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热词
    • 44. 发明公开
    • 광 스위치 및 그 제조방법
    • 광스위치및그제조방법
    • KR1020040020972A
    • 2004-03-09
    • KR1020047001282
    • 2002-08-09
    • 닛뽄 고쿠 덴시 고교 가부시키가이샤
    • 노리마츠도시히데
    • G02B26/08
    • G02B6/3584G02B6/3514G02B6/3518G02B6/352G02B6/3546G02B2006/12104
    • 제조가 용이한, 광손실이 거의 없는 광 스위치를 제공한다. 가요성의 빔형상 부재에 의해 고정 전극판과 소정의 간격을 두고 평행한 상태로 배치되는 가동전극판과, 이 가동전극판의 표면에 형성되는 적어도 2개의 미러와, 광파이버 고정용의 적어도 3개의 V홈을, 표면이 (100) 결정면인 단결정 실리콘 기판에 이방성 에칭을 행함으로써 동시에 형성한다. 이 경우, 2개의 마주 대한 미러는, 그것들의 미러면이 직각을 이루도록 형성되고, 이들 미러면과 각각 45°의 각도를 이루어 대향하는 위치에 2개의 평행한 V홈을 형성하여, 일방의 V홈에 출사측 광파이버를, 타방의 V홈에 입사측 광파이버를 수용, 고정한다.
    • 提供了一种可以容易地制造并且几乎没有光损耗的光开关。 一个可移动的板状电极,与一个固定的板状电极平行放置,它们之间有一个预定的间隔,通过一个柔性梁状元件,至少两个制作在可移动板状电极表面上的镜子,以及至少三个V 通过对表面(100)晶面的单晶硅进行各向异性蚀刻来同时制造用于固定光纤的槽形槽。 在这种情况下,两个相对的镜子被制造成使它们的镜面形成直角,并且在与镜子表面相对的位置上以45°的角度形成两个平行的V形凹槽。 输出侧和输入侧光纤分别容纳并固定在两个V形凹槽和另一个凹槽中的一个中。 <图像>
    • 45. 发明公开
    • 광도파로의 제조 방법 및 광 송수신 장치의 제조 방법
    • 生产光波导和生产光发射机接收器
    • KR1020010066921A
    • 2001-07-11
    • KR1020000039816
    • 2000-07-12
    • 소니 주식회사
    • 오가와즈요시
    • G02B6/13
    • G02B6/42G02B6/138G02B6/4214G02B6/43G02B2006/12104Y10S428/914Y10T428/1414Y10T428/1476Y10T428/149Y10T428/24868Y10T428/2804
    • PURPOSE: To provide a method of producing an optical waveguide by which an optical waveguide having high propagation characteristics of light can be easily produced without depending on the kinds of the supporting substrate. CONSTITUTION: A release improving film 12 formed by hardening a silicone oil and an optical waveguide 16 consisting of an epoxy resin are successively formed on a transparent substrate 11. The release improving film 12 improves the release property between the transparent substrate 11 and the optical waveguide 16, but has the adhesion property to a certain degree that prevents peeling from the transparent substrate 11 during the optical waveguide 16 is formed. Then a multilayered wiring board 17 is tightly adhered with an adhesive layer 18 consisting of a photosetting resin to the optical waveguide 16, and then irradiated with light L to harden the adhesive layer 18 to fix the multilayered wiring board 17 to the optical waveguide 16. When tensile stress is mechanically added to the transparent substrate 11, the transparent substrate 11 with the release improving film 12 is easily peeled from the optical waveguide 16, and the optical waveguide 16 is transferred onto the multilayered wiring board 17.
    • 目的:提供一种制造光波导的方法,通过该方法可以容易地制造具有高光传播特性的光波导,而不依赖于支撑基板的种类。 构成:通过使硅油硬化而形成的脱模改性膜12和由环氧树脂构成的光波导16依次形成在透明基板11上。脱模改性膜12提高了透明基板11与光波导之间的剥离性 16,但是具有一定程度的粘附性,防止在形成光波导16期间从透明基板11剥离。 然后,将多层布线基板17用由光固化树脂构成的粘合剂层18紧密粘合到光波导16上,然后用光L照射硬化粘合剂层18以将多层布线板17固定在光波导16上。 当向透明基板11机械地添加拉伸应力时,具有剥离改善膜12的透明基板11容易从光波导16剥离,并且光波导16被转印到多层布线基板17上。
    • 46. 发明授权
    • 브래그 거울의 식각을 실시간으로 감지하는 방법
    • 实时确定BRAGG反射器的消耗速率
    • KR100250453B1
    • 2000-04-01
    • KR1019970064811
    • 1997-11-29
    • 한국전자통신연구원
    • 이번백종협
    • H01L21/66
    • G02B5/1857G02B2006/12104G02B2006/12176
    • PURPOSE: A method for performing realtime monitoring for an etching process of a distributed Bragg reflector is provided to report information about an etching speed and an etching stop step by monitoring a wet-etching process when performing the wet-etching process. CONSTITUTION: A laser beam is irradiated to a sample(12) soaked in an etching solution. In the process for irradiating the laser beam, the laser beam is irradiated uniformly to a whole surface of the sample(12) by using a convex lens(14A,14B). The laser beam reflected from the sample(12) is inputted to a detector(13) by using the convex lens(14A,14B). A computer(17) connected with the detector(13) analyzes a periodical signal of the incident laser beam and senses an etching speed through the analysis for the signal.
    • 目的:提供一种用于对分布式布拉格反射器的蚀刻工艺进行实时监测的方法,用于通过在执行湿蚀刻工艺时监测湿法蚀刻工艺来报告关于蚀刻速度和蚀刻停止步骤的信息。 构成:将激光束照射到浸入蚀刻溶液中的样品(12)上。 在照射激光束的过程中,通过使用凸透镜(14A,14B)将激光束均匀地照射到样品(12)的整个表面。 从样品(12)反射的激光束通过使用凸透镜(14A,14B)输入检测器(13)。 与检测器(13)连接的计算机(17)分析入射激光束的周期信号,并通过对信号的分析来感测蚀刻速度。