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31. 发明授权

KR100482478B1 실리콘 옥시니트라이드 광 도파관 재료 및 도파관의제조방법 失效
标题翻译：用于制造光波导的材料和用于制造这种波长的方法
公开(公告)号：KR100482478B1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：KR1020027010936
申请日：2000-11-28
申请人： 인터내셔널 비지네스 머신즈 코포레이션
发明人： 베예러르네엠 , 브뢰흘페터 , 보나기안-루카 , 게르만롤란트 , 호르스트폴케르트 , 오프라인베르트 , 잘레밍크훕엘 , 비스만도로테아베
IPC分类号： C03C3/04
CPC分类号： G02B6/122 , C01B21/0823 , C01B21/087 , C01P2002/82 , C03B19/1415 , C03B2201/22 , C03B2201/24 , C03C1/02 , C03C3/045 , C03C3/111 , C03C2201/22 , C03C2201/24 , C23C16/308 , G02B6/105 , G02B6/13 , G02B6/132 , G02B2006/12119
摘要： 평면 광 도파관 제조에 사용될 수 있는 신규한 재료가 제공된다. 상기 재료는 규소, 산소 및 질소 및 추가로 중수소를 포함한다. 또한, 중수소화된 기상 전구체를 사용하는, 상기 신규 재료에 기초된 평면 광 도파관의 제조방법이 제공된다.

32. 发明公开

KR1020030051742A 모놀리식 광학 구조체, 이 모놀리식 광학 구조체의 형성 방법, 가요성 광섬유, 광섬유 형성 방법, 및 광섬유 예비 성형체 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：KR1020030051742A
公开(公告)日：2003-06-25
申请号：KR1020037005703
申请日：2001-10-26
申请人： 네오포토닉스 코포레이션
发明人： 브라이언마이클에이. , 비시앙신
IPC分类号： G02B6/13
CPC分类号： G02B6/12002 , B32B9/04 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B19/1484 , C03B37/01413 , C03B37/0142 , C03B37/01486 , C03B37/027 , C03B2203/34 , C03B2205/40 , C03B2207/02 , C03B2207/34 , C03B2207/66 , C03B2207/85 , C04B35/14 , C04B2235/3201 , C04B2235/3203 , C04B2235/3215 , C04B2235/3217 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3232 , C04B2235/3234 , C04B2235/3244 , C04B2235/3251 , C04B2235/3258 , C04B2235/3287 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/3296 , C04B2235/3298 , C04B2235/3409 , C04B2235/3418 , C04B2235/3463 , C23C16/483 , C23C26/00 , G02B6/02042 , G02B6/13 , G02B6/132 , G02B2006/12147 , G02B2006/1215 , G02B2006/12176 , Y02P40/57
摘要： Monolithic optical structures include a plurality of layer with each layer having an isolated optical pathway confined within a portion of the layer. The monolithic optical structure can be used as an optical fiber preform. Alternatively or additionally, the monolithic optical structure can include integrated optical circuits within one or more layers of the structure. Monolithic optical structures can be formed by performing multiple passes of a substrate through a flowing particle stream. The deposited particles form an optical material following consolidation. Flexible optical fibers include a plurality of independent light channels extending along the length of the optical fiber. The fibers can be pulled from an appropriate preform.
摘要翻译：单片光学结构包括多个层，每个层具有限定在层的一部分内的隔离的光学路径。单片光学结构可以用作光纤预制件。或者或另外，单片光学结构可以包括在该结构的一个或多个层内的集成光学电路。单片光学结构可以通过通过流动的颗粒流进行多次通过基板来形成。沉积的颗粒在固结后形成光学材料。柔性光纤包括沿着光纤的长度延伸的多个独立光通道。纤维可以从适当的预成型件拉出。

