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1. 发明公开

KR1020160146679A 자동 주사 탐침 현미경 시스템에서의 정밀 프로브 위치 审中-实审
标题翻译：自动扫描探针显微系统中的精密探针放置
公开(公告)号：KR1020160146679A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：KR1020167026636
申请日：2015-02-24
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 오스본제이슨 , 밀리건에릭 , 로페즈엔드류 , 우로버트 , 핸드션 , 포노버로브,블라디미르
IPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/06 , G01Q30/06
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q10/065 , G01Q30/06
摘要： 주사탐침현미경(SPM) 시스템및 관련방법에관한것으로, 주사탐침현미경시스템은, 상기샘플의나노스케일피쳐들과상호작용하고타겟영역을스캐닝하여상기타겟영역의 3차원영상을구현하기위하여적용된프로브를포함하고, 상기스템은샘플-특정좌표계에따라상기샘플의이격된영역에서복수의관심피쳐들각각에대한위치정보를유지하고, 여기서, 상기 SPM 시스템은, SPM 좌표계에따라샘플에대한프로브의포지셔닝을조절하기위하여구비되며, 상기 SPM 시스템은샘플-특정좌표계및 SPM 좌표계사이의일련의정렬에러를결정하여상기 SPM 좌표계에보정을가하여상기정렬에러를상쇄시키도록구비됨으로서샘플-특정좌표계및 상기 SPM 좌표계사이의동적관계를조절한다.
摘要翻译：扫描探针显微镜（SPM）系统及相关方法。所述SPM系统具有适于与样本的纳米尺度特征相互作用以及在目标区域内扫描以产生所述目标区域的三维图像的探针，所述系统根据所述样本维持所述样本感兴趣的多个特征的位置信息特定于样本的坐标系，其中所述SPM系统被配置为根据SPM坐标系来调整所述探针相对于所述样本的定位，所述SPM系统还被配置为管理所述样本特定坐标系和所述SPM之间的动态关系通过确定样本特定坐标系和SPM坐标系之间的一组对准误差来对坐标系进行校正，并对SPM坐标系进行校正以偏移所确定的对准误差。

2. 发明公开

KR1020160129073A 원자간력 현미경에서 휨 아티팩트를 보상하기 위한 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：用于补偿原子力显微镜中偏转人工制品的方法和装置
公开(公告)号：KR1020160129073A
公开(公告)日：2016-11-08
申请号：KR1020167027315
申请日：2015-03-02
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 슈,챈민 , 휴,슈이쿠잉
IPC分类号： G01Q40/00 , G01Q30/06 , G01Q60/34
CPC分类号： G01Q40/00 , G01Q30/06 , G01Q60/34 , G01Q60/58
摘要： 진동모드에서작동하는표준원자간력현미경(AFM)을사용하여수집된데이터내의아티팩트를보상하는방법이개시된다. 아티팩트는실제탐침-시료간의상호작용과관련되지않는탐침의휨에의해발생하며방법은측정된휨의 DC 성분을측정함으로써 AFM의탐침의열 유도굽힘을보상하는단계를포함한다. 휨의 DC 성분은광 휨검출장치를보정함으로써그리고평균휨의이동을모니터링함으로써확인되고, 따라서바람직한실시형태는아티팩트로인한부작용을최소화할수 있다. 특히, DC 휨프로파일을플로팅함으로써시료의대응하는온도파일을생성한다.
摘要翻译：使用以振荡模式操作的标准原子力显微镜（AFM）收集的数据中补偿伪影的方法。该伪影是由与探头 - 样本相互作用无关的探针的偏转引起的，该方法包括通过测量测得的偏转的直流分量来补偿AFM的探针的热诱导弯曲。通过校准光学偏转检测装置和监测平均偏转的运动来识别偏转的直流分量，从而允许优选实施例将由于伪像引起的不利影响降至最低。值得注意的是，绘制直流偏转曲线得到相应的样品温度曲线。

3. 发明公开

KR1020160106204A 첨두힘 탭핑 모드에서 동작하는 원자력 현미경을 이용한 전기적 특성 측정 방법 및 장치 审中-实审
标题翻译：使用激光打印模式进行AFM操作的电气性能测量方法和装置
公开(公告)号：KR1020160106204A
公开(公告)日：2016-09-09
申请号：KR1020167023920
申请日：2013-06-24
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 리,춘젱 , 후,얀 , 마,지 , 헤,지안리 , 후앙,린 , 민네,스테펜,씨. , 미텔,헨리 , 왕,웨이지 , 후,쉬킹 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/34 , G01Q60/30
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q60/34 , G01Q60/40
摘要： 단일패스또는이중패스동작중에원자력현미경(AFM)을이용하여토포그래피(topography), 기계적특성및 전기적특성데이터를수집하는기구및 방법. PFT 모드가선호되며이용되고이에따라넓은범위의프로브사용이허용되고, 이에따른하나의이익은전기적특성측정의감도를증가시키는것이다.

