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1. 发明公开

KR1020150063803A 원자층 증착 공정 방법 및 원자층 층착 장치 无效
标题翻译：原子层沉积过程的方法和处理原子层析沉积过程的装置
公开(公告)号：KR1020150063803A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：KR1020130148622
申请日：2013-12-02
申请人： 신화일렉트론 주식회사
发明人： 이정현 , 신원호
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458
CPC分类号： C23C16/45546 , C23C16/45527 , C23C16/4586 , C23C16/54
摘要： 복수의기판들에대하여개별적으로원자층증착공정을수행하는복수의처리공간들을제공하는처리용기들에서원자층증착공정의방법에서, a) 처리공간들중 제1 처리공간내부에제1 수평방향으로금속전구체를공급하여, 내부에배치된기판상에금속반응물을화학흡착시키고, b) 제1 처리공간내부에퍼지가스를공급하여, 제1 처리공간내부의잔류물을제거한다. 이후, c) 제1 처리공간내부에산화제를제2 수평방향으로공급하여금속반응물과산화제를반응시켜, 기판상에금속산화물을형성한다. 처리공간들내에서단계 a) 내지단계 c)를시차분할(time-divided) 방식으로수행된다.
摘要翻译：本发明涉及一种原子层沉积工艺的方法和一种用于原子层沉积工艺的设备。在处理容器中的原子层沉积工艺的方法以提供多个处理空间以在多个基板上单独进行自动层沉积工艺包括以下步骤：（a）将金属反应物化学吸附在布置的基板的顶部上通过在第一水平方向上的处理空间中的第一处理空间上提供金属前体; （b）通过向第一处理空间提供净化气体来除去第一处理空间内的残留物; 和（c）通过在第一水平方向上在第一处理空间上提供氧化剂使基板上形成金属氧化物，使金属反应物与氧化剂反应，其中步骤（a）至步骤（c）为使用时分方法在处理空间中进行。

2. 发明公开

KR1020140040918A 유황 고형화 성형물 제조 시스템 有权
标题翻译： SULFUR固化成型制造系统及其方法
公开(公告)号：KR1020140040918A
公开(公告)日：2014-04-04
申请号：KR1020120107544
申请日：2012-09-27
申请人： 고등기술연구원연구조합 , 신화일렉트론 주식회사
发明人： 최창식 , 홍범의 , 윤정호 , 전신성 , 김병권
IPC分类号： C01B17/02 , C01B17/40
CPC分类号： Y02P20/123 , C01B17/0243 , B01F7/00391 , B01F2215/0036
摘要： The present invention relates to a sulfur solidification molded product manufacturing system and method which forms an intended molded product by receiving the mixture of coal floor materials and sulfur. The sulfur solidification molded product manufacturing system comprises a continuous mixing unit mixing raw materials containing coal floor materials and sulfur, and a sulfur gas collecting unit collecting sulfur gas generated in the continuous mixing unit and delivering the sulfur gas to the continuous mixing unit. The continuous mixing unit includes a heat source part for heating sulfur within the mixture at a temperature greater than the melting point. Accordingly, the present invention is able to consecutively manufacture fluidic mixtures by using the mixtures of solid powders as raw materials while manufacturing molten mixtures by melting specific raw materials among the mixtures. [Reference numerals] (100) Mixing part; (200) Supply part; (300) Heat source part; (400) Sulfur gas collecting unit; (500) Coal floor material drying unit; (600) Coal floor material pulverizing unit; (700) Forming part; (800) Heat collecting unit; (900) Pulverizing unit for recycling; (AA) Application as heat source; (BB,CC) Heat; (DD) Product; (EE) Defective product
摘要翻译：本发明涉及通过接收煤层材料和硫的混合物形成预期模制产品的硫化固化模制产品制造系统和方法。硫固化成型体制造系统包括混合含有煤层材料和硫的原料的连续混合单元和在连续混合单元中产生的硫气的硫气收集单元，并将硫气输送到连续混合单元。连续混合单元包括用于在大于熔点的温度下加热混合物中的硫的热源部分。因此，本发明能够通过使用固体粉末的混合物作为原料连续地制造流体混合物，同时通过在混合物中熔化特定原料来制造熔融混合物。（附图标记）（100）混合部; （200）供应部件; （300）热源部分; （400）硫气收集装置; （500）煤层地板干燥机组; （600）煤层粉碎机组; （700）成型部分; （800）集热单元; （900）回收粉碎机组; （AA）作为热源的应用; （BB，CC）热量; （DD）产品; （EE）产品不良

