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    • 79. 发明公开
    • 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
    • 使用太赫兹波的实时非接触式无损测厚装置
    • KR1020170003086A
    • 2017-01-09
    • KR1020150093296
    • 2015-06-30
    • 한국표준과학연구원
    • 이대수양지상
    • G01B11/06H01S3/10
    • G01B11/06G01B9/02003G01B9/02004G01B9/02084G01S7/4802G01S17/325
    • 본발명은테라헤르츠파를이용한실시간비접촉비파괴두께측정장치에관한것으로, 상세하게는파장이고정된레이저와파장훑음레이저로부터생성된주파수가고속으로변하는테라헤르츠연속파를시편에조사하고투과또는반사되는테라헤르츠파를측정함으로써, 시편의두께를측정할수 있는테라헤르츠파를이용한실시간비접촉비파괴두께측정장치에관한것이다. 본발명의바람직한일 실시예에따른테라헤르츠파를이용한실시간비접촉비파괴두께측정장치는파장고정레이저, 파장훑음레이저, 커플러, 발생기, 검출기, 데이터획득부, 연산부, 구동부를포함할수 있다. 파장고정레이저와파장훑음레이저는커플러에입력되어혼합광을형성한다. 형성된혼합광은, 테라헤르츠파를발생하는발생기에입력되고, 또한발생기에서방출되어샘플을투과또는반사한테라헤르츠파가입력되는검출기에입력되는데, 검출기에서는혼합광에의해서여기되는포토캐리어(photocarrier)가테라헤르츠파의전기장에의해바이어스되어광전류를생성한다. 데이터획득부는상기광전류를디지털데이터의형태로획득하여연산부로출력한다. 연산부는상기데이터획득부가출력한데이터를주파수영역데이터로변환하고주파수영역데이터를고속푸리에변환하여시간영역데이터를생성하고, 상기시간영역데이터에근거하여상기샘플의두께를연산한다.
    • 本发明涉及一种使用太赫兹波实时非接触无损厚度测量设备,尤其是,从一个固定的激光具有波长huleum激光器产生的频率的波长照射,透射或反射的太赫兹波的连续波,在一个高速样本的不同而不同 通过测量太赫兹波能够测量样本厚度的使用太赫兹波的非接触式厚度测量设备。 使用根据本发明可以包含一个固定的波长的激光,激光波长huleum,耦合器,发生器,检测器,数据获取单元,操作单元,驱动单元的一个实施例的太赫兹波实时无损的非接触厚度测量设备。 波长锁定激光器和波长扫描激光器被输入到耦合器以形成混合光。 形成的混合光被输入到发生器,用于产生太赫波,并且被输入到检测器由发电机即样品透射或反射的太赫波被输入时,在其通过混合光载波激发的图象检测器(光载发射 )被加埃塔赫兹波的电场偏置以产生光电流。 数据获取单元以数字数据的形式获取光电流并将其输出到运算单元。 计算单元计算所述样品的厚度为通过将通过快速傅立叶频域数据输出的数据变换和基于所生成的时域数据的频域数据中得到的数据转换,和时域数据。