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81. 发明授权

KR101020156B1 플라즈마 처리장치 失效
标题翻译：等离子体处理装置
公开(公告)号：KR101020156B1
公开(公告)日：2011-03-08
申请号：KR1020050134666
申请日：2005-12-30
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 황영주
IPC分类号： H05H1/46
摘要： 본 발명은 플라즈마 처리장치에 관한 것으로, 그 구성은 플라즈마 처리장치에 있어서, 고주파 전원을 인가하는 제 1 RF전원 공급기; 저주파 전원을 인가하는 제 2 RF전원 공급기; 상기 제 1 및 제 2 RF전원 공급기에서 인가된 주파수의 조절 및 안정화를 위해 구비되는 가변저항 및 정합기; 상기 제 2 RF전원 공급기를 제어하여 전원공급을 조절하기 위한 제어부가 구비된다.
본 발명은 진공챔버 상에 공급되는 고전압 및 저전압 전원 중 저전압의 주파주 변조를 다양하게 하고, 고전압 및 저전압을 혼용 또는 선택적으로 사용함과 동시에 전원 인가 방식(PE, Rie, Daul Type)을 다양하게 할 수 있으며, 에칭의 균일도 향상 및 수율이 증가하게 하는 효과가 있다.
고주파 전원, 저주파 전원, RF전원공급기, 플라즈마 처리장치

82. 发明授权

KR100965511B1 기판 이송 시스템 失效
标题翻译：用于传送基板的系统
公开(公告)号：KR100965511B1
公开(公告)日：2010-06-24
申请号：KR1020050070304
申请日：2005-08-01
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 조생현
IPC分类号： H01L21/68 , B65G37/00
摘要： 본 발명은 평판표시소자 제조 공정 중에 기판을 효율적으로 이송하기 위한 기판 이송 시스템에 관한 것이다.
본 발명은, 직선상으로 배치되어, 기판을 일정한 방향으로 연속해서 이동시키는 기판 반송 라인; 상기 기판 반송 라인의 양 측에 각각 배치되되, 상기 기판 반송 라인에 연결되어 기판에 소정의 처리를 실시하는 제1, 제2 처리 모듈;을 포함하며, 상기 제1, 제2 처리 모듈은 상기 기판 반송 라인에 의하여 기판을 공급받고, 처리된 기판을 상기 기판 반송 라인을 통하여 배출하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 시스템을 제공한다.
평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 인라인, 기판 이송

83. 发明授权

KR100965523B1 평판표시소자 제조장치 失效
标题翻译：平板显示装置制造装置
公开(公告)号：KR100965523B1
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：KR1020050134629
申请日：2005-12-30
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 최은열 , 권효중
IPC分类号： H01L21/68 , G02F1/13
摘要： 본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수개를 인접시킨 로드락 챔버를 체결수단에 의해 상호 용이하게 체결할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상호 인접한 상태로 배치되어 접촉면의 둘레에 기밀재가 개재된 복수개의 챔버; 상기 챔버들의 사이에 구비되어 상호 고정하기 위한 체결수단; 상기 기밀재가 개재된 상기 챔버들의 사이공간을 감압시키기 위한 감압수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
평판표시소자 제조장치, 상, 하부 로드락 챔버, 감압, 체결수단, 감압수단
摘要翻译：本发明涉及一种平板显示装置涉及的制造装置，并且更具体地说，涉及一种平板显示器，使得负载锁定腔室邻近所述多个紧固可以通过交叉连接单元元件制造装置变得容易。

84. 发明授权

KR100934762B1 평판표시소자 제조장치 失效
公开(公告)号：KR100934762B1
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：KR1020050074378
申请日：2005-08-12
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 권효중 , 김은석
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클러스터 타입의 제조장치를 인-라인 형태의 시스템에 적용할 때 로드락 챔버에 기판 공급을 컨베이어에 의해 수행하여 인-라인 시스템에 적용되는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 로드락 챔버와, 반송 챔버와, 공정 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 로드락 챔버에는, 상기 기판을 연속적으로 반입하고 반출하는 컨베이어 라인이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
평판표시소자 제조장치, 인라인(In-line), 클러스터(cluster), 로드락 챔버, 반입 컨베이어, 반출 컨베이어