3. 发明授权

KR101134526B1 기판 건조장치 및 기판 건조방법 有权
标题翻译：装置和方法干燥物质
公开(公告)号：KR101134526B1
公开(公告)日：2012-04-13
申请号：KR1020100140314
申请日：2010-12-31
申请人： 신화일렉트론 주식회사
发明人： 신원호
IPC分类号： G02F1/13 , H01L21/304 , F26B3/30
CPC分类号： G02F1/1303 , H01L21/67034 , H01L21/67309 , H01L21/67718
摘要： PURPOSE: A substrate drying device and a method thereof are provided to prevent particles from being attached to a surface of a substrate. CONSTITUTION: A hot pure water tank(10) includes hot pure water. A cassette elevating unit(30) elevates a cassette(20). An overflow unit consecutively supplies the hot pure water into the hot pure water tank. A control unit controls the lifting speed of the cassette in the range of 1 to 600 mm/min. A secondary vacuum absorption drying unit(50) dries moisture and a gas on the cassette and the substrate.
摘要翻译：目的：提供基板干燥装置及其方法，以防止颗粒附着于基板的表面。构成：热水纯净水（10）包含热水。盒式升降单元（30）升高盒（20）。溢流单元将热纯净水连续供应到热水纯水箱中。控制单元将盒子的提升速度控制在1到600mm / min的范围内。第二真空吸收干燥单元（50）干燥盒和基板上的水分和气体。

4. 发明授权

KR101619442B1 혼소용 바이오매스 연료의 이물질 선별장치 有权
标题翻译：热电厂生物质燃料燃烧的外部物质分离装置
公开(公告)号：KR101619442B1
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：KR1020140164371
申请日：2014-11-24
申请人： 신화일렉트론 주식회사 , 한국전력기술 주식회사
发明人： 김대복 , 김종길 , 박병원 , 이준석 , 전신성 , 김병권 , 장영태 , 엄민섭
IPC分类号： B07B13/11 , B04B3/00
CPC分类号： B07B13/11 , B04B3/00 , B07B13/113
摘要： 본발명에따른혼소용바이오매스연료의이물질선별장치는, 내부에원통형상의투입공간이형성되며, 측방에투입구와상방에배출구가각각형성되는하우징과, 바이오매스연료를상기투입구를통해상기투입공간의내주면을따라방향성을갖도록분사하여, 상기바이오매스연료에혼재된이물질이상기투입공간의내주를따라회전되면서상기하우징의하부로이동되도록하는투입관과, 하단이상기배출구를통해수직하게삽입되어상기투입공간내에위치되며, 하부의연료용기로낙하된상기바이오매스연료를흡입하여상기배출구를통해외부로배출시키는배출관및 상기배출관의외주를따라서로이격되도록방사상으로배열됨과동시에상기바이오매스연료의회전방향을따라절곡형성되며, 상기이물질이상기연료용기로낙하되는것을방지함과아울러상기바이오매스연료가상기연료용기로낙하되도록하는디플렉터를포함한다.
摘要翻译：用于分离用于共燃的生物质燃料的异物的装置包括：其中具有圆柱形引入空间的壳体，其侧面处的引入孔和其上侧的排出孔; 引导管，用于通过沿引导空间的内周面以方向性注入生物质燃料，通过沿着导入孔注入生物质燃料，同时异物沿着引入空间的内周旋转，移动混入生物质燃料中的异物; 排出管，其低端垂直插入通过排放孔，以位于引入空间中，用于吸入下降到下侧的燃料容器的生物质燃料，并将吸入的生物质燃料通过排放孔; 以及偏转器，沿着排出管的外周彼此间隔开设置并沿着生物质燃料的旋转方向弯曲，以防止异物掉入燃料容器并允许生物质燃料落到燃料容器根据本发明，通过使生物质燃料中所含的异物旋转并通过使用偏转器分离生物质燃料和异物来排出异物，可以容易地分离除去生物质中所含的各种形式的异物。

