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1. 发明公开

KR1020160054120A 자기유변유체 연마 장치 无效
标题翻译：使用磁流变流体的抛光装置
公开(公告)号：KR1020160054120A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：KR1020140152883
申请日：2014-11-05
申请人： 인하대학교 산학협력단
发明人： 조명우 , 하석재 , 이정원 , 조용규 , 김병찬 , 강이룩
IPC分类号： B24B57/02 , B24B1/00 , B24B9/08 , B24B57/04
CPC分类号： B24B57/02 , B24B1/005 , B24B9/08 , B24B9/10 , B24B13/00 , B24B31/00 , B24B37/00 , B24B57/04
摘要： 본발명은, 작업대상물지지부에의해지지되는글라스의에지(edge)를자기유변유체연마방식으로연마하는장치로서, 원통형상으로서측면둘레를따라연마홈이형성되는연마휠; 상기연마휠을회전동작시키는구동부; 상기지지부에의해지지되는상기글라스를좌우또는전후방향으로이동시켜상기연마휠의연마홈으로이송시키는이송부; 자기유변유체를상기연마홈상에일정한두께로공급하는유체공급부; 상기연마휠에자기장을형성시키는자기장형성부; 상기연마홈으로연마슬러리를공급하는연마슬러리공급부; 상기글라스의에지연마에사용된상기연마슬러리를회수하는연마슬러리회수부및 를포함하고, 상기글라스의에지는상기연마홈의내주면상에접촉하며연마가이루어지는자기유변유체연마장치를제공한다. 본발명은, 글라스의에지부위를자기유변유체방식으로연마할수 있고, 측면에연마홈이형성된연마휠을사용하여글라스의에지부위를자기유변유체방식으로연마하므로글라스의에자연마를위해연마공구의회전이나글래스의이송과정을필요로하지않는다.
摘要翻译：本发明提供了一种使用磁流变流体的抛光装置，以磁流变流体抛光方式抛光由工件支撑件支撑的玻璃的边缘，其包括：抛光轮，其形成为圆柱形并具有沿着一边的圆周旋转抛光轮的驱动单元; 传送单元将由支撑件支撑的玻璃沿左/右或前后方向移动以将玻璃转移到抛光轮的抛光槽; 流体供应单元，将磁流变流体供应到抛光槽，以将规则厚度的流体铺设在抛光槽上; 在所述研磨槽中形成磁场的磁场形成单元; 抛光浆料供给单元，将抛光浆料供给到研磨槽; 以及抛光浆料回收单元，其回收已经用于研磨玻璃边缘的抛光浆料，其中在接触抛光槽的内圆周表面的同时抛光玻璃的边缘。本发明可以通过使用在侧面上形成抛光槽的抛光轮以磁流变流体抛光方式抛光玻璃的边缘部分，从而不需要旋转抛光工具或转移用于抛光的玻璃玻璃边缘

2. 发明公开

KR1020100084778A 자기유변유체를 이용하는 곡면 연마방법 有权
标题翻译：使用磁流变流体的曲线研磨法和曲线网格装置
公开(公告)号：KR1020100084778A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：KR1020090004104
申请日：2009-01-19
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 민병권 , 이상조 , 석종원 , 김용재 , 장경인
IPC分类号： B24B13/00 , B24B29/02
CPC分类号： B24B1/005 , B24B13/00
摘要： PURPOSE: A curve grinding device and method using magneto-rheological fluid are provided to form a curved surface on a work piece regardless of the length and material of the work piece. CONSTITUTION: A grinder(1) for grinding a curved surface on a work piece comprises a cylindrical grinder body(10) and a housing(30). The grinder body is made of a magnet and rotates around a central axis. The housing accommodates the grinder body inside. A curved surface(31) receiving magneto-rheological fluid(40) is formed on the exterior of the housing.
摘要翻译：目的：提供使用磁流变流体的曲线研磨装置和方法，以在工件上形成弯曲表面，而与工件的长度和材料无关。构成：用于研磨工件上的曲面的研磨机（1）包括圆柱形研磨机主体（10）和壳体（30）。研磨机主体由磁铁制成，围绕中心轴旋转。外壳容纳研磨机体。接收磁流变流体（40）的曲面（31）形成在壳体的外部。

