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1. 发明公开

KR1020130006790A 광 집중효율이 향상된 광챔버를 이용한 노광기용 광학장치 无效
标题翻译：使用光源强化光效的曝光用光学装置
公开(公告)号：KR1020130006790A
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020110061281
申请日：2011-06-23
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균 , 장두천
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： H01L21/0274 , G03F7/16 , G03F7/2008 , H01L21/0275
摘要： PURPOSE: An optical device for an exposure system using an optical chamber to improve light concentration efficiency is provided to prevent the deformation of a product due to undesirable rays by installing a filter member which filters a specific wavelength among light passing through the condensing lens. CONSTITUTION: A light source(20) is installed in the inner side of a body. A light tunnel part(40) guides light emitted through an aperture(12) to a condensing lens(50). The condensing lens secondly condenses light guided from the light tunnel part and transmits the condensed light to the object. A filter member(60) is interposed between the condensing lens and the light tunnel part. A pulse power supply unit(70) controls light power from the light source.
摘要翻译：目的：提供一种使用光学室以提高光浓度效率的曝光系统的光学装置，以通过安装在通过聚光透镜的光中过滤特定波长的过滤构件来防止由于不期望的射线而导致的产品变形。构成：光源（20）安装在身体的内侧。光通道部分（40）将通过孔（12）发射的光引导到聚光透镜（50）。聚光透镜第二次将从光通道部分引导的光冷凝，并将冷凝的光透射到物体。过滤构件（60）介于聚光透镜和光通道部分之间。脉冲电源单元（70）控制来自光源的光功率。

2. 发明公开

KR1020130005750A 다각형상의 광챔버를 이용한 노광기용 광학장치 无效
标题翻译：使用POLYCON型光源曝光的光学装置
公开(公告)号：KR1020130005750A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：KR1020110067341
申请日：2011-07-07
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균 , 장두천
IPC分类号： G03F7/20 , G02B27/00 , H01L21/027
CPC分类号： G02B27/0012 , G03F7/2004 , G03F7/2008 , G03F7/7045 , G03F7/7055 , H01L21/0275
摘要： PURPOSE: An optical device for exposure using a polygonal shape light chamber is provided to minimize light loss by preventing light from being re-entered. CONSTITUTION: An optical device for exposure using a polygonal shape light chamber(1) comprises a main body(10), a plurality of light sources(20), and a condensing lens(30). The main body comprises a bottom body(12) and a top body(11). The cross section of the top body is formed into a polygonal shape. The bottom body is connected to the end of the top body. Apertures(12a) are formed at one side of the bottom body. The plurality of light sources is installed on each side among the inner surfaces of the top body.
摘要翻译：目的：提供一种使用多边形形状的灯室进行曝光的光学装置，以通过防止光再次进入而使光损失最小化。构成：使用多边形形状的灯室（1）进行曝光的光学装置包括主体（10），多个光源（20）和聚光透镜（30）。主体包括底体（12）和顶体（11）。顶部的横截面形成为多边形。底体连接到顶体的末端。孔12a（12a）形成在底体的一侧。多个光源安装在顶体的内表面中的每一侧上。

3. 发明授权

KR101989847B1 플라즈마를 이용한 라인 형태의 전자빔 방출 장치 有权
公开(公告)号：KR101989847B1
公开(公告)日：2019-06-17
申请号：KR1020170177452
申请日：2017-12-21
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균
IPC分类号： H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/14 , H01J37/20 , H01J37/32

4. 发明公开

KR1020100130389A 휴대단말기 광학장치용 라이트 터널 无效
标题翻译：轻型隧道用于移动终端的光学设备
公开(公告)号：KR1020100130389A
公开(公告)日：2010-12-13
申请号：KR1020090049055
申请日：2009-06-03
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균
IPC分类号： H04N5/74 , H04N9/31
CPC分类号： H04N9/3173 , G02B6/0065 , G03B21/14
摘要： PURPOSE: A light tunnel for an optical device of a mobile terminal is provided to apply a coating material on an inner plane and the coupling portion of covers by forming a tunnel unit through the connection of first and second covers. CONSTITUTION: A tuner unit(10) includes a hole, and the hole is formed through the connection of first and second covers(11,12) of plastic material. A coating material(20) is applied onto an inner plane of the first and second covers and the coupling portion of the first and second covers. When the light passing through the hole is received to the coupling portion of the first and second covers, the light is refracted at least one time.
摘要翻译：目的：提供一种用于移动终端的光学装置的光通道，通过形成通过第一和第二盖的连接的隧道单元，将涂层材料涂覆在内平面和盖的连接部分上。构成：调谐器单元（10）包括孔，并且通过塑料材料的第一和第二盖（11,12）的连接形成孔。涂覆材料（20）被施加到第一和第二盖的内平面以及第一和第二盖的联接部分上。当通过孔的光被接收到第一和第二盖的耦合部分时，光至少折射一次。

5. 发明授权

KR102118604B1 라인 형태의 이온빔 방출 장치 有权
公开(公告)号：KR102118604B1
公开(公告)日：2020-06-03
申请号：KR1020180161915
申请日：2018-12-14
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균
IPC分类号： H01J27/26 , H01J37/08

