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1. 发明授权

KR100978700B1 평면 기판을 이송하기 위한 복수의 이송 롤러를 갖춘 진공코팅 장치 失效
标题翻译：用于运输平板基板的运输滚筒的真空涂装安装
公开(公告)号：KR100978700B1
公开(公告)日：2010-08-30
申请号：KR1020070059800
申请日：2007-06-19
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 헨리히,위르겐 , 자우어,안드레아스 , 부르스터,하랄트 , 하베르코엔,에드거
IPC分类号： C23C14/34 , C23C14/56 , C23C14/00
CPC分类号： C23C14/3407 , C23C14/56 , C23C14/564
摘要： 본 발명은 진공 챔버를 통해 이송되는 평면 기판을 위한 이송 시스템을 갖춘 진공 코팅 장치에 관한 것이다. 이러한 이송 시스템은 평행하게 배치되는 수 개의 이송 롤러를 포함한다. 이들 이송 롤러용 구동 수단으로서, 하나 또는 수 개의 모터가 제공될 수 있는데, 이러한 모터는 진공 챔버의 내부 또는 외부에 위치된다. 모든 경우에 있어서 이송 롤러와 모터 사이의 커플링은 자석 커플링에 의해 실시된다. 이로써 구동 수단과 이송 롤러 사이에 기계적 커플링이 필요하지 않기 때문에, 이들은 서로로부터 용이하게 분리될 수 있으며, 이것은 이송 롤러를 제공하는 것을 허용하며, 이들 이송 롤러와 함께, 진공 챔버의 내외로 구동될 수 있는 스퍼터 캐소드가 슬라이드 삽입형 요소 내에 제공될 수 있다. 모든 이송 롤러에 자신의 구동 수단이 제공되지 않는다면, 구동 수단과 연결되는 이송 롤러들은 다른 이송 롤러와 V-벨트 등을 통해 연결될 수 있다.

2. 发明授权

KR100813572B1 복수개의 연속적으로 배치된 코팅 체임버를 포함하는 코팅 기기 失效
标题翻译：涂装安装包括几个顺序处理的涂层
公开(公告)号：KR100813572B1
公开(公告)日：2008-03-17
申请号：KR1020040064334
申请日：2004-08-16
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 로쯔한스-게오르그 , 자우어페터 , 하인슈테판 , 스쿠크페터
IPC分类号： G01N21/84 , G01N21/00
CPC分类号： C23C14/562 , C23C14/54 , G01N21/55
摘要： 본 발명은 코팅 기판의 광 특성을 측정하는, 복수 개의 연속적으로 배치된 코팅 체임버를 포함하는 측정 장치에 관한 것이다. 이들 코팅 체임버는 격벽에 의하여 서로 분리되어 있으며, 격벽의 자유 말단은 기판 상부에 근접하여 배치되어 있다. 기판은 연속적인 필름인 것이 바람직하다. 개별 코팅 체임버 사이의 기판의 반사율, 투과율 등을 측정함으로써, 단지 부분적으로 완성된 레이어 시스템 내에서의 측정이 가능하게 된다. 이로써 코팅 공정의 기술적인 동작 제어에 있어서의 장점을 얻을 수 있다.
코팅 기판, 광 특성, 코팅 체임버, 측정 장치, 격벽

3. 发明授权

KR100801311B1 스퍼터링 공정용 튜브 음극 失效
标题翻译：用于溅射工艺的管阴极
公开(公告)号：KR100801311B1
公开(公告)日：2008-02-05
申请号：KR1020060073139
申请日：2006-08-02
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 슈마하,만쁘리뜨 , 요스,게르하뜨
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 본 발명은 타겟 캐리어와 타겟을 갖는 튜브 음극에 관한 것이다. 타겟은 단일 부품 타겟 또는 다중 부품 타겟일 수 있다. 타겟 캐리어와 타겟 사이에는 타겟 캐리어의 길이방향 축을 따라 열 전도성 재료로 된 복수의 환형 요소가 배치된다. 환형 요소는 좁은 링에 의해 서로 분리되어 있다. 타겟은 하나 이상의 단부면에 홈을 가지며, 이 홈에 의해 타겟은 분리된 환형 요소 위에서 쉽게 미끄러질 수 있다.
타겟, 타겟 캐리어, 튜브 음극, 캐리어 튜브, 링