85. 发明授权

KR100914652B1 플라즈마 처리장치 有权
公开(公告)号：KR100914652B1
公开(公告)日：2009-08-28
申请号：KR1020050010470
申请日：2005-02-04
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 손형규
IPC分类号： H01L21/3065
摘要： 본 발명은 챔버 내부에 플라즈마를 발생시켜 기판에 소정의 처리를 실시하는 플라즈마 처리장치에 있어서, 상기 챔버내 하측에 마련되어 기판이 적재되는 하부전극; 상기 하부전극의 하면에 접한 상태로 마련되어 상기 하부전극을 냉각시키며, 상면에서 소정 너비와 소정 높이로 함몰되어 냉각 매체가 유동되는 냉각 유로가 다수개 형성되는 냉각판; 상기 하부전극과 냉각판의 냉각 유로 주위와의 접촉면에 각각 개재되어 냉각 유로의 기밀을 유지하는 기밀유지부재;를 포함하며,
상기 냉각판의 냉각 유로는 다량의 냉각 매체가 유동될 수 있도록 평판 형상으로 면적을 증가시켜 마련되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치를 제공한다.
플라즈마 처리장치, 전극부, 하부전극, 냉각판, 냉각 유로, 와류 방지부

86. 发明授权

KR100880540B1 플라즈마 처리장치 失效
公开(公告)号：KR100880540B1
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020040102988
申请日：2004-12-08
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 조생현
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은, 진공 상태의 챔버 내부에 플라즈마를 발생시켜 기판에 소정의 처리를 실시하는 플라즈마 처리장치에 있어서, 상기 챔버내에 상하 대향되게 마련되며, 챔버내에 전계를 발생시키는 상부전극 및 하부전극; 상기 상부전극과 챔버 내벽 사이 또는 상기 하부전극과 챔버 내벽 사이중 적어도 어느 한 곳에 마련되어 상호 전기적으로 연결하여 접지시키는 얇은 판상의 연결부재;를 포함하며,
상기 연결부재는, 상기 상, 하부전극과, 그 전극에서 챔버 내측벽에 수평된 상태로 접촉되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치를 제공한다.
플라즈마 처리장치, 챔버, 상, 하부전극, 접지, 연결부재

87. 发明授权

KR100876845B1 ＣＣＦＬ용 형광램프 제조장치 失效
标题翻译：用于CCFL的荧光灯制造设备
公开(公告)号：KR100876845B1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020050101226
申请日：2005-10-26
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 정준호 , 김용회
IPC分类号： H01J9/38
摘要： 본 발명은 CCFL용 형광램프 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 CCFL용 형광램프의 제작공정을 수행하는 과정에서 유리관 내부를 진공상태로 만들 때 진공 시간은 최대한 연장시켜 공정 완료 시간이 감소될 수 있게 한 CCFL용 형광램프 제조장치에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 방사상으로 배치된 다수개의 유리관 상단과 하단을 지지한 상태로 회전과 승강이 가능한 상부 및 하부 플레이트, 상기 하부 플레이트의 하부에 설치되어 연동 회전하며 방사상으로 형성된 다수의 전달홀에 설치된 가스전달라인을 통해 상기 유리관으로 가스를 전달하기 위한 회전 플레이트, 상기 회전 플레이트의 하부에 밀착되며 상기 전달홀에 연통되도록 형성된 다수의 공급홀에 가스를 공급하기 위한 가스공급라인이 설치되는 고정플레이트가 구비된 CCFL용 형광램프 제조장치에 있어서, 상기 전달홀의 내부 면적은 상기 유리관으로 공급되는 가스의 양이 증가되도록 상기 공급홀의 내부 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 CCFL용 형광램프 제조장치에 관한 것이다.
CCFL용 형광램프 제조장치, 유리관, 진공, 전달홀, 공급홀
摘要翻译：更具体地说，本发明涉及一种用于制造CCFL荧光灯的装置，并且更具体地涉及一种用于制造CCFL荧光灯的方法，一种CCFL荧光灯制造装置。

