30
申请号：KR1020010007664
申请日：2001-02-16
申请人： 크리스탈 그로우잉 시스템즈 게엠베하
发明人： 알텍뤼거부르크하르트 , 숄러요한
IPC分类号： C30B15/06
CPC分类号： C30B15/30 , G01G19/14
摘要： PURPOSE: A crystal puller is provided to inexpensively achieve the highest degree of measuring accuracy that is influenced as less as possible by friction conditions and allowable error. CONSTITUTION: In a crystal puller in which a contact seed holder(5) mounted so that it is rotated on a driven shaft is vertically moved by being supported to a rope(6) wound on a rope drum(15) by one of rotation rollers, the rope drum alters an elevation of the contact seed holder(5) as the rope drum is being operated by a motor, and the rotation roller is mounted on a cross stand connected to a casing(7) of the rope drum through weight measuring gauge heads(17,18), the crystal puller is characterized in that the rope drum(15) is supported so that it is axially moved inside the casing(7), a spiral rope winding groove is formed on the surface of the rope drum(15), one guide roller which is fixed so that it is axially not moved inside the casing(7) is connected to the inside of the spiral winding groove, and the rotation roller(22) is installed so that the rope(6) wound or unwound on the rope drum(15) is guided into the winding groove along a straight line fixed from the rotation roller between the guide roller and the rope drum(15).
摘要翻译：目的：提供一种晶体拉拔器，以便通过摩擦条件和允许误差尽可能低地影响到最高程度的测量精度。构成：在其中安装有使得其在从动轴上旋转的接触种子保持器（5）的晶体拉出器通过由旋转辊中的一个支撑到卷绕在绳筒（15）上的绳索（6）而被垂直移动当绳索由马达操作时，绳索滚筒改变接触种子保持器（5）的高度，并且旋转辊安装在通过重量测量连接到绳索滚筒的壳体（7）的十字架上测量头（17,18），其特征在于，所述绳卷筒（15）被支撑成使得其在所述壳体（7）内轴向移动，螺旋绳索卷绕槽形成在所述绳卷筒（15）中，一个导向辊被固定成在壳体（7）内轴向不移动，其中螺旋卷绕槽的内部连接有旋转辊（22），使得绳索（6）在绳索滚筒（15）上的卷绕或展开沿着从旋转辊固定的直线被引导到卷绕槽中在导辊和绳筒（15）之间。

4. 发明授权

KR100888754B1 중결정(重結晶)을 제조하기 위한결정인상장치(結晶引上裝置) 및 방법 有权
标题翻译： Kristallziehanlage und Verfahren zur Herstellung von schweren Kristallen
公开(公告)号：KR100888754B1
公开(公告)日：2009-03-17
申请号：KR1020070073305
申请日：2007-07-23
申请人： 크리스탈 그로우잉 시스템즈 게엠베하 , 실트로닉 아게
发明人： 알텍뤼거,부르크하르트 , 헨켈,스테판 , 본호프,액셀 , 톰지그,에리히 , 크레너,디터
IPC分类号： C30B15/10 , C30B15/20
CPC分类号： C30B15/32 , Y10S117/911 , Y10T117/10 , Y10T117/1032 , Y10T117/1068 , Y10T117/1072
摘要： 본 발명은 쵸크랄스키 방법에 따라 인상장치를 이용하여 특히 중결정(重結晶)(5)을 인상할 수 있는 인상설비 및 인상방법에 관한 것이다. 이를 위하여 상기 결정(5)의 경부(頸部)(4)에 융기부(10)가 형성되어 있으며, 이 융기부(10)는 지지장치에 의하여 밑에서 지지된다. 이 지지장치에는 걸쇠(7)들이 장치되어, 정지위치로부터 작업위치로 전환될 수 있도록 되어있으며, 상기 작업위치에서는 걸쇠(7)들이 상기 융기부(10)를 밑에서 지지하여 준다. 이때 각 걸쇠(7)는 기초부(1)에 장착되어 선회축(8)을 중심으로 선회할 수 있도록 지지되어 있으며, 2개의 안정된 위치, 즉, 정지위치와 작업위치를 취할 수 있다. 상기 각 위치는 상기 기초부(1)에 형성된 스토퍼(stopper)에 의하여 결정된다. 상기 걸쇠가 한쪽의 스토퍼에 놓일 때는 그의 중심(重心)이 경부(4)로부터 보아 선회축(8) 반대쪽에 위치하고, 상기 걸쇠가 다른 쪽 스토퍼에 놓일 때는 그의 중심은 선회축(8) 쪽에 위치하게 된다.
상기 걸쇠(7)의 조작은 인상설비에 설치하여 고정된 조작장치에 의하여 이루어진다.
결정인상장치, 쵸크랄스키 방법, 중결정

