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31. 发明公开

KR1020080018798A 정보를 기록하고 읽기 위한 장치 및 방법 无效
标题翻译：用于书写和阅读信息的设备和方法
公开(公告)号：KR1020080018798A
公开(公告)日：2008-02-28
申请号：KR1020070078686
申请日：2007-08-06
申请人： 롬 앤드 하아스 컴패니
发明人： 부루지아 , 그리어에드워드씨. , 스즈만다챨스알.
IPC分类号： G11B9/14 , G01N13/16
CPC分类号： G11B9/149 , B82Y10/00 , G11B9/02 , G11B9/14 , G11C11/5657
摘要： A device and a method for writing and reading information are provided to write information on an electric field programmable film by applying write voltage to the electric field programmable film from the upper surface to the lower surface. An electric field programmable film, having upper and lower surfaces, is supplied. Information is written in the electric field programmable film by applying write voltage to an electric field programmable film from the upper surface to the lower surface using at least one stylus. The write voltage induce enduring domain of the polarization in the electric field programmable film. The electric field programmable film includes at least two available information states which correspond to different polarization.
摘要翻译：提供了一种用于写入和读取信息的装置和方法，用于通过向电场可编程膜施加从上表面到下表面的写入电压来在电场可编程膜上写入信息。提供具有上表面和下表面的电场可编程膜。信息通过使用至少一个触针将从上表面到下表面的电场写入电压写入电场可编程膜。写电压在电场可编程膜中引起极化的持久域。电场可编程膜包括对应于不同极化的至少两个可用信息状态。

32. 发明授权

KR100753841B1 ＳＯＩ 기판 기반의 근접장 탐침 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：基于SOI衬底的近场光探针及其制造方法
公开(公告)号：KR100753841B1
公开(公告)日：2007-08-31
申请号：KR1020060085823
申请日：2006-09-06
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김은경 , 이성규 , 박강호
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/302 , G11B9/14
摘要： 본 발명의 근접장 탐침은 SOI(Silicon On Insulator) 기판의 하부 실리콘층으로 이루어지고, 상기 하부 실리콘층의 일측에 관통홀(through hole)을 갖는 캔티레버 암 지지부를 포함한다. 더하여, 본 발명은 근접장 탐침은 상기 하부 실리콘층의 윗면에 지지되면서 상기 관통홀보다 작은 홀(hole)을 모두 갖는 SOI 기판의 접합 산화층 패턴 및 상부 실리콘층 패턴, 상기 상부 실리콘층 패턴 상에 상기 홀에 맞추어 선단부에 어퍼쳐를 갖는 팁(tip)을 포함하는 실리콘 산화층 패턴, 및 상기 실리콘 산화층 패턴 상에 상기 어퍼쳐를 매립하지 않으면서 형성된 광투과 방지층으로 이루어지는 캔티레버 암을 포함한다.

33. 发明授权

KR100744565B1 실리콘 질화층 기반의 근접장 탐침 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：基于氮化硅层的近场光学探针及其制造方法
公开(公告)号：KR100744565B1
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：KR1020060085824
申请日：2006-09-06
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김은경 , 이성규 , 박강호
IPC分类号： G11B9/14
摘要： 본 발명의 일 예에 의한 근접장 탐침은 몸체의 일측에 홀을 갖는 단일의 실리콘 기판으로 이루어지는 캔티레버 암 지지부와, 상기 실리콘 기판의 윗면에 지지되면서 상기 홀에 대응되게 팁을 갖는 스트레스가 완화된 실리콘 질화층, 및 상기 실리콘 질화층 상에 형성되고 상기 팁 상부에 어퍼쳐가 형성된 금속층으로 이루어지는 캔티레버 암을 포함하여 구성된다. 상기 실리콘 질화층의 하부에는 실리콘 산화층을 더 구비하여 상기 실리콘 질화층과 상기 실리콘 산화층의 이중층, 및 금속층으로 상기 캔티레버 암을 구성할 수 있다. 상기 팁은 원추형이나 포물선형일 수 있다.

34. 发明公开

KR1020070054945A 에어 베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치 无效
标题翻译： SPM-TYPE数据存储设备使用空气轴承效应
公开(公告)号：KR1020070054945A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：KR1020050113089
申请日：2005-11-24
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 김무섭 , 이헌민
IPC分类号： G11B9/14
摘要： 본 발명은 에어 베어링 효과를 이용한 탐침형 정보 저장 장치에 관한 것으로, 디스크형 저장 매체에 정보를 저장하거나 저장된 정보를 재생하는 탐침 어레이; 선단에 상기 탐침 어레이가 장착된 슬라이더; 일단이 상기 슬라이더에 연결된 제1서스펜션; 상기 제1서스펜션의 타단에 회전 가능하도록 연결된 제2서스펜션; 상기 제1서스펜션 및 제2서스펜션을 각각 구동시키는 제1구동부와 제2구동부를 포함하여 구성되며, 상기 제1구동부는, 상기 제1서스펜션과 제2서스펜션에 연결되어, 입력된 신호에 따라 인장 또는 압축을 함으로써 제1서스펜션을 회전 이동시키는 적어도 하나 이상의 압전 소자로 이루어진다.
본 발명은 이러한 특징으로 인해, 상기 슬라이더를 저장 매체의 목표 트랙에 정확하고 빠르게 위치시킴으로써, 탐침형 정보 저장 장치의 정보 저장/재생의 속도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
탐침형 정보 저장 장치, 압전 소자