5. 发明公开

KR1020150063789A 원자층 증착 방법을 이용하는 알루미늄 산화막의 형성 방법 无效
标题翻译：使用原子层析沉积法形成氧化铝层的方法
公开(公告)号：KR1020150063789A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：KR1020130148600
申请日：2013-12-02
申请人： 신화일렉트론 주식회사
发明人： 이정현 , 신원호
IPC分类号： C23C16/20 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/45527 , C07F5/063 , C23C16/403 , C23C16/45553
摘要： 원자층적층공정을이용하는알루미늄산화막의형성방법에있어서, a) 기판상에, 리간드를포함하는알루미늄전구체를공급하여상기기판상에상기알루미늄전구체를화학적으로흡착시킨다. b) 상기기판상에제1 산화제또는질화제를공급하여, 상기리간드가하이드록시기또는아민기로치환된중간생성물을생성한다. 이후, c) 상기기판상에제2 산화제를공급하여상기중간생성물및 상기제2 산화제를반응시켜, 상기기판상에알루미늄산화막을형성한다.
摘要翻译：本发明提供了使用原子层沉积工艺形成氧化铝膜以减少基板上的热冲击的方法。使用原子层沉积方法形成氧化铝膜的方法包括以下步骤：（a）通过将包含配体的铝前体提供到基底上来在基底的顶部上化学吸附铝前体; （b）通过向所述基材提供第一氧化剂或硝化剂来生成具有取代了配体的羟基或胺基的中间体; 和（c）通过向所述基板提供第二氧化剂，并使所述中间体与所述第二氧化剂反应，在所述基板的顶部上产生氧化铝膜。

6. 发明公开

KR1020140065852A 글라스 지지용 근접핀 审中-实审
标题翻译：临时密码
公开(公告)号：KR1020140065852A
公开(公告)日：2014-05-30
申请号：KR1020120132833
申请日：2012-11-22
申请人： 신화일렉트론 주식회사
发明人： 신원호
IPC分类号： C03B35/12 , C03B35/14
摘要： The present invention relates to a proximity pin for supporting a glass which can prevent an abrasion due to friction and simply manage the abrasion of the proximity pin at the same time by improving a structure of the proximity pin formed with a predetermined space between the glass and the hot plate, installed on a hot plate heating and drying all kinds of glass including LCD glass. The proximity pin supporting all kinds of glass including LCD glass according to the present invention comprises: a substrate supporting unit composed of a lower part having a large diameter and an upper part having a small diameter, wherein the lower part is fixed by being inserted to a lower inserting groove of the hot plate and the upper part having a curved surface shape in the upper side is vertically combined in the center of the lower part; an inserting groove filling unit formed in the center of a penetrating hole where the upper part penetrates and filling in the space between the upper part and the hot plate by inserting and fixing in the inserting groove of the hot plate; an exposed length adjusting unit having a ring shape, adjusting the exposed length of the upper part by inserting multiple exposed length adjusting units in between the lower part and the inserting groove filling unit.
摘要翻译：本发明涉及一种用于支撑玻璃的接近销，其可以防止由于摩擦而产生的磨损，并且通过改进在玻璃与玻璃之间形成有预定空间的接近销的结构，同时简单地管理邻近销的磨损热板，安装在热板上加热和干燥各种玻璃，包括液晶玻璃。根据本发明的支撑包括LCD玻璃的各种玻璃的接近销包括：由大直径的下部构成的基板支撑单元和具有小直径的上部，其中下部通过插入到加热板的下插入槽和上侧具有弯曲表面形状的上部在下部的中心垂直组合; 插入槽填充单元，其形成在贯通孔的中心，其中上部通过插入并固定在热板的插入槽中而穿透并填充在上部和热板之间的空间中; 暴露长度调节单元，其具有环形，通过在下部和插入槽填充单元之间插入多个暴露长度调节单元来调节上部的暴露长度。

7. 发明授权

KR101007990B1 음식물 쓰레기로부터 탄화 고형물 및 가용화액을 생성하는 방법 및 그 생성 장치 有权
标题翻译：用于生产来自食品废物的碳酸化固体和可溶性液体的方法和用于生产其的装置
公开(公告)号：KR101007990B1
公开(公告)日：2011-01-14
申请号：KR1020100032635
申请日：2010-04-09
申请人： 신화일렉트론 주식회사 , 고등기술연구원연구조합 , 김정훈
发明人： 최창식 , 김호 , 김정훈
IPC分类号： B09B3/00 , F26B9/08 , F26B3/02 , F26B21/02 , C10L5/46 , C02F11/04
CPC分类号： Y02E50/10 , Y02E50/30 , B09B3/0091 , C02F11/04 , C10L5/46 , F26B3/02 , F26B9/08 , F26B21/022 , F26B2200/02 , F26B2200/04 , Y02W30/52
摘要： PURPOSE: A producing method of a carbonized solid material and a solubilizing liquid using food waste, and a formation apparatus thereof are provided to obtain the solubilizing liquid suitable for the anaerobic digestion, and the carbonized solid material with the high calorie per mass. CONSTITUTION: A formation apparatus for producing method of a carbonized solid material and a solubilizing liquid using food waste comprises the following: heat increasing pressure reactor for containing the food waste; a stirrer(140) combined with the reactor for stirring the food waste inside the reactor; a steam generator(200) for supplying saturated steam inside the reactor; first and second steam supply pipes(130,145) for supplying the saturated steam; and a temperature and pressure controller.
摘要翻译：目的：提供一种碳化固体材料的制造方法和使用食品废弃物的增溶液及其形成装置，以获得适于厌氧消化的增溶液，以及每卡路里高卡路里的碳化固体物质。构成：使用食品废弃物的碳化固体物质和增溶液的制造方法的形成装置，其特征在于，包括：用于容纳食物废物的加热用反应器; 搅拌器（140），与反应器结合，用于搅拌反应器内的食物废物; 用于在所述反应器内供应饱和蒸汽的蒸汽发生器（200）用于供应饱和蒸汽的第一和第二蒸汽供应管道（130,145）和温度和压力控制器。