5. 发明公开

KR1020060104999A 결정 성장 장비 有权
标题翻译：水晶生长单元
公开(公告)号：KR1020060104999A
公开(公告)日：2006-10-09
申请号：KR1020067009551
申请日：2004-10-25
申请人： 크리스탈 그로우잉 시스템즈 게엠베하
发明人： 뮈헤,안드레아스 , 알텍뤼거,부르크하르트 , 본호프,액셀
IPC分类号： H01L21/20
CPC分类号： C30B15/30 , C30B11/00 , C30B15/14 , Y10S117/90 , Y10T117/10
摘要： The invention relates to a crystal growing unit, generally provided with a resistance heater for heating the melt (13) and also with field coils (inductors), generating an alternating field in the crucible (11), by means of which currents are induced in the melt (13). According to the invention, the resuistance heater is also embodied as a field coil, in other words, is formed by a hollow cylindrical body (1) in which a helical, single-layer current path is formed by a peripheral slot (2). The above has the advantage that the current necessary for heating the unit is also used to generate a moving magnetic field. As a result, neither separate field coils nor a separate power supply for the field coils is necessary. The resistance heater also serving as field coil which is embodied as a coil arrangement, is high temperature resistant and directly encloses the hot core of the unit and hence the melt region. The volume in which the magnetic field must be generated is thus minimised. The magnetic field must not extend beyond the shell wall of the crystal growing unit, said shell wall can thus be embodied as a conventional steel shell.
摘要翻译：本发明涉及一种晶体生长单元，其通常设置有用于加热熔体（13）的电阻加热器，并且还具有励磁线圈（电感器），在坩埚（11）中产生交变电场，通过该电场加热电流熔体（13）。根据本发明，电阻加热器还被实施为场线圈，换句话说，由中空圆柱体（1）形成，其中螺旋形单层电流路径由外围槽（2）形成。上述优点在于，加热单元所需的电流也用于产生移动磁场。因此，不需要单独的励磁线圈和用于励磁线圈的单独的电源。作为实现为线圈装置的励磁线圈的电阻加热器是耐高温的，并且直接包围该单元的热芯并因此包围熔融区域。因此必须产生磁场的体积被最小化。磁场不能超出晶体生长单元的壳壁，因此所述壳壁可以被实施为传统的钢壳。

