专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

41. 发明授权

KR101354304B1 광학 지연장치 有权
标题翻译：光学延迟
公开(公告)号：KR101354304B1
公开(公告)日：2014-01-23
申请号：KR1020077009416
申请日：2005-09-30
申请人： 피코메트릭스 엘엘씨
发明人： 윌리암슨스티븐 , 체르노브스키아르투르에이. , 월터클라우스에이취. , 짐달스데이비드
IPC分类号： G01J9/02
CPC分类号： G02B26/06 , G01J3/0205 , G01J3/0235 , G02B5/122
摘要： 광학 지연 라인 장치는 회전 휠(wheel)과, 상기 휠의 원주 근방에 설치된 복수개의 프리즘을 구비한다. 상기 복수개의 프리즘은 휠의 회전으로 빔에게 지연 또는 위상 시프트가 발생하도록 휠에 대해 거의 접하여 통과하는 광학 빔을 역반사시키는 위치에 배치된다.
지연 라인, 휠, 포로 프리즘, 역반사체, 빔 편광기, 서큘레이터, 거울.

42. 发明授权

KR101066856B1 주파수 차를 구비한 멀티래터럴 간섭계를 포함하는 파면 분석 방법 有权
标题翻译：涉及具有频率差异的多尺度干涉的WAVEFRONT分析方法
公开(公告)号：KR101066856B1
公开(公告)日：2011-09-26
申请号：KR1020087022589
申请日：2007-02-15
申请人： 오네라 (오피스 내셔널 드뚜드데 에 드 르셰세 에어로스페시알르)
发明人： 프리모,제롬 , 벨쥐,사브리나 , 게르노,니꼴라 , 아이다,리아 , 토비,미쉘
IPC分类号： G01J9/02 , G01B9/02
CPC分类号： G01J9/02 , G01J2009/0226
摘要： 주파수 차를 구비한
멀티래터럴
간섭계를 포함하는 파면 분석 방법
본 발명은 주파수 차를 구비한 멀티래터럴 간섭계를 포함하는 파면 분석 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따라, 2-차원 메싱을 구비한 회절 격자(GR)은 분석되는 빔의 경로에 배치되고 적어도 2개의 상이한 색을 구비한 적어도 2개의 간섭도가 처리되는데, 각각의 간섭도는 상이한 회절 차수를 구비한 2개의 서브-빔(R1, R2)으로부터 면(P
S ) 내에서 획득된다. 본 발명은 전단 파면(S)을 분석 및 보정하기 위해 이용될 수 있다.

43. 发明授权

KR100829091B1 파면 검출장치 有权
标题翻译：用于检测波前的装置
公开(公告)号：KR100829091B1
公开(公告)日：2008-05-19
申请号：KR1020077017499
申请日：2001-01-23
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 베크만울리히 , 프라이쉬라트클라우스
IPC分类号： G01J9/02
CPC分类号： G03F7/706 , G01J9/02
摘要： 본 발명은 파면 검출장치를 개시한다. 개시된 파면 검출장치는 파면이 통과되는 회절격자; 상기 회절격자 후단에 배치된 것으로, 위치 해상력이 있는 검출기;를 포함하며, 상기 검출기는 적어도 일부 영역이 상기 회절격자를 향하여 굽어져 있는 것을 특징으로 한다.

44. 发明公开

KR1020070087236A 파면 검출장치 有权
标题翻译：用于检测波峰的装置
公开(公告)号：KR1020070087236A
公开(公告)日：2007-08-27
申请号：KR1020077017499
申请日：2001-01-23
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 베크만울리히 , 프라이쉬라트클라우스
IPC分类号： G01J9/02
CPC分类号： G03F7/706 , G01J9/02
摘要： The invention relates to a device (1) for detecting wave fronts. The inventive device comprises a wave front source (7) for generating a wave front (9), an optical system (5) that forms the wave front (9), a diffraction grating (11) which is interspersed by the formed wave front (10) and a detector (19) with local resolution, whereby said detector is arranged downstream in relation to the diffraction grating (11). The wave front source (7) is provided with a two-dimensional structure.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测波前的装置（1）。本发明的装置包括用于产生波前（9）的波前源（7），形成波前（9）的光学系统（5），由所形成的波前散射的衍射光栅（11） 10）和具有局部分辨率的检测器（19），由此所述检测器相对于衍射光栅（11）布置在下游。波前源（7）具有二维结构。

45. 发明公开

KR1019940005948A 반도체층 두께를 측정하는 장치 无效
标题翻译：测量半导体层厚度的设备
公开(公告)号：KR1019940005948A
公开(公告)日：1994-03-22
申请号：KR1019930006991
申请日：1993-04-26
申请人： 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 , 쟈스코코퍼레이션
发明人： 하또리료 , 니시자와세이지 , 다가하시도구지 , 후가사와료이치
IPC分类号： G01J9/02 , G01B11/06
摘要： 반도체층 두께를 측정하는 장치는 측정에 광을 방사하는 광원과, 광원에서의 광에 변조를 시행하는 시간에 의해 변조된 간섭광을 방사하는 간섭계와, 기판상에 적층된 적어도 1층막을 포함하는 측정시료에 간섭광을 도입하는 광전송부재를 포함하는 광학계와, 시료의 적층막에서 반사되는 간섭광을 받는 광받는 수단과, 반사된 간섭광에서 막간섭성분만을 추출하는 수단과, 막간섭성분의 간섭강도 파형에서 적층된 막의 두께를 계산하는 수단을 포함한다.
받는수단은 서로가 겹치게되는 약간부분의 각 측광 파수 범위를 가지는 복수의 광검지기를 포함한다. 그것에 의해, 각 성분의 파수범위의 합의 파수범위가 전 파수범위로서 얻게되고, 광측정은 각 성분의 단일재료로서는 측정될 수 없는 넓은 파수범위에서 실현될 수가 있다.

