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    • 39. 发明公开
    • CIGS 열처리 셀레늄 공급장치 및 공급방법
    • 硒供应装置和CIGS热处理方法
    • KR1020160027403A
    • 2016-03-10
    • KR1020140113995
    • 2014-08-29
    • 에스엔유 프리시젼 주식회사
    • 전광진최한빈오현필박상현
    • H01L31/0749H01L31/18H01L31/0272H01L31/024
    • H01L31/024H01L31/0272H01L31/0749H01L31/18Y02E10/50Y02P70/521
    • 본발명은 CIGS 열처리셀레늄공급장치에관한것으로서, 본발명에따른 CIGS 열처리셀레늄공급장치는 CIGS 태양전지제조시, CIGS 열처리장치측으로셀레늄을공급하는장치에있어서, 일단이상기 CIGS 열처리장치에연결되며, 셀레늄가스가이동하는경로인공급관; 상기공급관의일측으로부터분기되는분기관; 상기공급관상에설치되어상기셀레늄가스의상기 CIGS 열처리장치로의이동을차단하는밸브부; 상기분기관에연결되며, 상기밸브부가폐쇄시구동하여상기셀레늄가스를상기분기관측으로안내하는펌프부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, CIGS 광흡수층형성을위한 CIGS 열처리장치로셀레늄가스를공급시, 셀레늄가스의공급여부를정밀하게제어할수 있는 CIGS 열처리셀레늄공급장치및 공급방법이제공된다.
    • 本发明涉及一种CIGS热处理硒供应装置。 本发明涉及一种用于在制造CIGS太阳能电池时向CIGS热处理装置供应硒的装置,包括:供给管,其一端连接到用于转移硒气体的CIGS热处理装置; 分支管,其从供给管的一端分支; 安装在所述供给管上的阀部,以关闭所述硒气体向CIGS热处理装置的移动; 以及泵部,其连接到分支管,以在阀部被关闭的同时通过操作将硒气引导到分支管。 同样地,当将硒气体供给到用于形成CIGS光吸收层的CIGS热处理装置时,可以精确地控制硒气体的供给。