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31. 发明授权

KR101261016B1 평판패널 기판의 자동광학검사 방법 및 그 장치 有权
标题翻译：平板基板自动光学检测方法及装置
公开(公告)号：KR101261016B1
公开(公告)日：2013-05-06
申请号：KR1020110022767
申请日：2011-03-15
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 강민구 , 이현민 , 한원섭 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： G01N21/88 , G02F1/13
摘要： 본발명에따른평판패널기판의자동광학검사방법은, 상기기판의일부영역을촬영하고, 각각이촬영한영상내에주기적으로반복하여존재하는셀 레이아웃패턴인단위영상들에기초하여기준영상을생성하는단계, 각단위영상들을상기기준영상과비교하여결함의존부를판정하고기판에결함이존재할경우결함의위치정보를획득하는단계및 획득한결함의위치정보를출력하는단계를포함한다.

32. 发明公开

KR1020130029681A 오토 포커싱 장치 无效
标题翻译：自动聚焦装置
公开(公告)号：KR1020130029681A
公开(公告)日：2013-03-25
申请号：KR1020110093101
申请日：2011-09-15
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 강성용 , 구자철 , 이현민 , 강민구 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： G02B7/28 , G01N21/88 , G01B11/30
CPC分类号： G02B7/38 , G01N21/8851 , G01N2021/8887 , G02F1/1309
摘要： PURPOSE: An auto-focusing device is provided to change a test range on a real time basis, thereby improving productivity. CONSTITUTION: An auto-focusing device(100) comprises a lens assembly(110), a transmissive rotary part(120), a photographing part(130), a reader(140), and a distance control part(150). The lens assembly comprises a lens which transmits a reflected light which is reflected from a device being tested. The transmissive rotary part is arranged on a transmission route of the reflected light passing through a lens assembly and rotates in one direction eccentrically to the lens assembly. The rotary part prepares an inclination zone which gradually increases in thickness following a rotational direction and converts an optical density on a real time basis. The photographing part is arranged on the transmission route of the reflected light passing through the rotary part and obtains an image. The reader receives an image photographed from the photographing part and determines the existence of focus. The distance control part controls a distance between a camera for testing and the device being tested, depending on the determination of the reader.
摘要翻译：目的：提供自动对焦设备，实时更改测试范围，从而提高生产效率。构成：自动对焦装置（100）包括透镜组件（110），透射旋转部件（120），拍摄部件（130），读取器（140）和距离控制部件（150）。透镜组件包括透射从被测试装置反射的反射光的透镜。透射旋转部件布置在穿过透镜组件的反射光的透射路径上，并且在一个方向上偏心地旋转到透镜组件。旋转部准备沿着旋转方向逐渐增加的倾斜区域，并且实时地转换光密度。摄影部配置在通过旋转部的反射光的传播路径上，并获得图像。读取器接收从拍摄部分拍摄的图像，并确定焦点的存在。距离控制部分根据读取器的确定来控制用于测试的相机和被测试设备之间的距离。

33. 发明公开

KR1020120105149A 평판패널 기판의 자동광학검사 방법 및 그 장치 有权
标题翻译：用于自动光学检测平板基板的方法和装置
公开(公告)号：KR1020120105149A
公开(公告)日：2012-09-25
申请号：KR1020110022767
申请日：2011-03-15
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 강민구 , 이현민 , 한원섭 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： G01N21/88 , G02F1/13
摘要： PURPOSE: A method and an apparatus for automatic optical inspection of a flat panel substrate are provided to maintain the quality of a flat panel substrate evenly. CONSTITUTION: An apparatus for automatic optical inspection of a flat panel substrate comprises a memory(110), an image acquisition part(120), a reference image generating unit(130), a defect determining part(140), and an output unit(150). The image acquisition part acquires the video recording some section of the substrate. The reference image generating unit generates and saves the generated reference image. The defect determining part acquires the position information of the defect on a substrate. The defect determining part saves the defect position information in the memory. [Reference numerals] (110) Memory; (120) Image acquisition part; (130) Reference image generating unit; (140) Defect determining part; (150) Output unit
摘要翻译：目的：提供一种用于平板基板的自动光学检查的方法和装置，以保持平板基板的质量均匀。一种用于平板基板的自动光学检查的装置，包括存储器（110），图像获取部分（120），参考图像生成单元（130），缺陷确定部分（140）和输出单元 150）。图像获取部分获取基片的某个部分的视频记录。参考图像生成单元生成并保存所生成的参考图像。缺陷确定部件获取衬底上的缺陷的位置信息。缺陷确定部件将缺陷位置信息保存在存储器中。（附图标记）（110）存储器; （120）图像采集部分; （130）参考图像生成单元; （140）缺陷判定部; （150）输出单元

