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41. 实用新型

KR200415562Y1 공정챔버의 도어개폐장치 失效
标题翻译：用于打开和关闭用于半导体处理室的门的装置
公开(公告)号：KR200415562Y1
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：KR2020060003980
申请日：2006-02-13
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 정승배 , 최형섭
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67772 , E05F1/14 , E05F15/614
摘要： 본 고안은 반도체 제조 공정챔버의 플랜지에 회동 가능하게 설치되어 상측 입구를 개폐하는 도어의 개폐장치에 관한 것으로서, 상기 플랜지의 힌지결합부에 회전가능하게 설치된 유성기어부재와, 상기 유성기어부재의 회전축 일단에 고정된 고정지지축과, 상기 유성기어부재의 회전축 타단에 회전 가능하게 설치된 유동지지축과, 상기 고정지지축에 고정결합된 고정아암과, 상기 유동지지축에 베어링을 매개로 회전 가능하게 지지된 유동아암과, 상기 유동지지축에 상기 유동아암을 사이에 두고 고정결합된 구동부재를 포함하여, 공정챔버 도어의 개폐작동을 수행할 수 있음과 더불어, 폐쇄작동 또한 유성기어부재에 의해 용이하게 추가 가압 폐쇄할 수 있도록 함으로써, 보다 신속하고도 정확한 개폐작동이 이루어질 수 있도록 함으로써, 반도체 기판을 비롯한 각종 처리 대상물의 제조 수율을 증대할 수 있도록 하였다.

42. 发明授权

KR102088748B1 진공주행로봇 파티클 차단 챔버 有权
公开(公告)号：KR102088748B1
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：KR1020190129896
申请日：2019-10-18
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 박세운 , 김은식 , 권도건 , 박철수
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677

43. 发明授权

KR102083605B1 필터교체가 용이한 팬 필터 유닛 有权
公开(公告)号：KR102083605B1
公开(公告)日：2020-03-02
申请号：KR1020190105573
申请日：2019-08-28
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 박세운 , 전성현 , 신동현
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , F24F3/16 , F24F13/28

44. 发明公开

KR1020180002551A 웨이퍼처리장치의 로봇교체용 탈착식 크레인 有权
公开(公告)号：KR1020180002551A
公开(公告)日：2018-01-08
申请号：KR1020170111954
申请日：2017-09-01
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 박세운 , 김성백 , 최형섭
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/67706 , H01L21/67709 , H01L21/67733
摘要： 본발명은웨이퍼를다양한공정별로처리하는웨이퍼처리장치의상부에서웨이퍼처리장치내부의구성품을교체및 수리를위해구성품을이동시킬수 있도록장착되는웨이퍼처리장치의로봇교체용탈착식크레인에관한것으로, 더욱상세하게는웨이퍼이송모듈의주위로복수의단위모듈이구비되는웨이퍼처리장치에서, 상기복수의단위모듈이서로마주하는방향으로상기웨이퍼이송모듈의상부에구비되는한 쌍의레일; 상기마주하는단위모듈사이를왕복이동가능하게상기각 레일의하단에장착되는무빙플레이트; 상기무빙플레이트의중앙부에설치되어상기무빙플레이트의수직방향을기준으로회전되는회전블록; 일단이상기회전블록에장착되어폴딩/언폴딩가능하도록적어도 2 이상의힌지수단으로서로연결되는복수의아암유닛으로이루어진아암부; 상기아암부의끝단에서와이어가구비된윈치가회전구동됨으로써상기웨이퍼이송모듈에접근하는방향으로상기와이어를승하강가능하게마련되는리프트부; 를포함하여이루어짐으로서, 웨이퍼처리장치의내부에고립된주요구성품을손쉽게분리하여고체및 수리가용이하며, 웨이퍼처리장치의상부에설치된크레인의폴딩구조를통해용이하게웨이퍼처리장치의외부로구성품을반출할수 있는이점을가질수 있는웨이퍼처리장치의로봇교체용탈착식크레인에관한것이다.

45. 发明授权

KR101776166B1 EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비 有权
公开(公告)号：KR101776166B1
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：KR1020170047125
申请日：2017-04-12
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 조영일
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67706 , H01L21/67712 , H01L21/67757
摘要： 본발명은 EFEM 제조공정방법및 EFEM 제조공정설비에관한것이다. 여기서, EFEM 제조공정방법은제1승강부에서복수개의부재를연결하며 EFEM(Equipment Front End Module)의프레임을조립하는 (A)단계, 복수개의상부작업대가설치된상부작업모듈로프레임을진입시켜프레임의상부에복수개의전기장치를설치하는 (B)단계, 프레임을제2승강부로이동시키고제2승강부의높낮이를조절하며프레임의하부에복수개의전기장치를설치하는 (C)단계, 부재의조립상태를확인하고, 프레임에설치된전기장치를검사하는 (D)단계를포함한다. 또한, EFEM 제조공정설비는바닥면과수직한방향으로상하이동하는제1승강부, 내부에적어도하나의족장부를포함하는복수개의상부작업대가바닥면에설치된레일부를중심으로서로마주보게설치된상부작업모듈, 바닥면과수직한방향으로상하이동하는제2승강부를포함한다.

