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    • 42. 发明授权
    • 초미세 바늘 전극 제조 방법 및 장치
    • 制造超细针电极的方法与应用
    • KR100948705B1
    • 2010-03-22
    • KR1020070070602
    • 2007-07-13
    • 연세대학교 산학협력단
    • 민병권이상조정재원여강우
    • C25D11/04H01G9/04B82B3/00
    • 본 발명은 초미세 바늘 전극 제조 방법 및 장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 텅스텐 와이어에 인가되는 전류를 실시간으로 측정하여 그 전류치를 전기화학적 모델에 대입함으로써 현재 텅스텐 와이어의 에칭량을 예측하고 상기 에칭량을 기준으로 텅스텐 와이어의 담금깊이를 조절함으로써, 원하는 형상의 초미세 바늘 전극의 제조가 가능한 초미세 바늘 전극 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.
      이를 위해,
      (a) 텅스텐 와이어를 전해질 용액에 입수시키는 단계;
      (b) 상기 텅스텐 와이어에 (+) 전극을, 전해질 용액에 (-) 전극을 연결하여 전압을 인가하는 단계;
      (c) 상기 전해질 용액에 흐르는 전류값을 측정하는 단계;
      (d) 텅스텐 와이어의 반경을 예측하는 단계;
      (e) 텅스텐 와이어의 추출 길이를 계산하는 단계;
      (f) 상기 계산된 추출 길이만큼 텅스텐 와이어를 이동시키는 단계;
      (g) 상기 (c) 단계에서 측정된 전류값이 설정값보다 크거나 같아질 때까지 (c) 단계부터 (f) 단계까지 반복하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초미세 바늘 전극 제조 방법 및 장치를 제공한다.
      초미세 바늘 전극, 형상 정밀제어, 실시간, 텅스텐 와이어, 에칭, 전기화학적 모델.
    • 43. 发明公开
    • 형상개구를 이용한 집속 이온빔 가공장치와 이를 이용한가공방법
    • 使用开放特征的聚焦光束装置及其加工方法
    • KR1020100003532A
    • 2010-01-11
    • KR1020080063469
    • 2008-07-01
    • 연세대학교 산학협력단
    • 이상조민병권김연태김태곤
    • B23K15/08B23K15/00H01J37/30
    • PURPOSE: A collection ion beam machining apparatus using a shaped opening and a machining method using the same are provided to rapidly machine the specific shape by applying the specific shape to an energy beam. CONSTITUTION: A connecting ion beam machining apparatus using a shaped opening comprises an ion source unit(10), a shape opening section(20), and an ion beam collection unit(30). The shaped opening comprises a through hole(21) with the specified shape. The specific shape is applied to the ion beam formed in the ion source section by the through hole. The shaped opening is installed in the way that the ion beam passes. The ion beam collection unit collects the ion beam so that the ion beam passing the shaped opening keeps the specific shape and is reached to the machining surface of the object to be machined. Gas like argon gas, hydrogen gas, and helium gas is used in the ion source unit.
    • 目的:提供使用成形开口的采集离子束加工装置和使用其的加工方法,以通过将特定形状施加于能量束来快速加工特定形状。 构成:使用成形开口的连接离子束加工装置包括离子源单元(10),形状开口部(20)和离子束收集单元(30)。 成形开口包括具有指定形状的通孔(21)。 通过通孔将特定形状施加到形成在离子源部分中的离子束。 成形开口以离子束通过的方式安装。 离子束收集单元收集离子束,使得通过成形开口的离子束保持特定形状并到达待加工物体的加工表面。 气体如氩气,氢气和氦气用于离子源单元。
    • 45. 发明授权
    • 집속이온빔과 MRF를 이용한 나노 구조물의 제조방법
    • 使用聚焦离子束和磁流变流体制备纳米结构的方法
    • KR100788796B1
    • 2007-12-27
    • KR1020060114415
    • 2006-11-20
    • 연세대학교 산학협력단
    • 민병권이상조한진김욱배
    • H01L21/027B82Y40/00
    • B82B3/0014B82B3/0004
    • A method for manufacturing a nano structure using a focused ion beam and an MRF(Magneto-Rheological Fluid) is provided to reduce a manufacturing process procedure by performing two stage nano structure manufacturing processes. A focused ion beam is irradiated on a part of the surface of a test piece(2) to implant ion into an ion implantation portion(4) of the test piece during a first stage nano structure manufacturing structure. Mechanical and physical properties of the ion implantation portion increases than those of an ion non-implantation portion(6) where the ion implantation is not performed. A fine structure of the test piece is processed by using an MRF during a second stage nano structure manufacturing process.