4. 发明公开

KR1020070115806A 물질을 증발하기 위해 증발기 튜브를 구비한 장치 无效
标题翻译：用VAPORIZER管蒸发材料的装置
公开(公告)号：KR1020070115806A
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：KR1020070054499
申请日：2007-06-04
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 하텐도르프,구이도
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243
摘要： A device for vaporizing materials, which includes a vaporizer tube or the like, is provided, wherein which the vaporizer tube includes at least one discharge port for the vaporized material, and the vaporizer tube is connected with a vapor distributor and comprises at least two separately heatable vaporizer units. As a device for vaporizing materials, comprising a vaporizer tube(3), the device is characterized in that the vaporizer tube includes at least one discharge port(85) for the vaporized material, and at least two vaporizer units(51-60) that are movable along a common axis relative to one another and disposed in parallel. The vaporizer units respectively include individual heaters(61-70). The device further comprises guide elements(30,80) for the vaporizer units, wherein at least one guide element(80) is movable. The guide elements are pistons which are at least partially surrounded by the vaporizer units in the form of tongs. The vaporizer units are disposed on a cylinder(26) which comes in contact with an inner portion of a wall(25) of the vaporizer tube. The device further comprises an insulation material(28) disposed between the cylinder and the vaporizer units disposed on the cylinder. The device further comprises insulation materials(50,71-79) disposed between the vaporizer units.
摘要翻译：提供了一种用于蒸发材料的装置，其包括蒸发器管等，其中蒸发器管包括用于蒸发的材料的至少一个排出端口，并且蒸发器管与蒸气分配器连接，并且包括至少两个分开的可加热蒸发器单元。作为用于蒸发材料的装置，包括蒸发器管（3），该装置的特征在于，蒸发器管包括用于汽化材料的至少一个排出口（85）和至少两个蒸发器单元（51-60），其中可以相对于彼此沿公共轴线移动并且平行设置。蒸发器单元分别包括单独的加热器（61-70）。该装置还包括用于蒸发器单元的引导元件（30,80），其中至少一个引导元件（80）是可移动的。引导元件是至少部分地被钳子形式的蒸发器单元包围的活塞。蒸发器单元设置在与蒸发管的壁（25）的内部接触的圆筒（26）上。该装置还包括设置在气缸和设置在气缸上的蒸发器单元之间的绝缘材料（28）。该装置还包括设置在蒸发器单元之间的绝缘材料（50,71-79）。

5. 发明授权

KR100767749B1 광학 층 또는 광학 층 시스템의 물성을 결정하는 방법 失效
标题翻译：一种用于确定光学层或层系统的物理性质的方法
公开(公告)号：KR100767749B1
公开(公告)日：2007-10-18
申请号：KR1020050046153
申请日：2005-05-31
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 로츠,한스-게오르크닥터 , 슈로이더,위르겐
IPC分类号： G02B6/00
CPC分类号： G01B11/0625 , G01N21/41 , G01N21/8422
摘要： 본 발명은 분광 투과 및/또는 반사 측정에 의해 광학 층 또는 광학 층 시스템의 물성을 결정하는 방법에 관한 것으로, 그에 의하면 광학 층 또는 광학 층 시스템과 관련하여, 투과 및/또는 반사 측정의 스펙트럼에 따라 파장에 종속하는 굴절률에 대한 참조치 n
0 및/또는 흡광 계수에 대한 참조치 k
0 를 기지의 값으로부터 선택하거나 실험적으로 결정하고, 층을 특징 짓는 변동을 파장과는 독립된 굴절률 및 흡광 계수에 대한 변분 상수 K
n 및 K
k 에 의해 각각 결정한다.
광학 층, 물성, 굴절률, 흡광 계수, 층 두께, 변분 상수, 참조치, 이론치, 측정치, 비선형 최적화