33. 发明公开

KR1020030047751A 광학 부재용 석영 유리 블랭크 및 그 이용 방법 无效
标题翻译：用于光学元件的QUARTZ玻璃空白及其应用
公开(公告)号：KR1020030047751A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：KR1020020076621
申请日：2002-12-04
申请人： 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤 , 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지
发明人： 위빙브르노 , 큔보도
IPC分类号： C03C4/00
CPC分类号： C03B19/1453 , C03B19/1415 , C03B2201/07 , C03B2201/20 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2203/44 , C03C2203/52
摘要： PURPOSE: A quartz glass blank for an optical component for the transmission of ultraviolet radiation of a wave length of 250 nm and under is provided, and its utilization in microlithography in connection with ultraviolet radiation of a wavelength of 250 nm and under is provided. CONSTITUTION: In a quartz glass blank for an optical component for transmission of ultraviolet radiation of a wave length of 250 nm and under, the quartz glass blank is characterized in that it has a glass structure which is essentially free of oxygen defect sites, an H2 content in the range of 3x10¬17 molecules/cm¬3 to 2.0x10¬18 molecules/cm¬3, an OH content in the range of 500 weight ppm to 1,000 weight ppm, an SiH group content of less than 2x10¬17 molecules/cm¬3, a chlorine content in the range of 60 weight ppm to 120 weight ppm, a non-homogeneity in the refractive index Δn of less than 2 ppm, and a stress birefringence of less than 2 nm/cm, wherein the OH content is in the range of 600 weight ppm to 900 weight ppm, preferably in the range of 750 weight ppm to 900 weight ppm, and wherein the quartz glass blank has a chlorine content is in the range of 80 weight ppm to 100 weight ppm.
摘要翻译：目的：提供一种用于传输波长为250nm及以下的紫外线辐射的光学部件的石英玻璃坯料，并且提供了其在与250nm以下的波长的紫外线照射有关的微光刻中的应用。构成：在用于透射波长为250nm及以下的紫外线辐射的光学部件的石英玻璃坯料中，石英玻璃坯料的特征在于具有基本上不含氧缺陷部位的玻璃结构，H2 含量范围为3×10 17分子/ cm 3至2.0×10 18分子/ cm 3，OH含量为500重量ppm至1,000重量ppm，SiH基含量小于2×10 17分子 / cm 3，氯含量在60重量ppm至120重量ppm的范围内，折射率Δn的非均匀性小于2ppm，应力双折射小于2nm / cm，其中OH 含量在600重量ppm至900重量ppm的范围内，优选在750重量ppm至900重量ppm的范围内，并且其中石英玻璃坯料的氯含量在80重量ppm至100重量ppm的范围内。

34. 发明公开

KR1020010022401A 산소를 이용하여 액체 반응물을 연소시켜 실리카를형성하기 위한 방법 无效
标题翻译：使用氧气燃烧液体反应物以形成二氧化硅的方法
公开(公告)号：KR1020010022401A
公开(公告)日：2001-03-15
申请号：KR1020007000981
申请日：1998-07-07
申请人： 코닝 인코포레이티드
发明人： 블랙웰,제퍼리,엘. , 시아오동,푸 , 하우토프,다니엘,더블유. , 파우어스,데일,알.
IPC分类号： C01B33/18
CPC分类号： B01J19/26 , B01J2219/00157 , B01J2219/00159 , C01B33/183 , C03B19/106 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B37/01413 , C03B37/0142 , C03B2201/06 , C03B2207/06 , C03B2207/14 , C03B2207/20 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/42 , C03C1/00 , C03C3/06 , C03C2201/06 , C03C2203/40 , Y02P40/57
摘要： 본발명은실리카를제조하는방법에관한것이다. 열산화분해법에의해 SiO로전환될수 있는액체실록산-함유원료가제공되며연소버너의화염내로직접주입되는데, 상기연소버너의화염은미세하게분할된무정질의수트를형성하여상기화합물을실리카로전환시킨다. 상기액체가산소가스, 또는산소가스및질소가스와같은다른가스의혼합물의스트림과함께분사되어전환되는전환사이트및/또는증착사이트에서상기수트는기화된다. 상기무정질의수트는, 증착시에실질적으로동시에또는연속적으로상기수트가광섬유예비성형품과같은용융실리카유리의바디로소고되는수용기표면상에증착된다.