46. 发明公开

KR1020220108943A 마이크로 옵틱 마하젠더 간섭계 기반의 레이저 광원장치 有权
公开(公告)号：KR1020220108943A
公开(公告)日：2022-08-04
申请号：KR1020210012044
申请日：2021-01-28
IPC分类号： H01S3/0941 , H01S3/094 , G01J9/02
摘要： 본발명에따르는마이크로옵틱마하젠더간섭계기반의레이저광원장치는, 펌프광을입력받아광섬유에커플링하는커플러; 상기광섬유를통해제공되는펌프광을시준하여출력하고, 반환된광을집광하여상기광섬유로반환하는콜리메이터; 상기콜리메이터가출력하는시준화된펌프광의출사면에대향되게설치된프론트미러와리어미러; 상기프론트미러와콜리메이터사이에위치하여, 상기콜리메이터가출력하는시준화된펌프광을입력받아광을생성하고, 상기광을상기콜리메이터로반환하는레이저매질; 및상기콜리메이터와상기커플러사이에위치하여광섬유로반환되는광을출사하는레이저출력미러;를포하하며, 상기콜리메이터와상기프론트미러와상기리어미러가마이크로옵틱마하젠더간섭계를구성하여상기레이저이득매질에의해생성되는광에대해광경로차를유도하고광경로차가유도된광이상기콜리메이터로입사되어필터링함을특징으로한다.

47. 发明授权

KR102380250B1 반사도 및 입사 광량의 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR102380250B1
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：KR1020200068609
申请日：2020-06-05
IPC分类号： G01N21/552 , G01J1/04 , G01N21/55 , G01J9/02
摘要： 본발명은반사도및 입사광량의측정장치에관한것이다. 구체적으로본 발명의일 실시예에따르면, 광원; 상기광원을샘플로향하는제1 빔과, 상기제1 빔과분리된제2 빔으로분할하는광분할기; 상기광분할기에의해분할된제2 빔의위상을지연시키는위상지연자; 상기제1 빔이상기샘플에반사된반사빔과, 상기위상지연자를거친상기제2 빔을검출하는광검출기; 상기광원과상기위상지연자사이에배치되는제1 편광기; 상기위상지연자와상기광검출기사이에배치되는제2 편광기; 및상기광검출기에서검출된신호를저주파신호와고주파신호를분리하여신호를획득하고, 상기저주파신호및 고주파신호로부터상기샘플의반사도및 입사광량을획득하는신호처리부;를포함하는것을특징으로한다.

48. 发明授权

KR102291082B1 엑시머 광원에서 스페클을 감소시키는 방법 有权
公开(公告)号：KR102291082B1
公开(公告)日：2021-08-19
申请号：KR1020197022128
申请日：2017-12-04
IPC分类号： G03F7/20 , G02B27/48 , G01J11/00 , G01J3/02 , G01J3/26 , G01J9/02 , H01S3/00 , H01S3/225 , H01S4/00 , G02B19/00
摘要： 본방법은: 심자외범위의파장을가지는펄스로구성되는광 빔을생성하는단계-각각의펄스는제1 시간적코히어런스길이에의해규정되는제1 시간적코히어런스를가지며, 각각의펄스는펄스지속시간에의해규정됨; 하나이상의펄스에대해, 펄스의제1 시간적코히어런스길이보다작은제2 시간적코히어런스길이에의해규정되는제2 시간적코히어런스를가지는수정된펄스를생성하기위해펄스의펄스지속시간에걸쳐광학위상을변조하는단계; 적어도수정된펄스로부터펄스광 빔을형성하는단계; 및형성된펄스광 빔을리소그래피노광장치내의기판을향해지향하는단계;를포함한다.

49. 发明公开

KR20210013577A 주파수 변조 간섭계를 위한 경로 변동 모니터링 审中-公开
公开(公告)号：KR20210013577A
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：KR20207035611
申请日：2019-05-17
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/28 , G01J3/433 , G01J3/45 , G01J9/02
摘要： 측정된광에대해임의의주파수를갖는기준레이저를사용하여간섭계에서경로길이변동들을결정하는방법이제시된다. 이방법은간섭계의신호경로들을따라기준광을주입; 간섭계의출력에서기준광 사이의간섭을측정; 기준광 사이의간섭의세기변조를측정하고측정된세기변조로부터의도된주파수변조를감산함으로써간섭계의두 개의신호경로들에서기준광 사이의광학위상차를결정; 간섭계의두 개의신호경로들에서기준광 사이의언래핑된위상차를축적하고, 언래핑된위상차는기준과관련하여정의되고; 및언래핑된위상차를사용하여간섭계에서광의경로길이변동을결정하는것을포함한다.

50. 发明授权

KR101972883B1 정적 변환 방식의 푸리에 변환 분광 시스템 有权
公开(公告)号：KR101972883B1
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：KR1020170066939
申请日：2017-05-30
申请人： 한서대학교 산학협력단
发明人： 장원권 , 조주용
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/88 , G01N21/94 , G01N21/35 , G01J9/02

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式