46. 发明授权

KR101758213B1 가스 노즐플레이트를 구비한 사이드 스토리지 有权
公开(公告)号：KR101758213B1
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：KR1020150136689
申请日：2015-09-25
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 박세운 , 김은식
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
摘要： 본발명은가스노즐플레이트를구비한사이드스토리지에있어서, 웨이퍼를이송하는웨이퍼이송로봇이본체내부에형성된웨이퍼처리장치의양 측면에형성되고, 하나이상의웨이퍼가적재되며상기웨이퍼이송로봇을통해적재된웨이퍼가이송되는사이드스토리지에있어서, 복수개의웨이퍼가적재되는웨이퍼적재선반이내부에형성되고, 상기웨이퍼적재선반에웨이퍼가인입될수 있도록전면이개방된웨이퍼스토리지; 및불활성가스를공급하는불활성가스공급관이연결되도록하나이상의공급포트가형성된노즐커버, 다수의분사공이형성된노즐플레이트및 상기노즐커버와상기노즐플레이트의사이에위치하여상기노즐커버와상기노즐플레이트의이격된사이를밀폐시키고각 공급포트마다일정공간을구획하는격벽을포함하는플로우가이드를포함하며웨이퍼스토리지의후면에형성되어웨이퍼스토리지의후면에서전면방향으로불활성가스를분사하는불활성가스분사부;를포함하는것을특징으로하는가스노즐플레이트를구비한사이드스토리지에관한것이다. 본발명에따르면, 상세하게는웨이퍼스토리지의후면에설치된불활성가스공급부에서상기웨이퍼스토리지의전면으로불활성가스를블로잉하여웨이퍼표면의공정가스및 흄등과같은이물질을제거하여웨이퍼불량률을감소시키는것을특징으로하는가스노즐플레이트를구비한사이드스토리지를제공할수 있다.

47. 发明公开

KR1020170037293A 가스 노즐플레이트를 구비한 사이드 스토리지 有权
标题翻译：带气体喷嘴板的侧面储存
公开(公告)号：KR1020170037293A
公开(公告)日：2017-04-04
申请号：KR1020150136689
申请日：2015-09-25
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 박세운 , 김은식
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67
摘要： 본발명은가스노즐플레이트를구비한사이드스토리지에있어서, 웨이퍼를이송하는웨이퍼이송로봇이본체내부에형성된웨이퍼처리장치의양 측면에형성되고, 하나이상의웨이퍼가적재되며상기웨이퍼이송로봇을통해적재된웨이퍼가이송되는사이드스토리지에있어서, 복수개의웨이퍼가적재되는웨이퍼적재선반이내부에형성되고, 상기웨이퍼적재선반에웨이퍼가인입될수 있도록전면이개방된웨이퍼스토리지; 및불활성가스를공급하는불활성가스공급관이연결되도록하나이상의공급포트가형성된노즐커버, 다수의분사공이형성된노즐플레이트및 상기노즐커버와상기노즐플레이트의사이에위치하여상기노즐커버와상기노즐플레이트의이격된사이를밀폐시키고각 공급포트마다일정공간을구획하는격벽을포함하는플로우가이드를포함하며웨이퍼스토리지의후면에형성되어웨이퍼스토리지의후면에서전면방향으로불활성가스를분사하는불활성가스분사부;를포함하는것을특징으로하는가스노즐플레이트를구비한사이드스토리지에관한것이다. 본발명에따르면, 상세하게는웨이퍼스토리지의후면에설치된불활성가스공급부에서상기웨이퍼스토리지의전면으로불활성가스를블로잉하여웨이퍼표면의공정가스및 흄등과같은이물질을제거하여웨이퍼불량률을감소시키는것을특징으로하는가스노즐플레이트를구비한사이드스토리지를제공할수 있다.
摘要翻译：另外，本发明根据存储的一侧设有气体喷嘴板中，在形成于主体上的晶片处理装置的两侧形成在晶片输送机械手输送晶片，至少一个晶片台经由晶片传送机械手装晶片被转移到其上的侧面存储器，晶片存储架具有堆叠在其上的多个晶片，晶片被打开以将晶片打开到晶片加载架中; 和设置在所述惰性气体供应管之间的喷嘴盖被连接到使喷嘴盖的至少一个供给口形成，喷嘴孔的多个注射成形板和所述喷嘴盖和用于供给惰性气体的喷嘴板和喷嘴板的分离包括;将惰性气体注入到之间进行密封，并且每个供应端口包括具有划分预定空间的分隔壁的流引导件，在晶片存储的后表面上形成喷射朝向所述惰性气体从晶片存储背面的正面到气体喷嘴板的侧表面。根据本发明，特别是在安装在晶片存储其特征在于，用于降低晶片缺陷率通过吹入惰性气体到晶片存储的前表面，以除去杂质，例如工艺气体和晶片表面的烟气的背面的惰性气体供给部可以提供具有气体喷嘴板的气体喷嘴板。