4. 发明公开

KR1020120135895A 운동학적 굴곡 어레인지먼트를 채용한 지지 스테이지를 갖는 주사형 프로브 현미경 有权
标题翻译：扫描探针显微镜支持动画激光装置的支持
公开(公告)号：KR1020120135895A
公开(公告)日：2012-12-17
申请号：KR1020127012202
申请日：2010-10-29
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 마셜,칼
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q30/00
CPC分类号： B82Y35/00 , G01Q10/04 , G01Q10/065 , G01Q70/04 , G01Q10/00 , G01Q20/00 , G01Q30/00
摘要： 주사형 프로브 현미경(SPM)(200)이 프로브(14)가 부착된 압전 액추에이터-기반 튜브 스캐너(12)를 갖고, 이 튜브 스캐너는 압전 튜브에 전압을 가함으로써 3개의 평면에서 이동 가능하다. 한 세트의 굴곡부(40)가 튜브의 변위로 구부러지고, 굴곡부에 부착된 변형 게이지(74, 76, 78, 80)가 굴곡부의 구부러짐을 측정하여, 대상물의 스캐닝 동안 튜브의 변위에 대해 피드백을 제공한다. 변형 게이지와 굴곡부가, 각각의 자유도에 단일 제약이 제공되고 제약은 서로에 대해 적어도 실질적으로 직교하는 운동학적 감지 프레임 또는 어레인지먼트를 형성한다.
摘要翻译：扫描探针显微镜（SPM）具有基于压电致动器的管扫描器，探针附接到其上，并且通过向压电管施加电压可在三个平面中移动。一组挠曲随着管的位移而弯曲，并且附接到挠曲件的应变计测量挠曲件的挠曲以提供关于在对象的扫描期间管的位移的反馈。应变计和挠曲形成运动学感测框架或布置，其中为每个自由度提供单个约束，并且其中约束至少基本上彼此正交。

5. 发明授权

KR101873936B1 탐침형 원자 현미경 有权
公开(公告)号：KR101873936B1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：KR1020187002304
申请日：2009-11-13
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,슈이큉 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/34 , G01Q60/00
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q20/02 , G01Q60/24 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/34
摘要： AFM 이미징(피크힘 테핑(PFT) 모드)의개선된모드 300은모든현존하는 AFM 작동모드들에의하여성취될수 있는스캔속도를유지하면서, 팁-샘플상호작용힘을감소시키기위하여가변적인피드백으로서힘을사용한다. 샘플이미징및 기계적특성매핑은개선된해상도및 높은샘플작업량에의하여이루어지며, 가스, 유체및 진공을포함하는가변적인환경에서작업가능한모드를제공한다.

6. 发明公开

KR1020150033673A 첨두힘 탭핑 모드에서 동작하는 원자력 현미경을 이용한 전기적 특성 측정 방법 및 장치 有权
标题翻译：使用激光打印模式进行AFM操作的电气性能测量方法和装置
公开(公告)号：KR1020150033673A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：KR1020157001820
申请日：2013-06-24
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 리,춘젱 , 후,얀 , 마,지 , 헤,지안리 , 후앙,린 , 민네,스테펜,씨. , 미텔,헨리 , 왕,웨이지 , 후,쉬킹 , 수,찬민
IPC分类号： G01Q60/34 , G01Q60/30
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q60/34 , G01Q60/40
摘要： 단일패스또는이중패스동작중에원자력현미경(AFM)을이용하여토포그래피(topography), 기계적특성및 전기적특성데이터를수집하는기구및 방법. PFT 모드가선호되며이용되고이에따라넓은범위의프로브사용이허용되고, 이에따른하나의이익은전기적특성측정의감도를증가시키는것이다.