3. 发明公开

KR1020090009605A 다중 휠 타입 자기유변유체 연마장치 失效
标题翻译：使用磁流变流体的多轮式抛光装置
公开(公告)号：KR1020090009605A
公开(公告)日：2009-01-23
申请号：KR1020070073034
申请日：2007-07-20
申请人： 중앙대학교 산학협력단
发明人： 석종원 , 김필기 , 정봉수
IPC分类号： B24B1/00
CPC分类号： B24B1/005 , B24B27/0076 , B24B41/02 , B24B41/06
摘要： A multi wheel type polishing device using magneto-rheological fluid is provided to prevent magnetorheological fluid particles from being broken away from the magnetic material the centrifugal force. A multi wheel type polishing device using magneto-rheological fluid comprises a specimen settling frame(20) in which the specimen(10) is fixed to the inner surface; a plurality of polishing wheels(40) having the magnetism of being arranged inside the specimen settling frame; and magnetorheological fluid(30) magnetically adhered to the polishing wheel. The magnetorheological fluid magnetically adhered to the polishing wheel surface polishes specimen by rotating the specimen settling frame and the polishing wheel.
摘要翻译：提供使用磁流变流体的多轮式抛光装置，以防止磁流变流体颗粒从磁性材料离开离心力。使用磁流变流体的多轮式抛光装置包括样品沉降框架（20），其中样品（10）固定到内表面; 多个抛光轮（40），其具有布置在样品沉降框架内部的磁性; 和磁流体流体（30），磁力粘附到抛光轮上。磁性粘附到抛光轮表面的磁流变流体通过旋转样品沉降框架和抛光轮抛光样品。

4. 发明公开

KR1020070088209A 다이아몬드 입자에 의한 초경합금 자기연마방법 无效
标题翻译：磁流体研磨技术
公开(公告)号：KR1020070088209A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：KR1020060018525
申请日：2006-02-25
申请人： 창원대학교 산학협력단
发明人： 정운교
IPC分类号： B24B1/00 , B24D3/34
CPC分类号： B24B1/005 , B24B9/007
摘要： A magnetic fluid grinding method is provided to optimize the size of diamond grains used as abrasive grains and the composition ratio of abrasive grains and magnetic grains. A magnetic fluid grinding method is characterized in that a workpiece is cemented carbide and diamond grains are used as abrasive grains for grinding the workpiece. The size of diamond grains is #300 or greater, and the composition ratio of abrasive grains to magnetic grains is 45 to 55 weight%. The magnetic flux density is 0.2 to 0.6 Tesla, and grinding speed is 450 to 1650 rpm.
摘要翻译：提供磁流体研磨方法以优化用作磨料颗粒的金刚石颗粒的尺寸以及磨粒和磁性颗粒的组成比。磁流体研磨方法的特征在于，工件为硬质合金，金刚石晶粒用作研磨工件的磨粒。金刚石颗粒的尺寸为＃300或更大，磨粒与磁性颗粒的组成比为45至55重量％。磁通密度为0.2至0.6特斯拉，研磨速度为450至1650rpm。

5. 发明授权

KR100403059B1 결정성 자성유동 다듬질 방법 및 장치 失效
标题翻译： 결정성자성유동다듬질방법및장치
公开(公告)号：KR100403059B1
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：KR1019980702859
申请日：1996-10-11
申请人： 비엘로코프 사이언티픽 인코퍼레이티드 , 유니버시티 오브 로체스터
发明人： 쟈콥스스티븐데이비드 , 코르돈스키윌리암 , 프로코로프이고르빅토로비치 , 골리니도널드 , 고로드킨겐나디라파일로비치 , 스트라포드트바스타데이비드
IPC分类号： B24B31/112 , B82Y25/00
CPC分类号： B24B31/112 , B24B1/005 , B24B9/14 , H01F1/447
摘要： A method and apparatus for finishing a workpiece surface using MR fluid is provided wherein the workpiece is positioned near a carrier surface such that a converging gap is defined between a portion of the workpiece surface and the carrier surface; a magnetic field is applied substantially at said gap; a flow of stiffened MR fluid is introduced into said converging gap such that a work zone is created in the MR fluid to form a sub-aperture transient finishing tool for engaging and causing material removal at the portion of the workpiece surface; and the workpiece or the work zone is moved relative to the other to expose different portions of the workpiece surface to the work zone for predetermined time periods to selectively finish said portions of said workpiece surface to predetermined degrees.
摘要翻译：提供了一种使用MR流体精加工工件表面的方法和装置，其中工件定位在承载表面附近，使得会聚间隙限定在工件表面的一部分和承载表面之间; 基本上在所述间隙处施加磁场; 加强的MR流体流被引入所述会聚间隙中，使得在MR流体中形成工作区以形成子孔径瞬态精加工工具，用于在工件表面的该部分处接合和引起材料去除; 并且工件或工作区域相对于另一个移动以将工件表面的不同部分暴露于工作区域达预定时间段，以选择性地完成所述工件表面的所述部分至预定程度。

