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41. 发明授权

KR101259611B1 엘씨디 기판 제조용 오븐챔버의 업다운장치 有权
标题翻译：用于制造LCD基板的烤箱室的上下装置
公开(公告)号：KR101259611B1
公开(公告)日：2013-05-13
申请号：KR1020110034303
申请日：2011-04-13
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 정준영 , 신원섭
IPC分类号： G02F1/13 , H01L21/02
摘要： 엘씨디기판제조용오븐챔버의업다운장치를제공한다. 본발명은감광막이코팅된유리기판을가열하도록열을발생시키는하부가열부재를저면에구비하며, 상기유리기판이장입배치되는챔버내부의천정면을형성하도록챔버내부의개방된상부를밀폐하는상부덮개를갖는오븐챔버에서상기유리기판을승하강시키는업다운장치에있어서, 상기유리기판의하부면에상단이접하여유리기판을지지하도록상기하부가열부재에관통형성된핀공으로삽입되는승하강핀 ; 상기승하강핀이삽입되어안내되고상기승하강핀의외부면과일정간격을두고이격되는내부면을갖는상부안내공을관통형성하여상기하부가열부재의하부면에구비되는상부가이더 ; 상기승하강핀의외부면과내부면이접하는하부지지공을관통형성하여상기상부가이더의하부단에조립되는하부홀더 ;를포함한다.

42. 发明公开

KR1020130029259A 유리 기판 지지용 근접핀 有权
标题翻译：支持玻璃板的附件PIN
公开(公告)号：KR1020130029259A
公开(公告)日：2013-03-22
申请号：KR1020110092570
申请日：2011-09-14
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 정준영 , 신원섭
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/68 , H01L21/67 , G02F1/13
摘要： PURPOSE: A proximity pin for supporting a glass plate is provided to prevent damage by fixing the proximity pin to the mounting hole of a hot plate. CONSTITUTION: A body portion(110) supports the lower surface of a glass substrate. A fixing unit includes protrusions. A contraction part(150) includes a cutting hole for penetrating a pillar. A mounting hole(170) includes a first hole and a second hole.
摘要翻译：目的：提供用于支撑玻璃板的接近销，以通过将接近销固定到热板的安装孔来防止损坏。构成：主体部分（110）支撑玻璃基板的下表面。固定单元包括突起。收缩部分（150）包括用于穿透柱的切割孔。安装孔（170）包括第一孔和第二孔。

43. 发明公开

KR1020120116698A 엘씨디 기판 제조용 오븐챔버의 업다운장치 有权
标题翻译：用于制造LCD基板的烤箱的上下装置
公开(公告)号：KR1020120116698A
公开(公告)日：2012-10-23
申请号：KR1020110034303
申请日：2011-04-13
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 정준영 , 신원섭
IPC分类号： G02F1/13 , H01L21/02
CPC分类号： G02F1/1313 , B65G49/061 , G02F1/1303 , H01L21/02
摘要： PURPOSE: An up-down device of an oven chamber for manufacturing an LCD(Liquid Crystal Display) substrate is provided to fundamentally prevent particles from being inserted into the oven chamber where a glass substrate is arranged. CONSTITUTION: An upper guide hole penetrates an upper guider(120). The upper guide hole has an inner surface. The upper guide hole is separated from the outer surface of an elevation pin. The upper guider is formed on a lower surface of a lower heating member. A lower support hole penetrates a lower holder(130). The outer surface and the inner surface of the elevation pin contact the lower support hole. The lower holder is coupled with a lower end of the upper guider.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造LCD（液晶显示器）基板的烤箱室的上下装置，从根本上防止将颗粒插入设置玻璃基板的烘箱室中。构成：上导向孔穿过上导板（120）。上导向孔具有内表面。上引导孔与升降销的外表面分离。上导向件形成在下加热构件的下表面上。下支撑孔穿过下支架（130）。升降销的外表面和内表面接触下支撑孔。下支架与上导板的下端连接。