48. 发明授权

KR101432137B1 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치 有权
标题翻译：省略
公开(公告)号：KR101432137B1
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：KR1020130032626
申请日：2013-03-27
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 조수연
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/681
摘要： A mapping device maps the presence or location of multiple wafers and is installed on a port door moving up and down in order to close or open a storing port for storing and transferring wafers to transfer the wafers. The present invention relates to a mapping device with an integrated mapping bar which detects the presence and location of wafers. The mapping device comprises a mapping sensor including a transmitter and a receiver; a mapping bar in which the transmitter and the receiver of the mapping sensor are placed at both ends, respectively, to face each other; one or more transport members installed on the mapping bar to be able to rotate; a first cylinder rotating the transport member; and a joining unit to which the transport member and the first cylinder are fixed to be able to rotate and which is combined with the port door. Accordingly, provided is a mapping device with an integrated mapping bar detecting the presence and location of wafers, wherein the mapping sensor is integrated with and fixed to the mapping bar in order for the transmitter and the receiver to face each other in symmetry and rotate the transmitter and the receiver based on the forward and backward movement of the first cylinder.
摘要翻译：映射设备映射多个晶片的存在或位置，并且安装在上下移动的端口门上，以便关闭或打开用于存储和传送晶片以转移晶片的存储端口。本发明涉及具有检测晶片的存在和位置的集成映射条的映射装置。映射设备包括：映射传感器，包括发射机和接收机; 映射传感器的发送器和接收器分别放置在两端的映射条，以彼此面对; 安装在映射栏上的能够旋转的一个或多个传输构件; 旋转所述输送构件的第一缸; 以及接合单元，所述输送构件和所述第一缸被固定成能够旋转并与所述端口门组合。因此，提供了具有检测晶片的存在和位置的集成映射条的映射装置，其中映射传感器与映射条集成并固定到映射条，以使发射器和接收器对称地对准，并且旋转发射器和接收器基于第一气缸的向前和向后运动。

49. 发明授权

KR101395043B1 외벽에 챔버의 내부를 촬영하는 카메라가 부착된 트랜스퍼챔버 有权
标题翻译：相机胶粘剂转移室
公开(公告)号：KR101395043B1
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：KR1020120153282
申请日：2012-12-26
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 박세운 , 황상욱
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67196 , H01L21/67259 , H01L21/67739
摘要： The present invention relates to a transfer chamber to which a camera for photographing the inside of the transfer chamber is attached on the outer wall. The transfer chamber provides a moving space through which a wafer of a semiconductor device is transferred; and comprises a view port having a through-hole at the bottom of the transfer chamber; and a photographing part attached to the bottom of the view port to seal the view port and to photograph the inside of the transfer chamber. Therefore, the present invention provides a transfer chamber to which a camera for photographing the inside of the transfer chamber is attached on the outer wall to enable users to accurately grasp the position of a robot arm inside the transfer chamber and the condition of a wafer by minimizing blind spots for critical points and a visual field using a camera attached to the outer wall of the transfer chamber to photograph the inside of the transfer chamber.
摘要翻译：本发明涉及一种传送室，用于拍摄传送室内部的照相机安装在外壁上。传送室提供移动半导体器件的晶片通过其移动的空间; 并且包括在所述传送室的底部具有通孔的视图端口; 以及附接到视口的底部的拍摄部分，以密封观察端口并拍摄传送室的内部。因此，本发明提供了一种传送室，用于拍摄传送室内部的照相机附接到外壁上，以使得用户能够准确地将传送室内的机器人臂的位置和晶片的状态最小化关键点的盲点和使用附接到传送室的外壁的照相机拍摄传送室内部的视场。

50. 发明公开

KR1020110024474A 스테이지 이동 장치 有权
标题翻译：阶段移动装置
公开(公告)号：KR1020110024474A
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：KR1020090082487
申请日：2009-09-02
申请人： 주식회사 싸이맥스
发明人： 배영재 , 김성훈 , 박세운
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/02
摘要： PURPOSE: A stage moving device is provided to prevent a load port module from being damaged by fixing a foup using a cap. CONSTITUTION: A cylindrical shaft(240) passes through a hole formed on a connection plate and is connected to a cylinder unit. The cylindrical shaft horizontally moves by the piston movement of the cylinder unit. One end of a spring(300) is fixed to the end of the shaft and the other end thereof are fixed to one side of the connection plate. A pinch sensing plate is fixed to the shaft on the other side of the connection plate. A cap(250) is fixed to the end of the shaft, covers the spring and is separated from the connection plate. A controller transmits a control signal for controlling the piston movement of the cylinder unit to the cylinder unit.
摘要翻译：目的：提供舞台移动装置，以防止装载端口模块被使用盖子固定在一起。构成：圆柱形轴（240）穿过形成在连接板上的孔并连接到气缸单元。圆筒轴由气缸单元的活塞运动水平移动。弹簧（300）的一端固定在轴的端部，另一端固定在连接板的一侧。夹紧传感板固定在连接板另一侧的轴上。盖（250）固定在轴的端部，覆盖弹簧并与连接板分离。控制器发送用于控制气缸单元的活塞移动到气缸单元的控制信号。

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