35. 发明授权

KR1019910000717B1 소결유리 및 요업제품의 제조방법 失效
标题翻译：生产烧结玻璃和陶瓷产品的方法
公开(公告)号：KR1019910000717B1
公开(公告)日：1991-01-31
申请号：KR1019830004340
申请日：1983-09-15
申请人： 코오닝그라아스와아크스
发明人： 스테펜브루스밀러 , 로날드레로이스튜워트 , 데이비드알렌톰프슨
IPC分类号： C03C3/04 , C03C13/00 , C03C1/00 , C04B35/00
CPC分类号： C07C45/77 , C03B19/1415 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/85 , C03B2207/87 , C03B2207/90 , C03C1/00 , C03C3/06 , C03C13/045 , C03C13/046 , C03C2201/06 , C03C2203/40 , C04B35/626 , C04B35/6325 , C07C49/92 , C07F3/003 , Y10S65/901
摘要： 내용 없음.

36. 发明公开

KR1020170095951A 세정 디바이스를 사용하여 합성 석영 유리를 제조하기 위한 프로세스 审中-实审
标题翻译：使用清洁装置制造合成石英玻璃的方法
公开(公告)号：KR1020170095951A
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：KR1020177019254
申请日：2015-12-15
申请人： 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지
发明人： 라우단힐마르 , 바데케클라우스-우베 , 트롬머마틴
IPC分类号： C03B19/14 , B01D53/02
CPC分类号： C03B19/1415 , B01D53/02 , B01D2253/106 , B01D2253/304 , B01D2253/306 , B01J20/103 , C03B20/00 , C03B2201/02 , C03B2207/32 , C03B2207/81 , C03B2207/85 , C03C3/04 , Y02P40/57
摘要： 본발명은, 특수세정디바이스를사용하여합성석영유리를제조하기위한방법, 특수세정디바이스를비롯한, 합성석영유리를제조하기위한디바이스, 합성석영유리를제조하기위한제조재료증기(production material vapor)를세정하기위한다공질실리카입자의베드(bed)의사용, 및본 발명에의해획득되는합성석영유리에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及使用专用清洁装置制造合成石英玻璃的方法，用于制造合成石英玻璃的装置，包括专用清洁装置，用于生产合成石英玻璃的生产材料蒸气，用于清洗的多孔二氧化硅颗粒的床式刮刀和由本发明获得的合成石英玻璃。

37. 发明授权

KR101569790B1 수트법에 따른 합성 석영 유리 제조 방법 有权
标题翻译：根据SOOT方法生产合成石英玻璃的方法
公开(公告)号：KR101569790B1
公开(公告)日：2015-11-19
申请号：KR1020147017188
申请日：2012-11-22
申请人： 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지
发明人： 파비앙,하인츠 , 로퍼,위르겐
IPC分类号： C03B37/014 , C03B19/14
CPC分类号： C03B20/00 , C03B19/1415 , C03B37/012 , C03B37/01413 , C03B2207/32 , C03B2207/85
摘要： 합성석영유리를제조하는공지된방법은, 이에할당되는레퍼런스분자량을갖는주성분으로서옥타메틸시클로테트라실록산(D4)를함유하는 SiO공급원료물질의스트림을형성하는단계, 상기공급원료물질이열분해또는가수분해에의한비결정 SiO입자의형성하에서 SiO로전환되는반응구역으로상기스트림을공급하는단계, 다공성 SiO수트바디를형성하면서상기비결정 SiO입자를증착표면에증착시키는단계, 및합성석영유리를형성하면서상기 SiO수트바디를유리화하는단계를포함한다. 이로부터출발하여, 향상된물질균질성의 300mm 이상의외부직경을갖는대용량원통형수트바디를생성하기위해, 본발명에따르면, 상기공급원료물질은추가의폴리알킬실록산형태로부가성분을함유하며, 여기서레퍼런스분자량미만의상대적분자량을갖는가벼운폴리알킬실록산은적어도 50ppm의무게분율로함유되며, 그리고레퍼런스분자량이상의상대적분자량을갖는무거운폴리알킬실록산은적어도 30ppm의무게분율로함유되는것이제시된다.