44. 发明公开

KR1020120092861A 기판 인식형 디지털 노광 장치 및 그에 의한 노광 방법 有权
标题翻译：用于可识别基材的数字曝光装置及其曝光方法
公开(公告)号：KR1020120092861A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：KR1020110012748
申请日：2011-02-14
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 송요탁 , 위창현 , 서현우 , 김태준 , 안효찬
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/2008 , G03F7/2063 , G03F7/70491 , H01L21/0275
摘要： PURPOSE: A substrate recognizing type digital exposure device and an exposure method are provided to irradiate small sized substrates with ultraviolet rays based on digital data by transmitting the digital data based on codes on the substrates. CONSTITUTION: A digital exposure device(100) includes a vision camera part(110), a CAD data extracting part(120), a CAD data transmitting part(130), and a digital micro mirror part(140). The vision camera part detects recognition codes on small sized substrates and identify exposure patterns to detect a plurality of align marks. The CAD data extracting part extracts CAD data matched to the identified exposure patterns and converts the CAD data into digital data. The CAD data transmitting part receives and transmits the digital data. The digital micro mirror part reflects ultraviolet rays based on the digital data and exposes the substrates.
摘要翻译：目的：提供基板识别型数字曝光装置和曝光方法，通过基于基板上的代码发送数字数据，基于数字数据对紫外线照射小尺寸基板。构成：数字曝光装置（100）包括视觉摄像机部分（110），CAD数据提取部分（120），CAD数据发送部分（130）和数字微镜部分（140）。视觉摄像机部件检测小尺寸基板上的识别码并识别曝光图案以检测多个对准标记。 CAD数据提取部分提取与识别的曝光图案相匹配的CAD数据，并将CAD数据转换为数字数据。 CAD数据发送部接收并发送数字数据。数字微镜部分基于数字数据反射紫外线并曝光基板。

45. 发明授权

KR101135547B1 베이킹 장치 有权
标题翻译：烘焙设备
公开(公告)号：KR101135547B1
公开(公告)日：2012-04-17
申请号：KR1020090090033
申请日：2009-09-23
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 정준영
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 디스플레이소자 또는 반도체소자 제조용 기판에 대한 베이킹 공정을 수행하도록 상기 기판이 위치되는 베이킹 챔버, 상기 베이킹 챔버 내부로 열풍을 공급하는 공급관, 및 상기 베이킹 챔버 내부의 기체를 외부로 배출하는 배기관을 포함하여 이루어지는 베이킹 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 베이킹 장치는, 상기 공급관과 상기 배기관을 연결하는 바이패스관; 상기 공급관과 상기 바이패스관의 연결부분에 구비되어, 상기 열풍이 선택적으로 상기 베이킹 챔버 내부 또는 상기 바이패스관으로 공급되도록 상기 열풍의 공급 방향을 조절하는 밸브; 및 내부에 원형의 단면을 갖는 이송홀이 형성되는 몸체, 상기 몸체의 일측으로 상기 이송홀의 내주면이 연장되도록 돌출 형성되고 측부에 하나 이상의 통풍구가 형성된 차단부, 및 상기 이송홀 내부에 설치되어 상기 이송홀을 따라 상기 차단부 측으로 이송 또는 회전되면서 상기 통풍구를 선택적으로 폐쇄시키거나 소정의 비율로 개방시키는 조절부를 포함하고, 상기 배기관에 설치되는 배기량 조절기;를 포함한다.
본 발명에 의하면, 베이킹 챔버 내부로부터 배기관을 통해 배출되는 기체의 유량을 조절할 수 있어 필요에 따라 베이킹 작업 중에도 배기관을 통해 베이킹 챔버 내부의 기체를 배출시킬 수 있으므로 베이킹 장치의 베이킹 공정 효율을 제고할 수 있고, 공급관을 통해 공급되는 열풍을 선택적으로 배기관으로 바이패스할 수 있도록 바이패스관이 구비되어 베이킹 챔버 내부에서의 베이킹 공정 수행 여부와 관 계없이 공급관을 통해 열풍이 연속적으로 공급되어도 무방하므로 열풍 공급 중단 및 재공급을 위한 시간을 절감할 수 있다.
베이킹 장치, 기판, 배기량 조절기, 바이패스