34. 发明公开

KR1020120053801A ＬＥＤ칩 검사장치 및 검사방법 有权
标题翻译：测试LED的方法及其方法
公开(公告)号：KR1020120053801A
公开(公告)日：2012-05-29
申请号：KR1020100115108
申请日：2010-11-18
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 주병권
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/00
摘要： PURPOSE: An LED(Light Emitting Diode) chip inspection apparatus and an inspecting method are provided to maximally utilize a work space because a vision inspection unit, a reading unit, and a sorting unit are perpendicularly arranged in the upper part of a rotary table. CONSTITUTION: An LED chip inspection apparatus(10) comprises a supplying unit(100), a rotary table(200), a vision inspection unit(300), a reading unit(400), and a sorting unit(500). The supplying unit supplies LED chips at regular intervals of time. The LED chips supplied from the supplying unit are loaded on the rotary table. The vision inspection unit obtains images of the LED chips while rotating at the same speed of the rotary table. The reading unit reads faults of the LED chips based on the images obtained by the vision inspection unit. The sorting unit sorts and distinguishes the faulty LED chips according to a reading result of the reading unit.
摘要翻译：目的：提供LED（发光二极管）芯片检查装置和检查方法，以最大限度地利用工作空间，因为视觉检查单元，读取单元和分类单元垂直地布置在旋转台的上部。构成：LED芯片检查装置（10）包括供给单元（100），旋转台（200），视觉检查单元（300），读取单元（400）和分拣单元（500）。供应单元定期供应LED芯片。从供给单元供给的LED芯片装载在旋转台上。视觉检查单元在以与旋转台相同的速度旋转的同时获得LED芯片的图像。读取单元基于由视觉检查单元获得的图像来读取LED芯片的故障。分类单元根据读取单元的读取结果对故障LED芯片进行排序和区分。

35. 发明授权

KR101142528B1 발광다이오드 패키지 검사 장치 有权
标题翻译：用于检查发光二极管的装置
公开(公告)号：KR101142528B1
公开(公告)日：2012-05-11
申请号：KR1020090117952
申请日：2009-12-01
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 고승규 , 권대갑 , 안주훈
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66
摘要： 발광다이오드 패키지의 불량 여부를 검사하며, 검사 후 불량인 발광다이오드 패키지에 대해 마킹할 수 있는 발광다이오드 패키지 검사 장치를 개시한다. 로딩부는 발광다이오드 패키지들이 어레이 형태로 연결된 패키지 집합체를 다수 수납한 카세트를 적재한다. 검사부는 로딩부로부터 공급받은 패키지 집합체의 발광다이오드 패키지들에 대해 비전 검사를 통해 불량 여부를 검사한다. 불량 마킹부는 검사부로부터 공급받은 패키지 집합체의 발광다이오드 패키지들 중에서 검사부의 검사 결과를 토대로 불량으로 판정된 발광다이오드 패키지에 대해 불량 마킹을 한다. 언로딩부는 불량 마킹부를 거쳐 배출되는 패키지 집합체를 수납하기 위한 빈 카세트를 적재한다. 이에 따라, 발광다이오드 패키지의 불량 검사와 불량 마킹이 자동화됨과 아울러 일련의 과정으로 신속하게 처리될 수 있으므로, 생산성 향상이 도모될 수 있다.