35. 发明授权

KR100682959B1 멀티 프로브 저장 장치 및 신호 개선 방법 失效
标题翻译： 멀티멀티브브장장치및신호개선방법
公开(公告)号：KR100682959B1
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：KR1020060004859
申请日：2006-01-17
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 심종엽 , 서용호 , 홍승범 , 민동기
IPC分类号： G11B9/14
摘要： A multi-probe storage device and a signal improvement method are provided to reproduce data recorded on a recording medium having a ferroelectric layer by interactions between probes and electric polarizers, thereby improving properties of a data signal by comprising a driver for actuating the probes with an RF(Radio Frequency). A multi-probe(100) has plural probes(102) which read data from a recording medium(140) by interactions with electric polarizers on a surface of the recording medium(140). A driver(135) drives the multi-probe(100) so that the multi-probe(100) scans the surface of the medium(140), and actuates the probes(102) in a different direction from a scanning direction of the multi-probe(100). A server(125) controls a position of the multi-probe(100).
摘要翻译：提供了多探针存储设备和信号改善方法，以通过探针和电偏振器之间的相互作用再现记录在具有铁电层的记录介质上的数据，由此通过包括用于驱动探针的驱动器来改善数据信号的性质，射频（射频）。多探针（100）具有多个探针（102），其通过与记录介质（140）的表面上的电偏振器的相互作用从记录介质（140）读取数据。驱动器（135）驱动多探针（100），使得多探针（100）扫描介质（140）的表面，并且沿着与多探针（100）的扫描方向不同的方向致动探针 -probe（100）。服务器（125）控制多探针（100）的位置。

36. 发明公开

KR1020060124078A 압전효과를 이용한 탐침형 정보저장장치 및 압전효과를이용한 탐침형 정보저장장치의 데이터 기록 방법 无效
标题翻译：使用压电材料的SPM信息存储系统及其数据记录方法
公开(公告)号：KR1020060124078A
公开(公告)日：2006-12-05
申请号：KR1020050045821
申请日：2005-05-30
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 남효진 , 진원혁
IPC分类号： G11B9/14
摘要： An SPM(Scanning Probe Microscopy) information storage system using piezoelectric effect and a data recording method therefor are provided so that it is unnecessary for a relatively high preload and to prevent a cantilever from being bent in an opposite direction of a recording medium by composing a piezoelectric driving part including a piezoelectric body and providing an additional load to the cantilever. A piezoelectric driving part(601) includes a piezoelectric body(303). A tip(402) is formed in an end of a cantilever(301), and the piezoelectric driving part(601) is integrated in the cantilever(301). A driving circuit supplies a driving voltage to the piezoelectric driving part(601). A recording medium(602) records data by the tip(402) formed in the cantilever(301). An upper electrode(302), a piezoelectric body(303), and a lower electrode(304) are successively laminated in the piezoelectric driving part(601).
摘要翻译：提供了使用压电效应的SPM（扫描探针显微镜）信息存储系统及其数据记录方法，使得不需要相对高的预载荷并且防止悬臂在记录介质的相反方向上被弯曲，压电驱动部件包括压电体并向悬臂提供额外的负载。压电驱动部（601）包括压电体（303）。尖端（402）形成在悬臂（301）的端部，并且压电驱动部（601）集成在悬臂（301）中。驱动电路向压电驱动部（601）供给驱动电压。记录介质（602）通过形成在悬臂（301）中的末端（402）记录数据。压电驱动部（601）依次层叠上部电极（302），压电体（303）和下部电极（304）。

37. 发明授权

KR100639918B1 ＭＥＭＳ 액츄에이터 失效
标题翻译： MEMS致动器
公开(公告)号：KR100639918B1
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：KR1020040107033
申请日：2004-12-16
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김기출 , 김상협 , 김혜진 , 조두희
IPC分类号： G11B9/14
CPC分类号： H01H1/0036 , H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
摘要： 본 발명은 마이크로 전자기계 시스템 액츄에이터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압전 캔틸레버 액츄에이터와 콤브 액츄에이터가 결합되어 2축 구동을 하는 마이크로 전자기계 시스템 액츄에이터를 제공한다. 본 액츄에이터에 의하면, 가동 콤브가 압전물질로 구성되어 있어 평면 액츄에이션뿐만 아니라, z축으로의 포커싱 액츄에이션도 병행가능하여 초박형 광 디스크 드라이브의 구동장치에 사용가능하다.
콤브 액츄에이터, 압전 액츄에이터, 압전 단결정 액츄에이터