38. 发明公开

KR1020150058211A ＳｉＯ₂―ＴｉＯ₂계 유리의 제조 방법 및 그 유리로 이루어지는 포토마스크 기판의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：用于SIO_2-TIO_2玻璃的生产方法及包含有效玻璃的光电子基片的生产方法
公开(公告)号：KR1020150058211A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：KR1020157006675
申请日：2013-09-12
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 요시나리도시오
IPC分类号： C03B19/14 , G03F1/60
CPC分类号： C03B19/1415 , C03B11/08 , C03B19/1469 , C03B23/0493 , C03B32/005 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/80 , C03B2215/44 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , G03F1/60
摘要： SiO-TiO계유리의제조방법은직접법에의해타깃상에 SiO-TiO계유리를제조하는방법으로서, 규소화합물및 티탄화합물을산수소화염중에공급하여화염가수분해함으로써, 타깃상에소정길이의 SiO-TiO계유리잉곳을성장시키는잉곳성장공정을포함하고, 잉곳성장공정은, 규소화합물의공급량에대한티탄화합물의공급량의비율을소정의값에도달할때까지 SiO-TiO계유리잉곳의성장에수반하여서서히증가시키는제 1 공정과, 제 1 공정에있어서비율이소정의값에도달한후, 비율을일정하게유지한상태로 SiO-TiO계유리잉곳을성장시키는제 2 공정을갖는다.

39. 发明公开

KR1020140098786A 합성 석영 유리의 제조 방법 有权
标题翻译：生产合成石英玻璃的方法
公开(公告)号：KR1020140098786A
公开(公告)日：2014-08-08
申请号：KR1020147016084
申请日：2012-12-13
申请人： 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지
发明人： 바데케,클라우스-우베 , 오토,노베르트 , 트롬머,마틴 , 라우단,힐마르 , 브루켈,안드레아
IPC分类号： C03B19/14
CPC分类号： C03B19/1415 , C03B2201/02 , C03B2207/32 , C03B2207/85 , Y02P40/57
摘要： 본 발명은 액체 SiO
2 공급 원료(105)로서의 폴리알킬실록산을 기화시키는 단계, 기화된 SiO
2 공급 원료(107)를 SiO
2 입자로 전환시키는 단계, 상기 SiO
2 입자를 분리시키는 단계, 수트체(200)를 형성하는 단계 및 상기 수트체(200)를 유리화하는 단계에 의해 합성 석영 유리를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 가열된 상기 SiO
2 공급 원료(105)의 기화는 SiO
2 공급 원료(105)가 5 pm 미만의 평균 직경을 갖는 미세한 액적으로 분무되는 팽창 챔버(125)에서 분사 단계(injection phase)를 포함하고, 상기 액적의 분무는 180℃보다 높은 온도를 갖는 예열된 캐리어 가스 스트림에서 일어난다.

40. 发明授权

KR101424998B1 에어로졸 전달 시스템을 사용하여 유리 바디를 제조하기 위한 장치 및 방법 有权
标题翻译：使用气溶胶输送系统制造玻璃体的设备和方法
公开(公告)号：KR101424998B1
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：KR1020060128668
申请日：2006-12-15
申请人： 후루카와 일렉트릭 노쓰 아메리카 인코포레이티드
发明人： 드산톨로앤쏘니 , 윈들러로버트에스.
IPC分类号： C03C25/00 , C03C25/10 , C03C25/12 , C03C25/14
CPC分类号： C03B19/1415 , C03B2207/85 , C03B2207/86
摘要： 본 발명은, 다수의 성분들을 포함하며 이들 성분 중의 하나 이상이 증기압이 낮은(LVP) 전구체를 갖는 도펀트(예: 희토류 원소)인 유리 바디(glass body)의 제조방법으로서, LVP 전구체로부터 에어로졸을 생성시키는 단계(a), 기타 성분의 증기를 별도로 생성시키는 단계(b), 에어로졸과 증기를 기재를 포함하는 증착 시스템으로 대류시키는 단계(c) 및 기재의 표면 위에 하나 이상의 도핑된 층을 형성시키는 단계(d)를 포함하는, 유리 바디의 제조방법에 관한 것이다. 한 양태에서, 당해 방법은 특정 범위의 크기를 벗어나는 에어로졸 입자를 제거하도록 에어로졸을 여과하는 단계를 포함한다. 또한, 본 발명은 희토류 도펀트의 에어로졸을 생성시키는 데 특히 유용한 독창적인 에어로졸 생성기에 관한 것이다. 본 발명은 Yb-도핑된 광섬유에 관한 특정 양태를 기술한다.
광섬유, LVP 전구체, 증착 시스템, 유리 바디, 희토류 도펀트

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