6. 发明公开

KR1020180079124A 초정밀 자기연마 마이크로 가공장치 有权
公开(公告)号：KR1020180079124A
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：KR1020160184569
申请日：2016-12-31
申请人： 전북대학교산학협력단
发明人： 문상돈
IPC分类号： B24B1/00 , B24B49/14 , B24B49/08
CPC分类号： B24B1/005 , B24B49/08 , B24B49/14
摘要： 본발명은초정밀자기연마마이크로가공장치에관한것으로서, 특히구조가단순하고재료의정경이매우작은가공품도초정밀한상태로효율적으로가공할수 있는초정밀자기연마마이크로가공장치에관한것으로서, 피가공물을고정하여고속으로회전시키는피가공물회전부와; 상기피가공물의일측과타측에각각배치되고, 간극에자성연마재가충전되며, 대향하는면의극성이다른제1 영구자석및 제2 영구자석을포함하는자기장형성부와; 상기피가공물회전부에의해고속회전하는피가공물을가열시키는가열부와; 상기피가공물회전부에의해고속회전하는피가공물을냉각시키는냉각부와; 상기자기장형성부를상기피가공물회전부의축 방향으로진동운동시키는전후진동부와; 상기피가공물회전부, 상기가열부, 상기냉각부및 상기전후진동부를제어하는제어부;를포함하는것을특징으로한다.

7. 发明公开

KR1020140052901A 글래스 기판의 제조 방법 및 글래스 기판 연마용 자성 유동체 审中-实审
标题翻译：玻璃基板制作方法及抛光玻璃基板用磁性液体
公开(公告)号：KR1020140052901A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020130127780
申请日：2013-10-25
申请人： 아반스트레이트 가부시키가이샤
发明人： 이따꾸라사또루 , 미스미다까라
IPC分类号： B24B9/10
CPC分类号： B24B9/10 , B24B1/005
摘要： The objective of the present invention is to polish an end surface of a glass substrate and to shorten time of the polishing process compared to a conventional process. In a polishing process to polish an end surface of a glass substrate, a rotating axis, a magnetic field forming unit configured with a magnet and including a first member and a second member that are disposed with a distance therebetween in an axial direction of the rotation axis and rotate together with the rotation axis, and a polishing wheel configured with abrasive grains and liquid and including a magnetic fluid held and supported by a magnetic field formed between the first member and the second member, are used. In the polishing process, the concentration of the abrasive grains in the magnetic fluid is controlled to be greater than or equal to 70%, the magnetic fluid is contacted with the end surface of the glass substrate while the rotation axis rotates, and the polishing wheel is moved relative to the glass substrate along an end edge of the glass substrate being polished.
摘要翻译：本发明的目的是抛光玻璃基板的端面并缩短与常规工艺相比的抛光工艺的时间。在研磨玻璃基板的端面的抛光工序中，旋转轴，具有磁铁的磁场形成单元，其包括第一部件和第二部件，该第一部件和第二部件沿着旋转轴的方向与其间隔一段距离轴与旋转轴一起旋转，并且配置有磨粒和液体并包括由在第一构件和第二构件之间形成的磁场保持和支撑的磁性流体的抛光轮。在抛光过程中，磁性流体中磨粒的浓度被控制在大于或等于70％，磁性流体在旋转轴旋转时与玻璃基板的端面接触，抛光轮沿着被抛光的玻璃基板的端缘相对于玻璃基板移动。