6. 发明授权

KR100730606B1 수평 방향으로 이동하는 편물 상에서 코팅 재료의 층 두께조정 방법 및 장치 失效
标题翻译：方法和布置调整涂料在其纵向方向上移动的材料的层厚度
公开(公告)号：KR100730606B1
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：KR1020040045054
申请日：2004-06-17
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 로츠한스-게오르기 , 사우에르페테르 , 스타이니게르게랄드 , 호프만게르드 , 루드비히라이네르
IPC分类号： G01B11/06 , D06H3/00
CPC分类号： C23C14/562 , C23C14/547 , G01B11/0625 , G01B11/0683
摘要： 본 발명은 수평 방향으로 이동하는 편물 상에서 코팅 재료의 층 두께 조정 방법 및 장치에 관한 것이다. 상기 층의 두께는 상기 편물의 폭에 걸쳐 여러 위치에서 측정되며 상기 층의 두께가 상기 편물의 폭에 걸쳐 일정하게 되도록 코팅 설비를 조정한다. 상기 두께 조정은 코팅 재료를 증발시키는 전자빔의 세기 변동에 의해 얻어질 수 있다. 그렇지만 상기 편물의 폭에 걸쳐 배치된 여러 증발 도가니를 개별적으로 가열하여 상기 편물의 폭에 걸쳐 코팅이 일정하게 되도록 하는 것도 가능하다. 투과성 측정 기구를 부가적으로 이용하면, 상기 편물의 폭에 걸쳐 코팅이 일정하게 되도록 상기 코팅 재료의 조성을 조정할 수 있다.
편물, 코팅 재료, 층 두께, 코팅 설비

7. 发明公开

KR1020070045119A 증발 물질을 보관하기 위한 저장소를 갖는 증발 장치 无效
标题翻译：具有用于接收材料的蒸发器的蒸发装置
公开(公告)号：KR1020070045119A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：KR1020060104168
申请日：2006-10-25
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 웽크,칼-하인리히
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H01G13/00 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/562
摘要： An evaporator device (1) comprises a receptacle (2) with a plate having an opening for the output of material to be evaporated. The receptacle holds the material to be evaporated. The material to be evaporated is provided above the receptacle. The receptacle has on its top side open bore (6) oriented perpendicularly to this top side. A cylindrical body is provided between the plates and receptacle. The cylindrical body has a through bore. The body is rotatable about an axis. Several bores are provided on the top side of the receptacle. The body is a rod valve (10). The rod valve has as many throughbores as the receptacle. The rotatable cylindrical body is located in a valve plate (4). Heating rods are provided in the valve plate. The valve plate rests on the top side of the receptacle and on its underside is provided with a seal (18-25). The seal extends about the opening of the receptacle. The rotatable cylindrical body is rotatable with a motor. The motor is coupled with a first wheel coupled via a chain with a second wheel. The opening is formed by a first plate and a second plate. The two plates are displaceable relative to one another. The heating tube is made of a core and a casing. The heating rods maintain the valve plate at a temperature above the boiling point of the oil.