88. 发明授权

KR100870829B1 임프린트 장치 및 방법 有权
标题翻译：用于在基材上涂覆涂料的装置和在基材上涂布涂料的方法
公开(公告)号：KR100870829B1
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：KR1020050064801
申请日：2005-07-18
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 이재열 , 김정희
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/00 , B82Y40/00
摘要： 본 발명은 노광 공정을 거치지 않고서도 기판 상에 미세한 패턴을 균일하고 정밀하게 구현할 수 있는 나노 임프린트 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 그 내부에 밀폐 공간 형성이 가능한 챔버; 상기 챔버 내부의 압력을 조절할 수 있는 압력조절 수단; 상기 챔버 내부 하측에 마련되며, 그 상부에 기판이 위치되는 하정반; 상기 챔버 내부 상측에 마련되며, 그 하부에 몰드가 위치되는 상정반; 상기 상정반의 상부와 결합되어 마련되며, 상기 상정반을 상하 방향으로 이동시키는 상정반 수직 이동수단; 및 상기 몰드 상부에 자외선을 조사하는 자외선 조사수단;을 포함하며, 상기 몰드에는, 상기 몰드를 두께 방향으로 관통하여 형성되는 다수개의 기체 통과홀이 형성되고, 상기 상정반에는, 상기 기체 통과홀과 대응되는 위치에 형성되어 상기 기체 통과홀에 기체를 공급하는 기체 공급부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 패턴 임프린트 장치를 제공한다.
임프린트, 몰드, 몰드 분리, 기체 주입

89. 发明授权

KR100864794B1 기판지지장치 失效
标题翻译：基板支持设备
公开(公告)号：KR100864794B1
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：KR1020040108228
申请日：2004-12-17
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 김필종 , 정동환
IPC分类号： G02F1/13
摘要： 본 발명은, 반송 로봇에 의해 기판을 평판표시소자 제조장치 내부로 로딩/언로딩하는 로딩/언로딩 장치에 있어서, 상기 챔버내 하측에 구비되어 소정 높이까지 승강하며, 선접촉에 의해 기판을 지지하는 기판 수취수단이 마련되는 것을 특징으로 하는 로딩/언로딩 장치를 제공한다.
평판표시소자 제조장치, 로딩/언로딩 장치, 기판, 흡착, 기판 수취수단, 스트링, 구동수단

90. 发明授权

KR100856679B1 평판표시소자 제조장치 失效
标题翻译：制造FPD的装置
公开(公告)号：KR100856679B1
公开(公告)日：2008-09-04
申请号：KR1020040102975
申请日：2004-12-08
申请人： 인베니아 주식회사
发明人： 이영종 , 최준영 , 조생현
IPC分类号： H01J11/48 , H01J11/20
摘要： 본 발명은 그 내부를 진공분위기로 형성시키고 평판표시소자 기판에 소정의 처리를 실시할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공 챔버를 챔버 본체와 상부 커버로 분리시켜 구비시키고, 상부 커버를 용이하게 개폐할 수 있는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
챔버 본체와, 상기 챔버 본체 상측에 상기 챔버 본체와 대향되도록 마련되되, 상기 챔버 본체와 소정 간격 이격되어 위치되는 상부 커버로 이루어지는 진공 챔버; 상기 챔버 본체와 상부 커버 사이에 형성되는 틈을 밀폐시키며, 상기 상부 커버로 부터 탈착가능하도록 마련되는 밀폐수단; 상기 상부 커버 양 측면의 대응되는 위치에 결합되어 마련되며, 상기 상부 커버를 회전시킬 수 있는 회전부; 상기 회전부와 결합되어 상기 회전부에 결합된 상부 커버를 지지하고, 상부 커버를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 수평이동부; 상기 수평이동부와 결합되어 마련되며, 상기 수평이동부의 이동 경로를 제공하는 경로부; 상기 진공 챔버 내부에 마련되며, 상기 진공 챔버 내부로 반입되는 피처리물에 소정의 처리를 실시하는 처리부; 를 포함하여 구성되는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.
평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 진공 챔버, 상부 커버

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