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1. 发明授权

KR101604742B1 시드 레이저 모드 안정화 시스템 및 방법 有权
标题翻译：种子激光模式稳定系统和方法
公开(公告)号：KR101604742B1
公开(公告)日：2016-03-18
申请号：KR1020157006494
申请日：2013-08-13
申请人： 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
发明人： 샌드트롬리차드엘.
IPC分类号： H01S3/13 , H05G2/00 , H01S3/00 , H01S3/11 , H01S3/136 , H01S3/139 , H01S3/23
CPC分类号： H01S3/13 , H01S3/0085 , H01S3/11 , H01S3/1305 , H01S3/136 , H01S3/1398 , H01S3/2366 , H01S3/2383 , H05G2/005 , H05G2/008
摘要： 레이저생성플라즈마(LPP) 극자외선(EUV) 광시스템내의시드레이저안정화방법및 장치가개시된다. 하나의실시예에서, 레이저의캐비티길이는캐비티의일단을형성하는이동가능한미러에의해조절될수 있다. 출력펄스의방출로부터다음레이저동작임계치에도달될때까지의시간지연이상이한미러위치에서측정되고, 레이저의이득피크와나란한캐비티모드를야기하는미러위치가선택되어, 레이저의출력펄스에서부터다음레이저동작임계치까지의최소시간지연을산출한다. 레이저내의 Q-스위치는프리레이징및 출력펄스의지터-프리(jitter-free) 타이밍을가능하게한다. 피드백루프는레이저출력을최대이득및 효율로, 그리고감쇠및 타이밍을희망의동작포인트로유지한다.

2. 发明公开

KR1020130034474A 레이저 출력 조정 장치 및 그 방법 无效
标题翻译：用于控制激光输出的装置及其方法
公开(公告)号：KR1020130034474A
公开(公告)日：2013-04-05
申请号：KR1020110098501
申请日：2011-09-28
申请人： 참엔지니어링(주)
发明人： 정훈 , 윤성진 , 김준래 , 이윤재 , 김현수 , 지영수
IPC分类号： H01S3/10 , H01S3/13 , B23K26/03 , B23K26/067
CPC分类号： H01S3/10 , B23K26/03 , B23K26/067 , H01S3/13
摘要： PURPOSE: A laser output adjustment apparatus and a method thereof are provided to easily adjust an output of a laser beam irradiated in a substrate. CONSTITUTION: A laser unit(100) generates a laser beam(10). An optical unit(200) provides a path of the laser beam. A processing unit(300) irradiates the laser beam passing the optical unit in a substrate(20). A first measurement unit(400) is arranged between the laser unit and the optical unit and measures an output of the laser beam generated from the laser unit. A second measurement unit(500) is arranged within the optical unit and measures the output of the laser beam passing the optical unit. A controlling unit(600) receives an output signal of the laser beam measured in the first measurement unit and the second measurement unit, transmits the signal to the laser unit, and adjusts the output of the laser beam generated from the laser unit. [Reference numerals] (100) Laser unit; (200) Optical unit; (400) First measurement unit; (500) Second measurement unit; (600) Controlling unit;
摘要翻译：目的：提供激光输出调节装置及其方法，以容易地调节照射在基板中的激光束的输出。构成：激光单元（100）产生激光束（10）。光学单元（200）提供激光束的路径。处理单元（300）将通过光学单元的激光束照射在基板（20）中。第一测量单元（400）设置在激光单元和光学单元之间，并测量从激光单元产生的激光束的输出。第二测量单元（500）布置在光学单元内，并测量通过光学单元的激光束的输出。控制单元（600）接收在第一测量单元和第二测量单元中测量的激光束的输出信号，将该信号发送到激光单元，并调整从激光单元产生的激光束的输出。（附图标记）（100）激光单元; （200）光学单元; （400）第一测量单元; （500）第二测量单元; （600）控制单元;

3. 发明公开

KR1020010032868A 에탈론 기반 출력 커플러를 구비한 협대역 레이저 有权
标题翻译：基于标准具输出耦合器的窄带激光器
公开(公告)号：KR1020010032868A
公开(公告)日：2001-04-25
申请号：KR1020007006197
申请日：1998-12-07
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 에르쇼프알렉산더아이.
IPC分类号： H01S3/098
CPC分类号： H01S3/1062 , G03F7/70025 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/08059 , H01S3/08081 , H01S3/0812 , H01S3/105 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/139 , H01S3/225
摘要： 회절격자기초라인협소화모듈, 에탈론-기초라인협소화출력커플러(64) 및레이저를튜닝하는기술을구비한라인협소화된레이저. 에탈론-기초출력커플러(64)는회절격자에의해생성된스펙트럼의최고값에서혹은근사치에서광을용이하게선택적으로반사할수있다. 라인협소화의실질적인발전은에탈론-기초출력커플러(64)에의해선택적으로반사되는회절격자스펙트럼의최고값에서혹은근사치에서의레이저공진챔버내의증폭을통해서야기된다. 회절격자기초라인협소화모듈에의해선택된파장을정합하기위한에탈론-기초출력커플러(64)를튜닝하는수 개의방법이공지된다.