46. 发明授权

KR101047295B1 엘씨디 기판 제조용 오븐장치 有权
公开(公告)号：KR101047295B1
公开(公告)日：2011-07-07
申请号：KR1020090070801
申请日：2009-07-31
申请人： 주식회사 코디엠
发明人： 정준영 , 신원섭
IPC分类号： G02F1/13 , H05B3/20
摘要： 엘씨디 기판 제조용 오븐장치를 제공한다.
본 발명은 감광막이 코팅된 유리기판을 가열하여 코팅된 감광막을 경화시키는 오븐장치에 있어서, 상기 유리기판이 장입되는 출입구를 개폐시키는 셔터를 일측면에 구비하고, 상기 유리기판을 가열하도록 열을 발생시키는 하부가열부재를 저면에 구비하며, 상기 유리기판이 장입배치되는 챔버내부의 천정면을 형성하도록 챔버내부의 개방된 상부를 밀폐하는 상부덮개를 갖는 오븐챔버를 포함하고, 상기 유리기판과 마주하는 상부덮개의 천정면 온도가 챔버내부의 분위기 온도와 상기 하부가열부재에서 발생되는 온도와의 사이에 유지되도록 상기 상부덮개의 몸체내부에 열을 발생시키는 상부발열부재를 구비한다.
오븐챔버, 감광막, 유리기판, 셔터, 하부가열부재, 상부발열부재, 흄가스

47. 发明授权

KR100870028B1 노광장치용 광축확인기 및 이를 구비한 노광장치 有权
标题翻译：用于曝光装置的光轴识别装置及其曝光装置
公开(公告)号：KR100870028B1
公开(公告)日：2008-11-21
申请号：KR1020070026695
申请日：2007-03-19
申请人： 주식회사 코디엠 , 이우영 , 진경복 , 김종원
发明人： 강흥석 , 위창현 , 이우영 , 진경복 , 김종원
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 본 발명은 노광장치용 광축확인기에 관한 것으로서, 광원으로부터 점광을 전달받을 수 있도록 구비된 미세홀이 형성되어 있는 하우징, 상기 미세홀을 통해 도입된 빛을 굴절시켜 일정한 초점으로 모으는 하나 이상의 렌즈, 및 광축을 확인할 수 있도록 기준표시부가 구비되고 상기 렌즈에 의해 굴절된 빛에 의한 상이 맺히는 스크린을 포함하되, 상기 하나 이상의 렌즈는, 중심에서 십자모양으로 교차하는 한 쌍의 슬릿이 각각 형성되고, 상기 한 쌍의 슬릿을 통해서만 빛이 통과될 수 있도록 구비된다.
본 발명의 노광장치용 광축확인기에 의하면, 노광장치의 광축을 육안으로 쉽게 확인할 수 있다. 또한 본 발명의 노광장치용 광축확인기는 저렴한 비용으로 구현될 수 있고, 기존의 저가형 광축확인기에 비해 정확하게 광원의 광축을 확인할 수 있다.
노광장치, 노광기, 광축 확인장치, 광축확인기, 광축

48. 发明公开

KR1020080085341A 노광장치용 광축확인기 및 이를 구비한 노광장치 有权
标题翻译：用于曝光装置和曝光装置的光轴鉴定装置
公开(公告)号：KR1020080085341A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：KR1020070026695
申请日：2007-03-19
申请人： 주식회사 코디엠 , 이우영 , 진경복 , 김종원
发明人： 강흥석 , 위창현 , 이우영 , 진경복 , 김종원
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70275 , G03F7/2014 , G03F7/70058 , G03F7/70216 , G03F7/7025 , G03F7/70558
摘要： An optical axis identifying apparatus for an exposure device is provided to be embodied at a low cost by using a few mirrors and lenses, and to identify the exact position of a light source by identifying an optical axis with the naked eye. An optical axis identifying apparatus for an exposure device includes: a housing(310) which has a fine hole(311) provided to receive a point light from a light source; at least one lens(300) which refracts and focuses a light introduced through the fine hole; and a screen(340) which has a reference display part(341) so as to identify an optical axis, and on which an image is projected by the light refracted by the lens.
摘要翻译：提供了一种用于曝光装置的光轴识别装置，通过使用几个反射镜和透镜以低成本实现，并且通过用肉眼识别光轴来识别光源的确切位置。用于曝光装置的光轴识别装置包括：具有设置成接收来自光源的点光的细孔（311）的壳体（310）至少一个透镜（300），其折射并聚焦通过所述细孔引入的光; 以及屏幕（340），其具有用于识别光轴的参考显示部分（341），并且由透镜折射的光在其上投影图像。

