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    • 1. 发明公开
    • 단일광자 애벌란치 다이오드와 그 제조 방법
    • 单光子雪崩二极管及其制造方法
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    • H01L31/107H01L31/0224H01L31/0392H01L31/103H01L31/18
    • H01L31/107H01L31/022408H01L31/0392H01L31/103H01L31/18H01L31/1868
    • 본발명은단일광자애벌란치다이오드및 그제조방법에관한것으로서, n형 InP 기판상에 n형 InP버퍼층, 도핑하지않은 InGaAs흡수층, InGaAsP그래이딩층, n형 InP 전기장조절층, n형 InP윈도우층이순차적으로적층되어있고, n형 InP윈도우층의중앙에국소적으로형성된 p형 InP윈도우층과상기 p형 InP윈도우층주위에링 형태로형성된 p형 InP가드링을갖으며, p형 InP 윈도우층상에링 형상으로돌출되게형성된 p형 InGaAs옴접촉층과, p형 InGaAs옴접촉층을중심으로 p형 InGaAs옴접촉층의내주영역과외주영역의노출된부분에형성된내주및 외주표면보호층과, p형 InGaAs옴접촉층의상면과 p형 InGaAs옴접촉층의내주영역에형성된내주표면보호층상부에광을반사하며도전성을갖는소재로형성된원형의 p-전극층을구비한다. 이러한단일광자애벌란치다이오드및 그제조방법에의하면, 광응답도를향상시킬수 있어높은광자검출효율을얻을수 있으며, 작은옴 접촉저항을갖게하여고속동작을가능하게한다.
    • 本发明是在n型InP衬底的InP缓冲层上的层形n,则未掺杂的InGaAs吸收层,的InGaAsP灰色dingcheung,正的InP电场控制层,与单光子雪崩二极管的n型InP窗口及其制造的方法 和顺序地堆叠,有具有p型InP的保护环和局部p型InP窗口层由形成在所述层的n型InP窗口层的p型InP窗口的中心处的p型InP窗口层周围形成为环状 欧姆p型形成在形状E-环InGaAs接触层突出,形成在p型InGaAs欧姆接触层周围的p型InGaAs欧姆接触层和外周区域的内圆周区域的所述保护层的暴露部分的内表面和外表面, 一个p型InGaAs反映在上表面和形成在欧姆接触层的p型InGaAs欧姆接触层的内周区域中的保护层的上内表面的光,并且包括具有圆形导电的材料形成的p电极层。 根据这样的单光子雪崩二极管及其制造方法,可提高在这里也获得的光学响应和高的光子的检测效率,它使高速的操作和具有小的欧姆接触电阻。