4. 发明公开

KR1020010014430A 불안정한 공진공동을 가진 초 협대역 레이저 有权
标题翻译：具有不稳定谐振腔的超窄带激光器
公开(公告)号：KR1020010014430A
公开(公告)日：2001-02-26
申请号：KR1019997012618
申请日：1998-06-05
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 에르소브알렉산더아이.
IPC分类号： H01S3/08
CPC分类号： G03F7/70483 , G02B5/1828 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/08081 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/225
摘要： 초협대역레이저. 초협대역은빔 팽창기와휘어진회절격자를가지는선 폭줄임모듈과공동으로, 출력결합기를제공하는원통형부분반사거울을사용하여불안정한공진공동을만듦으로써얻을수 있다.
摘要翻译：斩波带激光。可以通过使用圆柱形部分反射镜产生不稳定的谐振腔来获得超窄带，该圆柱形部分反射镜与光束扩展器和具有弯曲衍射光栅的线宽减小模块一起提供输出耦合器。

5. 发明授权

KR101641856B1 디오이렌즈를 사용한 빔질 향상용 의료 핸드피스 有权
标题翻译：使用光镜镜片改善光束质量的医疗手段
公开(公告)号：KR101641856B1
公开(公告)日：2016-07-22
申请号：KR20160019532
申请日：2016-02-19
申请人： JTS INDUSTRY
发明人： RYU SE HUN
IPC分类号： A61N5/06 , A61N5/067 , H01S3/00 , H01S3/13
CPC分类号： A61N5/06 , H01S3/00 , H01S3/13
摘要： 본발명은디오이렌즈를사용한빔질향상용의료핸드피스에관한것으로서, 더욱상세하게는디오이렌즈를사용하여빔질을향상시키며, 빔모양을사각형상으로여러가지크기로만들어피부치료용레이저빔 질을향상시켜균일한사각빔을병변크기에맞게사용할수 있으며, 중첩되는부분을제거함으로써, 오버랩시술을방지할수 있으며, 동시에질이좋지않은빔을최종단에서디오이렌즈를통과시켜고루지못한빔질의에너지분포를균일하게함으로써, 시술시부작용과 2차진료의문제를극복할수 있는디오이렌즈를사용한빔질향상용의료핸드피스에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种使用衍射光学元件（DOE）透镜改善光束质量的医疗手持件。更具体地，本发明涉及一种用于使用DOE透镜改善光束质量的医疗手持件，其被设计为通过使用DOE透镜来提高光束质量。梁的形状为具有各种尺寸的正方形，以提高用于处理皮肤的激光束质量，从而提供具有均匀形状的方形适合尺寸的病变的束。重叠部分的去除防止了重复的操作，并且通过允许低质量的光束在最终通过DOE透镜，光束质量的不均匀的能量分布变得均匀。因此，可以克服与二次治疗有关的问题和由手术引起的副作用。

6. 发明公开

KR1020150021012A 에탈론 및 에탈론의 제조 방법 审中-实审
标题翻译： ETALON和生产ETALON的方法
公开(公告)号：KR1020150021012A
公开(公告)日：2015-02-27
申请号：KR1020147019585
申请日：2012-12-17
申请人： 교세라 가부시키가이샤
发明人： 와카바야시,코타로 , 후루카타,유키코
IPC分类号： G02B26/00 , G02B5/28 , G01J3/02 , G01J3/26 , H01S3/13
CPC分类号： G02B5/284 , G01J3/0286 , G01J3/26 , G02B1/11 , H01S3/13 , Y10T29/49771 , Y10T29/49826 , G02B26/001 , G02B5/28
摘要： 에탈론(1)은, 온도 상승 변화에 대한 광로 길이(light path length)의 변화가 정(正)인 제 1 투광체(7A)와, 온도 상승 변화에 대한 광로 길이의 변화가 부(負)인 제 2 투광체(7B)와, 제 1 외측면(51A)을 덮는 제 1 반사막(5A)과, 제 1 내측면(55A)을 덮는 제 1 반사 방지막(9A)과, 제 2 내측면(55B)을 덮는 제 2 반사 방지막(9B)과, 제 1 외측면(51A)을 덮는 제 2 반사막(5B)을 가진다. 제 1 내측면(55A)과 제 2 내측면(55B)과는 갭(53)을 사이에 두고 대향하고 있다.