8. 发明公开

KR1020130130739A 기판의 자기유변 피니싱 시스템 审中-实审
标题翻译：基底磁体组织系统
公开(公告)号：KR1020130130739A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020137015221
申请日：2011-12-20
申请人： 퀘드 테크놀러지즈 인터내셔날, 인크.
发明人： 코르돈스키윌리엄 , 고로드킨세르게이 , 세케레스아르파드
IPC分类号： B24B37/00 , B24B37/34
CPC分类号： B24B31/112 , B24B1/005
摘要： 본 발명은 기판의 자기유변 피니싱을 위한 시스템에 관한 것이다. 통합형 유체 관리 모듈(IFMM)은 종래의 MR 피니싱 장치의 MR 유체의 유동유체 특성의 동적 제어를 제공하고 유체를 휠로 분산시킨다. MR 유체로 충전된 자기적으로 차폐된 챔버는 캐리어 휠과 접촉된다. 횡방향 라인은, 리본이 가공 구역을 떠날 때 사용을 마친 MR 유체를 휠로부터 제거한다. 보충 유체는 드리퍼를 통해 챔버로 첨가되며, 바람직하게는 전기 믹서로 챔버 내의 MR 유체를 교반시킨다. 챔버의 출구에 설치된 홈형상의 자기적으로 차폐된 인서트는, 휠이 회전될 때 캐리어 휠 상에 폴리싱 리본을 형성한다. 자성 입자들의 농도를 감지하는 센서는 MR 유체 특성을 제어하기 위한 신호, 특히 MR 유체 중의 물 함량을 제어하기 위한 신호를 제공한다. 챔버 내의 유체를 냉각시키기 위한 수단이 제공된다.

9. 发明授权

KR101107837B1 기판 표면에 대해 차분 제거율을 적용하는 방법 및 장치 有权
标题翻译：将差分去除率应用到基板表面的方法和装置
公开(公告)号：KR101107837B1
公开(公告)日：2012-02-09
申请号：KR1020047021028
申请日：2003-06-23
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 곳키스예힐 , 키슬러로드니 , 오짜르알렉산더 , 헴커데이빗 , 브라이트니콜라스제이
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B24B1/005 , B24B37/013 , B24B49/105 , B24B57/02 , H01L21/67253
摘要： 반도체 프로세싱 시스템이 제공된다. 본 시스템은 기판 표면 상에 배치된 막의 두께를 나타내는 신호를 검출하도록 구성된 센서를 포함한다. 연마 패드 표면으로 제1 유체를 공급하도록 구성된 제1 노즐이 포함된다. 또한 이 제1 노즐로부터의 상류에 위치한 유체 제한 장치가 제공된다. 유체 제한 장치는 연마 패드 표면 위에 슬러리를 고르게 분포시키도록 구성된다. 이 유체 제한 장치로부터의 상류에 위치한 제2 노즐이 포함된다. 제 2 노즐은 고르게 분포된 슬러리에 제2 유체를 공급하도록 구성된다. 기판의 표면에 차분 제거율을 적용하기 위한 CMP 시스템 및 방법이 또한 제공된다.
차분 제거율, 평탄화, CMP 시스템, 기판, 반도체, 막 두께, 노즐, 유체 제한 장치, 연마 패드.

10. 发明公开

KR1020090059202A 자기연마장치 无效
标题翻译：磁辅助抛光装置
公开(公告)号：KR1020090059202A
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：KR1020070125916
申请日：2007-12-06
申请人： 익산대학산학협력단
发明人： 문상돈
IPC分类号： B24B1/00 , B24B5/06
CPC分类号： B24B1/005 , B24B5/08
摘要： A magnetism polishing device is provided to prevent an inner side of an object to be polished from being shaken while polishing by rotating the abrasive along a magnetic force generation unit. A magnetism polishing device comprises: a magnetic force generation unit(10) generating the magnetic force; a rotating unit(30) rotating the magnetic force generation unit in the state where the magnetic force generation unit is inserted into the inner side of an object need to be polished(5);an abrasive formed in the magnetic force generation unit; and a permanent magnet(70) in which the object is fixed in the inside. The abrasive polishes the inner side of the object by rotating along the magnetic force generation unit. The inner side and outer side of the permanent magnet are different. The permanent magnet generates the attraction between the inner side of the object and the magnetic force generation unit. The height of a magnetic pole of the magnetic force generation unit is higher than the inner side of the object.
摘要翻译：提供一种磁性抛光装置，用于通过沿着磁力产生单元旋转磨料来防止抛光物体的内侧被抛光。磁性抛光装置包括：产生磁力的磁力产生单元（10）; 在磁力产生单元插入到物体的内侧的状态下使磁力产生单元旋转的旋转单元（30）需要被抛光（5）;形成在磁力产生单元中的磨料; 和固定在内部的永磁体（70）。研磨剂通过沿着磁力产生单元旋转来抛光物体的内侧。永磁体的内侧和外侧是不同的。永磁体在物体的内侧和磁力产生单元之间产生吸引力。磁力产生单元的磁极的高度高于物体的内侧。

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