49. 实用新型

KR200441118Y1 액정표시장치 스토커용 피복바퀴 및 이를 구비하는액정표시장치용 스토커 失效
标题翻译：一种液晶显示装置用储料器涂敷轮和具有该涂敷轮的液晶显示装置用储料器
公开(公告)号：KR200441118Y1
公开(公告)日：2008-07-28
申请号：KR2020060032084
申请日：2006-12-19
申请人： 주식회사 코디엠 , 김호종 , 허용정 , 오재준 , 허준 , 김광선
发明人： 김호종 , 허용정 , 오재준 , 허준 , 김광선 , 지이권
IPC分类号： B60B33/00 , G02F1/13
摘要： 액정표시장치용 스토커가 제공된다.
본 고안에 따른 액정표시장치용 스토커는 스토커 크레인과, 상기 스토커 크레인을 따라 승강하는 승강장치와, 상기 승강장치에 좌우이동 및 좌우회전 가능하게 지지되어 선반에 카세트를 반입하거나 선반으로부터 카세트를 반출하는 아암과 상기 스토커 크레인의 하단 사방에 설치되어 레일을 따라 주행하는 다수개의 피복바퀴를 포함하며 상기 피복바퀴는 외주면에 폭방향에 대하여 소정의 간격으로 형성되는 다수의 원주방향 그루브를 구비하는 금속휠과; 상기 각 원주방향 그루브에 끼워져 상기 금속휠의 외주면으로부터 소정의 단차만큼 돌출되는 다수의 탄성재 피복;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하기 때문에, 정지 및 주행시의 무게를 충분히 견디면서, 주행마찰력을 확보하고, 플랫 스폿(Flat-Spot) 상태에서도 카세트의 반입, 반출 등의 오류를 방지하는 효과가 있다.
摘要翻译：提供了一种用于液晶显示装置的储料器。

50. 发明授权

KR100847520B1 기판의 엣지노광장치 有权
标题翻译：用于边缘边缘的接触装置
公开(公告)号：KR100847520B1
公开(公告)日：2008-07-22
申请号：KR1020070026691
申请日：2007-03-19
申请人： 주식회사 코디엠 , 김재순
发明人： 강흥석 , 이경규 , 김재순
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/2028 , G03F7/70016
摘要： An exposure apparatus for edge of a substrate is provided to expose both edge parts of the substrate easily by forming two linear light source regions with one lamp. A chamber(100) includes a reflective plate(120) for reflecting light of a lamp(110). A cooling chamber maintains constant temperature by suppressing a temperature increase due to the lamp and the reflective plate. A pair of first reflective mirrors(310a,310b) are installed on the left side of the cooling chamber in order to reflect the light of the reflective plate to both sides thereof. A pair of second reflective mirrors(320a,320b) are formed to reflect the light of the first reflective mirrors to the lower side. A pair of lenses(330a,330b) are formed to condense the light of the second reflective mirrors. A light source control unit(350) is installed on the lower side of the lenses in order to control the condensed light region and to irradiate the light to edge of a substrate. The lamp is a linear lamp having a shape of bar installed in a longitudinal direction.
摘要翻译：提供一种用于基板边缘的曝光装置，通过用一个灯形成两个线性光源区域，容易地露出基板的两个边缘部分。室（100）包括用于反射灯（110）的光的反射板（120）。通过抑制由于灯和反射板引起的温度上升，冷却室保持恒定的温度。一对第一反射镜（310a，310b）安装在冷却室的左侧，以将反射板的光反射到其两侧。形成一对第二反射镜（320a，320b）以将第一反射镜的光反射到下侧。形成一对透镜（330a，330b）以冷凝第二反射镜的光。光源控制单元（350）安装在透镜的下侧，以便控制聚光区域并将光照射到基板的边缘。该灯是沿长度方向安装的条状的线状灯。

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