7. 发明公开

KR1020000057994A 양지향성의 대역폭 제어를 가진 격자 조립체 有权
标题翻译：具有双向带宽控制的大楼总成
公开(公告)号：KR1020000057994A
公开(公告)日：2000-09-25
申请号：KR1020000006152
申请日：2000-02-10
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 포멘코프이고르브이. , 이리프레드릭지. , 이르쇼브알렉산더
IPC分类号： H01S3/08
CPC分类号： H01S3/08081 , G02B5/1828 , G03F7/70025 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/1055 , H01S3/13 , H01S3/225
摘要： PURPOSE: A lattice assembly having bidirectional bandwidth controls is provided to control a bandwidth by controlling a lattice surface to become more concave or less convex by a control rod. CONSTITUTION: A lattice(1) forms first and second end portions with a straight surface. A first end portion plate(30) is attached to the first end portion and stretched in a direction apart away from the straight surface. A second end portion plate(32) is attached to the second end portion, stretched in a direction apart away from the straight surface, and has a screwed channel. A spring housing(8) is connected to the first end portion plate(30) and forms first and second pressure surfaces. A control rod(4) has a screwed portion to be stretched into the spring housing(8).
摘要翻译：目的：提供具有双向带宽控制的格子组件，以通过控制网格表面变得更凹或更少由控制棒凸起来控制带宽。构成：格子（1）形成具有直的表面的第一和第二端部。第一端部板（30）附接到第一端部并且在远离直线表面的方向上被拉伸。第二端部板（32）附接到第二端部，在远离直线表面的方向上拉伸，并且具有螺纹通道。弹簧壳体（8）连接到第一端部板（30）并形成第一和第二压力表面。控制棒（4）具有被拉伸到弹簧壳体（8）中的螺纹部分。

8. 发明授权

KR100252773B1 파장계 및 그에 의하여 제어되는 가변파장 레이저를 위한 온도 보상장치 및 방법 失效
标题翻译：温度补偿方法及其控制的波形计和可控激光器的设备
公开(公告)号：KR100252773B1
公开(公告)日：2000-05-01
申请号：KR1019970701322
申请日：1994-08-31
申请人： 사이머 인코퍼레이티드
发明人： 샌드스트롬리차드엘.
IPC分类号： H01S3/13
CPC分类号： G01J9/0246 , H01S3/13 , H01S5/0687
摘要： 본 발명에서는 파장계 및 그에 의하여 제어되는 가변파장 레이저를 위한 온도 보상방법 및 장치가 제공되는데, 본 발명에 따르면 파장계 하우징에서 양호한 진공상태를 유지해야 할 필요가 없으며, 파장계가 온된 후부터 파장계에서의 온도 안정성이 달성되기 전까지 파장 정확도를 빠르게 확보할 수 있다.
본 발명에 따르면, 파장계 하우징(12)는 건조된 질소로 이루어진 한가지의 기체로 채워지는 것이 바람직하며, 파장계 출력은, 수정되지 않은 파장계 출력과 적절한 파장계 온도 종속 요소(14) 및 추가적인 파장계 온도 종속 요소(16)의 적절한 변화율을 결합하므로써 수정된다. 오븐을 사용하지 않고 그리고 작동온도의 안정상태가 이루어지기 전에 파장계 출력에 대하여 안정성과 정확성을 획득할 수 있다는 것이 본 발명의 실질적인 결과이다.

9. 发明公开

KR1019990088282A 레이저가공장치 无效
标题翻译：具有激光装置的加工装置
公开(公告)号：KR1019990088282A
公开(公告)日：1999-12-27
申请号：KR1019990017277
申请日：1999-05-14
申请人： 가부시키가이샤 아마다미야치
发明人： 사사키하루키 , 가와무라고우지
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/062
CPC分类号： H01S3/13 , B23K26/702
摘要： 본발명은사용자측에수고나부담을끼치지않고, 장치측에서자동적으로광화이버에대한레이저광의입사(투사) 파워를관리하여광 화이버의보호와레이저가공효율및 가공품질의향상을꾀한다. 이모니터링에서는, 먼저레이저출력측정치, 램프전압측정치, 램프전류측정치등의측정치를판독하고(스텝F1). 펄스1개분의에너지를구한다(스텝F2). 그리고, 일정시간(Ta)걸러상기펄스 1개분의에너지의누적치를토대로레이저출력의평균치(PM)또는램프전력의평균치(QM)를구한다(스텝F4). 이어서, 이구한레이저출력평균치(PM)또는램프전력평균치(QM)를설정상한치 PN 또는 QN과비교한다. 이비교에서, PM>PN 또는 QM>QN이되었을때는,[이상]즉현시점에서의단위시간당의레이저출력평균치또는램프전력평균치는사용중의광화이버(112)에너무강해위험하다고판정하고, 레이저발진동작을정지시키고(스텝F7), 에러메세지를표시한다(스텝F8).

10. 发明授权

KR1019950013055B1 배열 조명용 외부 조절 레이저원 失效
标题翻译：用于阵列照明的外部可调激光源
公开(公告)号：KR1019950013055B1
公开(公告)日：1995-10-24
申请号：KR1019920008493
申请日：1992-05-20
申请人： 에이티 앤드 티 코포레이션
发明人： 하바드스콧힌톤 , 릭리모리슨
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S5/148 , G02B6/2848 , G02B6/4206 , H01S3/13 , H01S5/4062
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