36. 发明授权

KR101012637B1 광학식 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법 有权
标题翻译：光学测量系统对象的形状和使用它的测量方法
公开(公告)号：KR101012637B1
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：KR1020080082535
申请日：2008-08-22
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 강민구 , 이상윤 , 임쌍근 , 이현민
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/00
摘要： 본 발명은 CCD 카메라 구동 신호와 영상 획득에 필요한 주변 장치의 동기 신호를 일치시켜 시간 지연 없이 영상을 획득할 수 있는 광학식 영상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 광학식 형상 측정 시스템은 촬영 영역에 놓인 피사체를 촬영 하여 출력하는 하나 이상의 CCD 카메라와, 상기 촬영 영역에 조명광을 조사하는 조명장치 및 조명 컨트롤러와, 상기 조명장치의 구동을 제어하는 동기신호발생부와, 상기 각각의 CCD 카메라에서 출력되는 영상을 포획하여 출력하는 적어도 하나 이상의 영상포획부와, 상기 영상포획부에서 포획된 영상을 신호 처리하여 표시부로 출력하는 영상신호 처리부와, 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 개시 명령을 출력하는 제어부와, 상기 제어부에 외부 장비로부터의 제어 신호를 전달하는 데이터 입력부를 포함하되, 상기 제어부가 상기 영상포획부 및 상기 동기신호발생부에 구동 신호를 출력함과 동시에 상기 동기신호발생부가 상기 제어부로부터의 제어 신호에 따라 CCD 카메라와 조명 컨트롤러에 구동 신호를 동시에 출력함을 특징으로 한다.
동기신호발생부, 동시, 조명, 카메라, 영상포획부

37. 发明公开

KR1020110008916A 그림자를 이용한 솔라셀용 웨이퍼 검사 방법 无效
标题翻译：使用阴影的太阳能电池的检查方法
公开(公告)号：KR1020110008916A
公开(公告)日：2011-01-27
申请号：KR1020090066476
申请日：2009-07-21
申请人： (주) 인텍플러스 , 한밭대학교 산학협력단
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 주병권 , 이현민 , 명태식
IPC分类号： H01L21/66
摘要： PURPOSE: A wafer inspecting method for a solar cell using shadows is provided to detect the saw-mark of a wafer by radiating light to the wafer in order to form shadows based on the protrusion or recess of the saw-mark. CONSTITUTION: Light is radiated to a wafer for a solar cell(1). A protruded or recessed saw-mark(2) formed on the wafer for the solar cell. The saw-mark generates shadows(3) by the light. In a wafer inspecting process, the wafer for the solar cell is transferred. The saw-mark of the wafer is detected based on the shadows generated from the saw-mark regardless of the movement of the wafer for the solar cell.
摘要翻译：目的：提供使用阴影的太阳能电池的晶片检查方法，以通过向晶片辐射光来检测晶片的锯痕，以便基于锯痕的突起或凹陷形成阴影。规定：将光照射到太阳能电池的晶片（1）。在太阳能电池晶片上形成的突出或凹陷的锯痕（2）。锯痕通过灯光产生阴影（3）。在晶片检查过程中，转移用于太阳能电池的晶片。基于由锯片产生的阴影来检测晶片的锯痕，而与太阳能电池的晶片的移动无关。

38. 发明公开

KR1020100039958A 가림막을 구비한 비전검사 장치 有权
标题翻译：一个视觉检查装置与一个INTERCEPT会员
公开(公告)号：KR1020100039958A
公开(公告)日：2010-04-19
申请号：KR1020080098963
申请日：2008-10-09
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 주병권 , 이태용
IPC分类号： G01B11/10 , G01B11/24
摘要： PURPOSE: A vision inspection device equipped with diaphragm is provided to acquire clear image by reaching an IR illuminator near a measured object and installing the IR illuminator to the top of a conveyer belt in order not to interfere. CONSTITUTION: A vision inspection device equipped with diaphragm(100) comprises: a first inspection unit(10) which obtains image from reflected light from a surface of a measured object and comprises a RGB illuminator(11) which is placed on the upper part of the conveyer belt and a first image acquisition part(12) which is placed on the upper part of the RGB illuminator; and a second inspection unit(20) which obtains image from light which penetrates through the object between one conveyer belt(40) and another conveyer belt.
摘要翻译：目的：提供装有隔膜的视力检查装置，通过到达测量对象附近的红外照明器并将红外照明器安装到输送带的顶部以获得清晰的图像，以免干扰。构成：装备有隔膜（100）的视觉检查装置包括：第一检查单元（10），其从被测物体的表面的反射光获得图像，并且包括RGB照明器（11），其被放置在输送带和放置在RGB照明器的上部的第一图像获取部分（12）; 以及第二检查单元（20），其从在一个输送带（40）和另一个输送带之间穿过物体的光获得图像。