7. 发明公开

KR1020120114286A 스캐닝 프로브 현미경을 작동하는 방법 및 장치 有权
标题翻译：操作扫描探针显微镜的方法和装置
公开(公告)号：KR1020120114286A
公开(公告)日：2012-10-16
申请号：KR1020127017245
申请日：2010-12-01
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,쉬킹 , 수,챈민 , 시,지안 , 마,지
IPC分类号： G01Q60/24 , G01B21/20
CPC分类号： G01Q20/00 , B82Y35/00 , G01Q10/065 , G01Q60/32 , H01R4/56 , H01R13/6315 , H01R2103/00 , G01Q60/24 , G01B21/20 , G01Q60/00 , G01Q60/34
摘要： AFM 이미징의 개선된 모드(PFT(Peak Force Tapping) Mode)가 힘을 피드백 변수로서 사용하여, 모든 기존의 AFM 동작 모드에 의해 얻어질 수 있는 스캔 속도를 유지하면서, 팁과 샘플의 상호작용력을 감소시킬 수 있다. 샘플 이미징 및 기계적 속성 매핑이, 개선된 분해능과 높은 샘플 처리율을 갖고 이뤄지며, 여기서 모드는 다양한 환경(가령, 기체, 유체, 및 진공)을 걸쳐 작동한다. 전문 사용자가 이미징을 모니터링할 필요가 없어짐으로써, 용이한 사용이 촉진된다.
摘要翻译：提供了使用峰值力攻丝（PFT）模式来自动控制和稳定扫描探针显微镜（SPM）诸如原子力显微镜（AFM）的方面和装置的方法和装置。在一个实施例中，控制器响应于确定的基本上瞬时的力自动地控制探针相对于样本的周期性运动，并且自动控制反馈回路中的增益。增益控制电路根据探头和样品之间的距离自动调整增益，以促进稳定性。因此，在扫描期间快速且准确地确定不稳定性的开始，从而消除了在操作期间专家用户调整增益的需要。

8. 发明公开

KR1020100019415A 고속 스캐닝하는 주사 탐침 현미경 스캐너 및 이의 작동 방법 有权
标题翻译：快速扫描SPM扫描仪及其操作方法
公开(公告)号：KR1020100019415A
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：KR1020097021188
申请日：2008-03-17
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 판,니히 , 쿠스워쓰,크라이
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q20/00
CPC分类号： G01Q10/02 , G01Q20/02 , G01Q30/025
摘要： A high-bandwidth SPM tip scanner includes an objective (34) that is vertically movable within the scan head to increase the depth of focus for the sensing light beam. Movable optics permit targeting of the sensing light beam on the SPM's probe (12) and permit the sensing light beam to track the probe during scanning. The targeting and tracking permit the impingement of a small sensing light beam spot on the probe (12) under direct visual inspection of focused illumination beam of an optical microscope (32) integrated into the SPM (10) and, as a result, permits the use of a relatively small cantilever with a commensurately small resonant frequency. A high-bandwidth tip scanner constructed in this fashion has a fundamental resonant frequency greater than greater than 500 Hz and a sensing light beam spot minor diameter of less than 10 μm.
摘要翻译：高带宽SPM尖端扫描器包括可在扫描头内垂直移动的物镜（34），以增加感测光束的聚焦深度。可移动光学器件允许在SPM探头（12）上瞄准感测光束，并允许感测光束在扫描期间跟踪探头。瞄准和跟踪允许在集成到SPM（10）中的光学显微镜（32）的聚焦照明光束的直观目视检查下在探针（12）上碰撞小的感测光束点，结果允许使用具有相当小的谐振频率的相对小的悬臂。以这种方式构造的高带宽尖端扫描器具有大于500Hz的基本谐振频率和小于10μm的感测光束光点小直径。

9. 发明授权

KR101990916B1 스캐닝 프로브 현미경을 작동하는 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101990916B1
公开(公告)日：2019-06-19
申请号：KR1020187011207
申请日：2010-12-01
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,쉬킹 , 수,챈민 , 시,지안 , 마,지
IPC分类号： G01Q60/24 , G01B21/20 , G01Q60/00 , G01Q60/34

10. 发明授权

KR101852475B1 스캐닝 프로브 현미경을 작동하는 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101852475B1
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：KR1020177001695
申请日：2010-12-01
申请人： 브루커 나노, 인코퍼레이션.
发明人： 후,얀 , 후,쉬킹 , 수,챈민 , 시,지안 , 마,지
IPC分类号： G01Q60/24 , G01B21/20 , G01Q60/00 , G01Q60/34
摘要： AFM 이미징의개선된모드(PFT(Peak Force Tapping) Mode)가힘을피드백변수로서사용하여, 모든기존의 AFM 동작모드에의해얻어질수 있는스캔속도를유지하면서, 팁과샘플의상호작용력을감소시킬수 있다. 샘플이미징및 기계적속성매핑이, 개선된분해능과높은샘플처리율을갖고이뤄지며, 여기서모드는다양한환경(가령, 기체, 유체, 및진공)을걸쳐작동한다. 전문사용자가이미징을모니터링할필요가없어짐으로써, 용이한사용이촉진된다.

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