    • 提供使用聚焦离子束和MRF(磁流变流体)制造纳米结构的方法,以通过进行两阶段纳米结构制造工艺来减少制造工艺过程。 在第一阶段纳米结构制造结构中,将聚焦离子束照射在测试片(2)的表面的一部分上以将离子注入到试片的离子注入部分(4)中。 离子注入部分的机械和物理性能比不进行离子注入的离子非注入部分(6)的机械和物理性质增加。 通过在第二阶段纳米结构制造工艺中使用MRF来处理试样的精细结构。
    • 48. 发明授权
    • 에너지 소비 효율 향상을 위한 가상 공작기계 시뮬레이션 모델 및 이를 이용한 공작기계 에너지 소비 효율 향상 방법
    • 用于提高能源效率的虚拟机工具模拟模型,以及使用其提高能量效率的方法
    • KR101515402B1
    • 2015-05-04
    • KR1020140101907
    • 2014-08-07
    • 연세대학교 산학협력단
    • 민병권이원균이찬영이상조
    • B23Q15/20G06F19/00B23Q17/00
    • 에너지소비효율향상을위한공작기계시뮬레이션모델및 이를이용한공작기계에너지소비효율향상방법이개시된다. 본발명의실시예에따른공작기계시뮬레이션모델(100)은, 기계가공공작기계를운용함에있어각 부분의에너지소비효율을예측하고, 이를바탕으로에너지소비효율을향상시킬수 있는최적화된가공조건을산출하는모듈화된공작기계시뮬레이션모델(100)로서, 제어부를통해전달받은제어신호에의해가공툴또는가공대상물을회전시키거나이송시키는구동부, 및구동부및 보조유닛에제어신호를송신하는제어부를구비하는피드드라이브시스템(feed drive systems, 110); 피드드라이브시스템(110)의구동부에의해구동되고, 가공툴을장착하여기계가공을수행할수 있도록구동모터및 베어링을구비하는스핀들(spindle, 120); 상기피드드라이브시스템(110) 및스핀들(120)의기계적마찰을저감시키는윤활장치부, 피드드라이브시스템(110) 및스핀들(120)을냉각시키는냉각장치부, 및공작기계시뮬레이션모델의전자장치를구비하는보조유닛(auxiliary units, 130);을포함하는것을구성의요지로한다.
    • 本发明涉及一种用于提高能量效率的虚拟机床仿真模型以及使用该虚拟机工具模拟模型提高能量效率的方法。 根据本发明实施例的虚拟机床仿真模型(100)是一种模块化的虚拟机仿真模型,其在运行机器时预测每个部件的能量消耗效率,并计算优化的制造术语以提高能量消耗效率,基于 预测效率。 该模型包括:具有驱动部件的进给驱动系统(110),其通过通过控制部接收到的控制信号来旋转或传送要处理的处理工具或待处理对象;以及控制部,其向控制部发送控制信号, 辅助单位 由所述进给驱动系统(110)的驱动部分驱动的主轴(120),并且具有驱动电机和轴承,以通过安装所述加工工具执行机械加工; 辅助单元(130),其具有减少进给驱动系统(110)和主轴(120)的机械摩擦的润滑装置,冷却进给驱动系统(110)和主轴(120)的冷却装置,以及 虚拟机工具仿真模型的电气设备。