8. 发明公开

KR1020070017025A 기판 코팅용 기화 장치 失效
标题翻译：基材涂层蒸发器布置
公开(公告)号：KR1020070017025A
公开(公告)日：2007-02-08
申请号：KR1020060073263
申请日：2006-08-03
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 클렘,군터 , 밴더,말쿠스 , 잉글러트,울리시 , 크로펠,안드레아스 , 호프만,위에 , 로츠,한스-게어로그 , 헤인,스테판 , 켈러,스테판
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/203
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/14 , C23C14/26
摘要： 본 발명은 각각 다른 온도로 가열된 적어도 두 개의 구역으로 나누어져 있는 도가니가 있는 기화 장치에 관한 것이다. 제1구역은 용융 구역이고 제2구역은 기화 구역이다. 상기 기화 장치는 바람직하게 금속을 기화시키는 용도로 쓰인다. 만약 금속이 기화되면, 금속 와이어는 바람직하게 용융 구역으로 유도된다. 하지만 금속 합금 또한 기화되어서 다른 물질을 포함하는 하나 혹은 여러 개의 금속 와이어는 용융 구역으로 유도된다. 상기 용융 구역과 상기 기화 구역 사이에는 가열 구역이 있다.
기화 장치, 용융 구역, 기화 구역, 가열 구역

9. 发明授权

KR100676420B1 기판 상에 평탄한 ＩＴＯ 층을 제조하는 방법, ＩＴＯ 코팅 기판 및 유기발광다이오드 失效
标题翻译：在基板上生产平滑氧化锡层的方法，氧化铟锡和有机发光二极管的基板涂层
公开(公告)号：KR100676420B1
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：KR1020040041839
申请日：2004-06-08
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 마르쿠스.닥터벤데르
IPC分类号： H05B33/10
CPC分类号： C23C14/086 , Y10T428/31504
摘要： 본 발명은 유기발광다이오드의 제조를 위해, 기판 상에 ITO(Indium Tin Oxide: 인듐 주석 산화물)층을 제조하는 방법에 있어서, 상기 ITO 층 두께의 일부를 결정화 핵의 형성을 방지하도록 제어되는 온도 프로파일에서 스퍼터 증착으로 먼저 형성하고, 다음으로 상기 일부 코팅된 기판을 ITO 층의 재결정온도 이상의 온도로 가열하고, 그 후에 상기 ITO 층의 나머지를 스퍼터 증착하는 것이다.
평탄, ITO , 부분증착

10. 发明授权

KR100664602B1 진공 체임버 내에서 편평한 기판을 이송시키는 장치 失效
标题翻译：用于在真空室中运输平板底板的装置
公开(公告)号：KR100664602B1
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：KR1020047021551
申请日：2004-03-08
申请人： 어플라이드 매터리얼스 게엠베하 운트 컴퍼니 카게
发明人： 방거트슈테판 , 푸크스프랑크 , 쉬즐러우베 , 린덴버그랄프 , 스톨리토비아스
IPC分类号： B65G49/06
CPC分类号： B65G49/065 , B65G49/063 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , Y10S414/139
摘要： 본 발명은 편평한 기판을 코팅 설비를 통해 이송시키는 장치에 관한 것이다. 상기 코팅 설비는 편평한 기판, 예를 들면, 창유리가 진공 상태에서 차례대로 이송되는 여러 개의 상이한 스퍼터 캐소드를 포함한다. 이로써 창유리와 접촉부 사이에 마모가 발생하지 않고, 창유리는 가스압에 의하여 접촉부로부터 이격된 상태로 유지된다. 본 발명에서의 가스압은 가스 채널 내의 상대적으로 작은 소수의 구멍을 통해 형성된다. 코팅 설비가 대기압으로 플러딩되거나 또는 배기되는 동안, 작은 구멍으로 인하여 가스 채널과 나머지 코팅 설비 사이에 신속한 압력 동등화가 불가능하기 때문에, 가스 채널은 가스에 대하여 나머지 코팅 설비로부터 결합해제되고, 별개의 가스 라인이 제공되며, 이 가스 라인을 거쳐 가스가 가스 채널 내로 주입되거나 또는 가스 채널로부터 배출될 수 있다.
기판 코팅 설비, 이송 장치, 창유리, 스퍼터 캐소드, 가스 채널, 코팅 설비

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