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41. 发明公开

KR1020010030108A 자동으로 빔특성을 제어하는 스마트 레이저 无效
标题翻译：具有自动光束质量控制的智能激光
公开(公告)号：KR1020010030108A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020000048302
申请日：2000-08-21
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 에리프레더릭지. , 벅제세디. , 다스팔라시피.
IPC分类号： H01S3/225
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： PURPOSE: A smart laser with automated beam quality control is provided, which has a computer automatically controlling wavelength and bandwidth by using a feed back signal from a wavemeter. CONSTITUTION: A smart laser having automatic computer control of pulse energy, wavelength and bandwidth using feedback signals from a wavemeter. Pulse energy is controlled by controlling discharge voltage, wavelength by controlling the position of an RMAX mirror in a line narrowing module and bandwidth is controller by adjusting the curvature of a grating in the line narrowing module. Preferred embodiments include automatic feedback control of horizontal and vertical beam profile by automatic adjustment of a prism plate on which beam expander prisms are located and automatic adjustment of the RMAX tilt.
摘要翻译：目的：提供具有自动光束质量控制的智能激光器，其具有通过使用波形计的反馈信号自动控制波长和带宽的计算机。规定：智能激光器可以使用波形计的反馈信号自动计算机脉冲能量，波长和带宽。脉冲能量通过控制放电电压，波长控制，通过控制线窄线模块中的RMAX反射镜的位置，并通过调整线窄化模块中的光栅的曲率来控制带宽。优选实施例包括通过自动调节光束扩展器棱镜所在的棱镜板和自动调整RMAX倾斜来自动反馈水平和垂直光束轮廓。

42. 发明公开

KR1020010030047A 자동 플루오르 제어 시스템 有权
标题翻译： EXCIMER激光自动荧光浓度控制系统
公开(公告)号：KR1020010030047A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020000044773
申请日：2000-08-02
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 공멩씨옹 , 카레시제이슨알. , 바인더마이클씨. , 다스팔라쉬피.
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/03 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70358 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/134 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： PURPOSE: An automatic fluorine concentration control system for excimer laser is provided to keep the laser operating in desired sweet spots by monitoring the parameter DELTA E/ DELTA V representing the change of pulse energy with charging voltage. CONSTITUTION: An excimer laser system comprising: a laser chamber containing two spaced apart elongated electrodes; a laser gas comprising:a noble gas, luorine, a buffer gas; a blower for flowing the laser gas between the two spaced apart electrodes; a fluorine source; a means for determining DELTA E/ DELTA V; and a fluorine control system arranged to automatically control fluorine injection flow based on determined values of DELTA E/ DELTA V in order to permit the laser to operate within a desired sweet spot determined by fluorine concentration in the laser chamber.
摘要翻译：目的：提供一种用于准分子激光的自动氟浓度控制系统，通过监测表示脉冲能量随充电电压变化的参数DELTA E / DELTA V来保持激光在所需的甜点中的运行。构成：准分子激光系统，包括：激光室，其包含两个间隔开的细长电极; 一种激光气体，包括：惰性气体，罗林碱，缓冲气体; 用于使激光气体在两个间隔开的电极之间流动的鼓风机; 氟源; 确定DELTA E / DELTA V的方法; 以及氟控制系统，其布置成基于DELTA E / DELTA V的确定值来自动控制氟注入流量，以允许激光器在由激光室中的氟浓度确定的期望的甜点内操作。

43. 发明授权

KR100250394B1 엑시머 레이저의 가스 재공급 방법 및 장치 失效
标题翻译：气体补偿方法和装置激光器的设备
公开(公告)号：KR100250394B1
公开(公告)日：2000-05-01
申请号：KR1019970701321
申请日：1994-08-31
申请人： 사이머 인코퍼레이티드
发明人： 샌드스트롬리차드엘.
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： H01S3/225 , H01S3/036 , H01S3/2256
摘要： 불소/크립톤/네온 가스 혼합물을 이용하는 엑시머 가스 레이저에는 가스 혼합물을 재공급하는데 사용되는 별개의 불소/네온 가스 발생원(32) 및 크립톤/네온발생원(34)이 제공되어 있다. 또한, 블리드 다운 기구(36)가 상기 엑시머 레이저로부터 상기 가스 혼합물의 일부를 배출하기 위해 제공되어 있다. 제어 기구(44)는 상기 엑시머 레이저내의 가스 혼합물을 선택적으로 변화시키기 위해 별개의 불소/네온 발생원(32) 및 크립톤/네온 발생원(34) 및 상기 블리드 다운기구(36)의 동작을 제어하며, 이에 따라 전반적으로 최적의 레이저 효율이 유지된다. 바람직하게, 상기 제어 기구(44)는 이득, 파장, 대역폭 및 펄스 속도을 포함하여 상기 엑시머 레이저의 동작 파라미터를 감시하여, 상기 엑시머 레이저내의 가스 혼합물이 최적의 혼합물로부터 변하였는 지를 결정한다. 제어 시스템은 상기 레이저의 상기 동작 파라미터의 변화를 보상하기 위해 별개의 불소/네온 발생원 및 크립톤/네온 발생원의 동작을 제어하며, 이에 따라 전반적인 레이저 효율이 높게 유지된다. 또한, 가스 재공급이 소정의 경험에 기초한 가스 재공급 방법에 따라 제어된다.

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