8. 发明授权

KR101575434B1 금속 산화막 형성 장치 有权
标题翻译：用于形成金属氧化物层的装置
公开(公告)号：KR101575434B1
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：KR1020130161586
申请日：2013-12-23
申请人： 신화일렉트론 주식회사
发明人： 이정현 , 신원호
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458
摘要： 금속산화막형성장치는원자층증착공정을수행하기위한공간을제공하는챔버와, 기판을지지하며, 상기기판의상부면과평행한방향으로상기기판을수평이동시키는이송부와, 상기기판의상부면과마주보도록구비되며, 상기기판을향해금속소스와산화제를공급하여원자층단위의금속산화막을형성하는가스공급부및 상기가스공급부를커버하도록구비되며, 상기기판상에잔류하는금속소스와상기산화제를분리하여외부로배출하기위한가스배출부를포함할수 있다. 상기금속소스와상기산화제를분리하여배출하므로, 상기금속산화물이상기기판이아닌상기가스공급부및 상기가스배출부에형성되는것을방지할수 있다.

9. 发明公开

KR1020150073634A 금속 산화막 형성 장치 有权
标题翻译：用于形成金属氧化物层的装置
公开(公告)号：KR1020150073634A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：KR1020130161586
申请日：2013-12-23
申请人： 신화일렉트론 주식회사
发明人： 이정현 , 신원호
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458
CPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/458
摘要： 금속산화막형성장치는원자층증착공정을수행하기위한공간을제공하는챔버와, 기판을지지하며, 상기기판의상부면과평행한방향으로상기기판을수평이동시키는이송부와, 상기기판의상부면과마주보도록구비되며, 상기기판을향해금속소스와산화제를공급하여원자층단위의금속산화막을형성하는가스공급부및 상기가스공급부를커버하도록구비되며, 상기기판상에잔류하는금속소스와상기산화제를분리하여외부로배출하기위한가스배출부를포함할수 있다. 상기금속소스와상기산화제를분리하여배출하므로, 상기금속산화물이상기기판이아닌상기가스공급부및 상기가스배출부에형성되는것을방지할수 있다.
摘要翻译：形成金属氧化物膜的装置包括：提供进行原子层沉积工艺的空间的室; 支撑基板的转印单元，以及将基板水平地移动到与基板的上表面平行的方向; 气体供给单元，设置成面向基板的上表面，向基板供给金属源和氧化剂，形成原子层单元的金属氧化物膜; 以及气体排出单元，其设置成覆盖气体供给单元，分离残留在基板上的金属源和氧化剂以被排出到外部。金属源和氧化剂被分离以排出，从而防止在气体供给单元和气体排出单元中而不是在基板中形成金属氧化物。

10. 发明公开

KR1020150063819A 스퍼터링 공정용 은합금 타겟 조성물 有权
标题翻译：用于溅射过程的银合金靶的组成
公开(公告)号：KR1020150063819A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：KR1020130148650
申请日：2013-12-02
申请人： 신화일렉트론 주식회사
发明人： 이정현 , 신원호
IPC分类号： C22C5/06 , C23C14/34
CPC分类号： C23C14/14 , C22C5/06 , C23C14/34
摘要： 스퍼터링공정용은합금타겟조성물은 0.4 내지 2.0 중량 %의팔라듐(palladium; Pd), 0.05 내지 0.6 중량 %의인듐(Indium; In) 및나머지은(silver; Ag)과불가피한불순물을포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于溅射工艺的银合金靶材的组合物。更具体地，本发明是用于形成通过溅射工艺形成与诸如氧化铟锡（ITO）的透明导电膜电连接的导电结构的溅射工艺的银合金靶的组合物。用于溅射工艺的银合金靶的组成包括：0.4-2.0重量％的钯（Pd）; 0.05-0.6重量％的铟（In）; 其余由银（Ag）和不可避免的杂质组成。

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