6. 发明公开

KR1020080010291A 중결정(重結晶)을 제조하기 위한결정인상장치(結晶引上裝置) 및 방법 有权
标题翻译：克里斯蒂安·伦敦维也纳
公开(公告)号：KR1020080010291A
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：KR1020070073305
申请日：2007-07-23
申请人： 크리스탈 그로우잉 시스템즈 게엠베하 , 실트로닉 아게
发明人： 알텍뤼거,부르크하르트 , 헨켈,스테판 , 본호프,액셀 , 톰지그,에리히 , 크레너,디터
IPC分类号： C30B15/10 , C30B15/20
CPC分类号： C30B15/32 , Y10S117/911 , Y10T117/10 , Y10T117/1032 , Y10T117/1068 , Y10T117/1072
摘要： An apparatus and a method of pulling a crystal are provided not to allow the movement of latches from a stop position to a work position to affect the crystal by simplifying the release of the latches. An apparatus of pulling a crystal includes latches(7), a base unit(1), and stoppers. The latches are installed on the base unit, and rotates around a rotation axis(8). The base unit has the stoppers which determine the stop position and work position of the latches. The stoppers control the center of the latch to be placed at the opposite side of the rotation axis in the stop position of the latch, and at the rotation axis side in the work position.
摘要翻译：提供了一种拉晶体的装置和方法，其不允许通过简化闩锁释放来使闩锁从停止位置移动到工作位置以影响晶体。拉晶体的装置包括闩锁（7），基座单元（1）和塞子。闩锁安装在基座单元上，并绕旋转轴线（8）旋转。基座单元具有确定闩锁的停止位置和工作位置的止动器。止动器控制闩锁的中心，以在闩锁的停止位置和工作位置的旋转轴线侧位于旋转轴线的相对侧。

7. 发明公开

KR1020060120290A 단결정 성장 설비용 인대 회전두부 有权
标题翻译： CORD旋转头用于水晶绘图系统
公开(公告)号：KR1020060120290A
公开(公告)日：2006-11-24
申请号：KR1020067021083
申请日：2005-03-11
申请人： 크리스탈 그로우잉 시스템즈 게엠베하
发明人： 뮈헤,안드레아스
IPC分类号： C30B15/30
CPC分类号： C30B15/30 , Y10S117/90 , Y10T117/10 , Y10T117/1008 , Y10T117/1032 , Y10T117/1064 , Y10T117/1068 , Y10T117/1072 , Y10T117/1088
摘要： The invention relates to the production of a cable rotating head (8), which is devoid of an abrasion ring, for a Czochralski-crystal drawing system which is used to drive a drawing cord (7) in an azimuthal and vertical manner and the nucleus of a crystal (6) is fixed therein. According to the invention, the cord rotating head (8) comprises a cord winding mechanism (15) which can be supported by a vertical hollow shaft (14), through which the drawing cord (7) is suspended in the crystal drawing system, and the cord rotating head (8) is rotationally mounted about the axis thereof and can be offset by a rotation motor (11), which is secured to the crystal drawing system, together with the cord winding mechanism (15) and the drawing cord (7) in a rotational movement, and said vertical hollow shaft (14) is surrounded in a coaxial manner by a double toothed gear (16) which is rotationally mounted opposite to the hollow shaft (14) and can be driven by a drawing motor (10) which is secured to the crystal drawing system. The double toothed gear (16) can be driven by a gear of the cord winding mechanism (15), such that the mechanical drive energy of the drawing motor (10), which is secured in a stationary manner to the crystal drawing system, can be transferred to the cord winding mechanism which rotates in relation to the crystal drawing system (15).
摘要翻译：本发明涉及一种用于以方位角和垂直方式驱动牵引绳（7）的细克拉斯基晶体拉伸系统（Czochralski-crystal drawing system）生产不具有磨蚀环的电缆旋转头（8）的晶体（6）固定在其中。根据本发明，绳索旋转头（8）包括可由垂直空心轴（14）支撑的绳索缠绕机构（15），牵引绳（7）通过垂直空心轴悬挂在水晶绘图系统中，以及绳旋转头（8）围绕其轴线旋转安装，并且可以通过旋转马达（11）与绳索缠绕机构（15）和牵引绳（7）一起固定在水晶拉伸系统上），并且所述垂直空心轴（14）由与所述中空轴（14）相对旋转安装的双齿轮（16）以同轴方式包围，并且可由牵引电动机（10）驱动）固定在水晶绘图系统上。双齿轮（16）可以由绳索卷绕机构（15）的齿轮驱动，使得以静止方式固定到水晶拉伸系统的拉丝马达（10）的机械驱动能量可以转移到相对于水晶拉制系统（15）旋转的帘线卷绕机构。

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