38. 发明授权

KR100631280B1 마이크로 스캐너 및 그의 구동 방법 失效
标题翻译： 마이크로스캐너및그의구동방법
公开(公告)号：KR100631280B1
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：KR1020050079485
申请日：2005-08-29
申请人： 엘지전자 주식회사
发明人： 조일주
IPC分类号： G11B9/14
摘要： A micro scanner and a driving method thereof are provided to accurately record and reproduce information and reduce the abrasion of probes formed in cantilevers by composing a scanner capable of smoothly driving an Z-axis. An upper substrate includes a supporting part(100) and a frame(130). A through hole whose internal region is removed is formed in the supporting part(100). The frame(130) is located in the through hole of the supporting part(100), and is connected to an internal surface of the through hole of the supporting part(100) by a pair of spring connecting parts(121,122). A lower substrate(300) is separated from the upper substrate at a uniform interval and is bonded. The first Z-axis driving electrode(151) is formed in a lower part of the frame(130) of the upper substrate. The second Z-axis driving electrode(152) is formed in an upper part of the lower substrate(300) to correspond to the first Z-axis driving electrode(151). The first and second Z-axis driving electrodes are plural.
摘要翻译：本发明提供一种微型扫描仪及其驱动方法，以通过组合能够平滑地驱动Z轴的扫描仪来精确地记录和再现信息并减少形成在悬臂梁中的探针的磨损。上基板包括支撑部分（100）和框架（130）。在支撑部件（100）中形成其内部区域被去除的通孔。框架130位于支撑部件100的通孔中，并且通过一对弹簧连接部件121,122连接到支撑部件100的通孔的内表面。下衬底（300）以均匀间隔与上衬底分离并被粘合。第一Z轴驱动电极（151）形成在上基板的框架（130）的下部。第二Z轴驱动电极（152）形成在下基板（300）的上部以对应于第一Z轴驱动电极（151）。第一和第二Z轴驱动电极是多个。

39. 发明公开

KR1020060091388A 프로브 헤드 및 그 제조 방법 失效
标题翻译：探头，及其制作方法
公开(公告)号：KR1020060091388A
公开(公告)日：2006-08-21
申请号：KR1020050011915
申请日：2005-02-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 남윤우 , 김용수
IPC分类号： G11B9/14 , G11B5/127
CPC分类号： G11B9/1409 , B82Y10/00 , G11B5/3106 , G11B5/3116
摘要： 프로브 헤드 및 그 제조 방법이 개시된다.
개시되는 프로브 헤드는 센서와, 상기 센서의 양 측에 소정 거리로 이격되어 배치된 제 1 쉴드(shield) 및 제 2 쉴드와, 상기 센서와 상기 제 1 쉴드 사이 및 상기 센서와 상기 제 2 쉴드 사이에 각각 마련되는 제 1 중간막과 제 2 중간막;을 구비하는 적어도 하나의 센서부가 결합된 것을 특징으로 한다. 그리고, 상기 프로브 헤드의 제조 방법은 기판을 마련하는 단계; 상기 기판 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막 상에 제 1 쉴드(shield)를 형성하는 단계; 상기 제 1 쉴드 상에 제 1 중간막을 형성하는 단계; 상기 제 1 중간막 상에 센서를 형성하는 단계; 상기 센서 상에 제 2 중간막을 형성하는 단계; 상기 제 2 중간막 상에 제 2 쉴드를 형성하는 단계; 및 상기 제 2 쉴드 상에 보호막을 형성하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 따른 프로브 헤드 및 그 제조 방법에 의하면, 프로브 헤드의 분해능과 감도를 동시에 증가시킬 수 있고, 상기와 같은 높은 분해능과 감도를 가지는 프로브 헤드를 용이하게 제조할 수 있는 장점이 있다.

40. 发明公开

KR1020060068370A ＭＥＭＳ 액츄에이터 失效
标题翻译： MEMS执行器
公开(公告)号：KR1020060068370A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：KR1020040107033
申请日：2004-12-16
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김기출 , 김상협 , 김혜진 , 조두희
IPC分类号： G11B9/14
CPC分类号： H01H1/0036 , H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H2057/006
摘要： 본 발명은 마이크로 전자기계 시스템 액츄에이터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 압전 캔틸레버 액츄에이터와 콤브 액츄에이터가 결합되어 2축 구동을 하는 마이크로 전자기계 시스템 액츄에이터를 제공한다. 본 액츄에이터에 의하면, 가동 콤브가 압전물질로 구성되어 있어 평면 액츄에이션뿐만 아니라, z축으로의 포커싱 액츄에이션도 병행가능하여 초박형 광 디스크 드라이브의 구동장치에 사용가능하다.
콤브 액츄에이터, 압전 액츄에이터, 압전 단결정 액츄에이터

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