6. 发明公开

KR1020130007330A 사다리꼴 형상의 광챔버를 이용한 노광기용 광학장치 无效
标题翻译：用光栅型光源曝光的光学装置
公开(公告)号：KR1020130007330A
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020110065235
申请日：2011-07-01
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균 , 장두천
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/2002 , G03F7/2008 , H01L21/0274 , H01L21/0275
摘要： PURPOSE: An optical device for exposure using light chambers in trapezoidal shape is provided to enhance probability of incidence of direct light, thereby minimizing light loss. CONSTITUTION: An optical device for exposure using light chambers (1) comprises a main body(10), a plurality of light sources(20), a reflective tools(30), and a first optic part(35). The main body comprises a bottom body(12) and a top body(11). The cross section of the top body is in a trapezoidal shape. The bottom body connects the end of the top body. The aperture is formed on one side of the bottom body. The apertures are respectively installed on each side of the plurality of inner surfaces of the top body.
摘要翻译：目的：提供用于以梯形形状的光室进行曝光的光学装置，以增加直射光的入射概率，从而最大限度地减少光损失。构成：用于使用光室（1）进行曝光的光学装置包括主体（10），多个光源（20），反射工具（30）和第一光学部件（35）。主体包括底体（12）和顶体（11）。顶部的横截面呈梯形。底部主体连接顶部的末端。孔形成在底体的一侧。孔分别安装在顶体的多个内表面的每一侧上。

7. 发明公开

KR1020120106289A ＵＶ광원을 이용한 노광기용 광학장치 无效
标题翻译：使用紫外光源曝光的光学设备
公开(公告)号：KR1020120106289A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：KR1020110024315
申请日：2011-03-18
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/08
CPC分类号： G03F7/2004 , G02F1/133605 , G03F7/70008 , G03F7/7015 , G03F7/70175 , G03F7/70225 , G03F7/70233 , G03F7/70275
摘要： PURPOSE: An optical apparatus for an exposure using ultraviolet ray-based(UV) light source is provided to shorten times required for operational processes by improving the output of light. CONSTITUTION: An optical apparatus for an exposure using UV light source includes a main body, at least one UV light source(20), and a reflecting member. A cavity(11) is formed in the main body, and an outlet(12) is formed at one side of the main body. The width of outlet is smaller than the width of the cavity. The light source is installed at one inner side of the main body. The reflecting member is coated on the inner side of the main body. The reflecting member reflects the light from the UV light source and amplifies the reflected light in the cavity.
摘要翻译：目的：提供一种使用紫外线（UV）光源进行曝光的光学装置，通过提高光的输出来缩短操作过程所需的时间。一种用于使用UV光源的曝光的光学装置包括主体，至少一个UV光源（20）和反射部件。在主体中形成空腔（11），并且在主体的一侧形成出口（12）。出口的宽度小于空腔的宽度。光源安装在主体的一个内侧。反射构件涂覆在主体的内侧。反射构件反射来自UV光源的光并放大空腔中的反射光。

8. 实用新型

KR200416292Y1 보르텍스튜브가 설치된 제습기 失效
标题翻译：带VORTEX管的除湿器
公开(公告)号：KR200416292Y1
公开(公告)日：2006-05-12
申请号：KR2020060004697
申请日：2006-02-21
申请人： 이종화 , 박흥균 , 박종관
发明人： 이종화 , 박흥균 , 박종관
IPC分类号： F24F3/14 , F25B9/02 , F25B9/04
摘要： 본 고안은 보르텍스튜브가 설치된 제습기에 관한 것이다.
본 고안의 제습기는, 상면이 개방된 원통 형태로 형성되어 있는 하부케이스와; 하부케이스 안쪽에 설치되어 있고, 이중구조로 형성되어 있으며, 내부에 공기통로가 형성되어 있는 이중관부재와; 하부케이스 상부에 설치되어 있고, 내부에 보르텍스튜브가 설치되어 있으며, 보르텍스튜브에서 나뉘어진 냉기와 온기를 공기통로로 이동시키는 냉기통로와 온기통로가 형성되어 있되, 온기통로 일측에 저면 중앙 쪽으로 통하는 연결통로가 연결되어 있어 공기통로에 채워진 냉기와 온기통로로 유입된 온기가 혼합되어 연결통로로 이동하도록 되어 있는 공기순환장치와; 공기순환장치 하부에 설치되어 있고, 연결통로로부터 혼합공기가 내부로 유입된 후 내부관체 외측 벽면으로 분산되어 수분이 응결되도록 되어 있는 수분응결장치와; 공기순환장치 상부를 덮는 상부케이스;로 구성된다.
본 고안에 의해, 압축공기 중에 포함되어 있는 수분을 50 % 이상 제거할 수 있고, 전원이 필요없으며, 간단한 구조의 제습기가 제공된다.
압축공기, 제습, 보르텍스, 냉각, 응결

9. 发明授权

KR102159294B1 라인빔을 이용한 이차전지용 분리막 가공 방법 有权
公开(公告)号：KR102159294B1
公开(公告)日：2020-09-23
申请号：KR1020190069401
申请日：2019-06-12
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균
IPC分类号： H01M2/14 , H01M2/16 , C08J7/12 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C24/04

10. 发明授权

KR102125063B1 빔 조절 기능을 갖는 반도체 공정 시스템용 그리드 장치 및, 이를 이용한 반도체 박막 공정 방법 有权
公开(公告)号：KR102125063B1
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：KR1020190021096
申请日：2019-02-22
申请人： 박흥균
发明人： 박흥균
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02

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