39. 发明授权

KR100939537B1 표면 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법 有权
标题翻译：用于测量表面形状的系统及其测量方法
公开(公告)号：KR100939537B1
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：KR1020070131395
申请日：2007-12-14
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 이상윤 , 강민구 , 임쌍근
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/30
CPC分类号： G01B11/2441
摘要： 본 발명은 백색광 주사 간섭 원리를 이용하는 단일 장비에서 2차원과 3차원 정보 획득을 모두 실시할 수 있으며, 측정물 전체 면적에 대한 검사를 수행하는 대신 특정 영역에 대해서만 3차원 검사를 수행 할 수 있도록 하는 표면 형상 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 표면 형상 측정 시스템은 주 광원과 집광렌즈와 투영렌즈로 구성되는 조명부와, 상기 조명부로부터의 조명광이 각각 기준미러의 기준면(R)과 측정물 측정면(P)에 조사되도록 분할시키는 빔분할기와, 상기 측정면(P)과 상기 기준면(R)으로부터 각각 반사되는 기준광과 측정광의 간섭에 의해 생성된 간섭무늬를 촬영하는 광검출소자, 및 상기 광검출소자를 통해 촬상된 화상으로부터 백색광 간섭무늬 해석을 통해 표면 형상 정보를 획득하고 획득된 정보를 통해 결함 유무 검출을 하는 제어 컴퓨터를 포함하는 표면 형상 측정 시스템에 있어서, 상기 측정물과 빔분할기 사이에 측정물에 대하여 낙사 조명을 제공하는 보조광원을 더 구비하고, 상기 주 광원과 보조광원의 점등 및 상기 기준면(R)으로의 조명 조사를 선택적으로 단속하여 표면 형상에 대한 2차원 정보 및 3차원 정보를 획득하는 것이다.
표면 형상, 기준미러, 보조 기준미러, 주광원, 보조 광원, 측정광, 기준광

40. 发明公开

KR1020090068838A 표면 형상 검사 장치 无效
标题翻译：检查表面形状的装置
公开(公告)号：KR1020090068838A
公开(公告)日：2009-06-29
申请号：KR1020070136618
申请日：2007-12-24
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 유준호 , 강민구 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： G01N21/45 , G01N21/88
摘要： A surface shape inspection device is provided to improve inspection performance for a field of view in a large scale by using an objective lens of a microscope by increasing visibility in the horizontal direction while keeping resolution in the vertical direction. A surface shape inspection device includes a lighting part(1), a beam splitter(2), a photodetector(5), and a control computer(6). The lighting part includes a microscope objective lens(12) for focusing light from a light source(11) into a spot light source shape, a slit(13) formed with a pinhole for passing the light which is projected in the spot light source shape from the objective lens, and a projection lens(14) for providing the light passing through the pinhole to the beam splitter.
摘要翻译：提供了一种表面形状检查装置，通过在保持垂直方向上的分辨率的同时提高水平方向的可视性，通过使用显微镜的物镜来大幅提高视场的检查性能。表面形状检查装置包括照明部（1），分束器（2），光电检测器（5）和控制计算机（6）。照明部分包括用于将来自光源（11）的光聚焦成点光源形状的显微镜物镜（12），形成有用于使以点光源形状投射的光通过的针孔的狭缝（13）和用于将通过针孔的光提供给分束器的投影透镜（14）。

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