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1. 发明授权

KR101496992B1 어레이 기판 검사장치 및 검사방법 有权
标题翻译：用于阵列检测的装置和方法
公开(公告)号：KR101496992B1
公开(公告)日：2015-03-02
申请号：KR1020130137036
申请日：2013-11-12
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 강민구 , 구자철 , 크리스찬로또 , 루돌프모스버거
IPC分类号： G01R31/28 , G02F1/13 , H01L51/50
摘要： 본 발명에서는 컬러필터 기판과의 합착 공정 전에 어레이 기판을 비접촉 방식으로 검사할 수 있는 어레이 기판 검사장치 및 검사방법이 개시된다.
본 발명에 따르면, 복수의 픽셀영역을 포함하는 어레이 기판을 검사하기 위한 것으로, 상기 어레이 기판의 상부에 상기 각각의 픽셀영역과 대응하도록 배치되고, 상기 어레이 기판과의 전압차로 인해 발생된 전기장을 통해 유도된 전하를 저장하는 복수의 금속전극들로 이루어진 금속전극 어레이와, 상기 어레이 기판과 금속전극 어레이에 전압을 인가하는 전압공급부와, 상기 각각의 금속전극에 저장된 전하량을 전압으로 변환하여 출력하는 컨버터와, 상기 컨버터에서 출력된 전압값을 입력 받아 디지털 신호로 변환하여 출력하는 AD변환기와, 상기 AD변환기에서 출력된 디지털 신호를 기초로 검사 이미지를 만드는 이미지 생성수단을 포함한다.
摘要翻译：在本发明中，公开了一种用于检查阵列基板的装置和方法，该阵列基板在与滤色器基板的接合处理之前可以通过非接触方式检查阵列基板。根据本发明，用于检查包括多个像素区域的阵列基板的装置包括：金属电极阵列，设置在阵列基板的上部，以对应于每个像素区域，以存储通过由于与阵列基板的电压差而产生的电场; 电压供应单元，用于向阵列基板和金属电极阵列施加电压; 将存储在每个金属电极中的电荷转换成电压并输出电压的转换器; 用于接收从转换器输出的电压的AD转换器将电压转换成数字信号并输出数字信号; 以及图像生成装置，用于基于从AD转换器输出的数字信号生成检查图像。

2. 发明授权

KR101434637B1 자동광학 검사장치 有权
标题翻译：自动光学检测系统
公开(公告)号：KR101434637B1
公开(公告)日：2014-08-26
申请号：KR1020120078932
申请日：2012-07-19
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 고민성 , 강민구 , 이상윤 , 이현민
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/00
摘要： 본 발명은 검사가 진행되는 과정에서 중첩되는 이미지 프레임에 각기 다른 조명을 조사하여 검출력을 높여줌에 따라 검사성이 확보된 자동광학 검사장치가 개시된다. 본 발명에 따르면, 검사대상물이 탑재되는 스테이지와, 상기 스테이지에 탑재된 검사대상물을 촬영하는 촬영유닛과, 상기 검사대상물로 광을 조사하는 조명유닛과, 상기 촬영유닛과 상기 검사대상물의 상대위치가 변경되도록 상기 스테이지 또는 촬영유닛을 직선이동시키는 이동유닛을 포함하되, 상기 이동유닛의 이동속도는 상기 촬영유닛에서 획득한 N번째 영상과 N+1번째 영상의 일부가 상호 중첩될 수 있도록 설정된다.

3. 发明授权

KR101415187B1 오토 포커싱 장치 有权
标题翻译：自动对焦装置
公开(公告)号：KR101415187B1
公开(公告)日：2014-07-07
申请号：KR1020120129025
申请日：2012-11-14
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 강민구 , 구자철 , 송기오 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： G03B13/36 , G01N21/00
摘要： 본 발명은 튜너블 유체렌즈를 이용하여 피검사물과의 최적의 초점거리를 파악하고 정밀한 초점 조절이 이루어짐에 따라 검사장치가 피검사물의 결함을 보다 명확하게 인식할 수 있도록 하는 오토 포커싱 장치에 관한 것으로, 검사용 카메라의 자동초점조절을 위해 검사장치에 장착되며, 피검사물에 조명을 출력하는 광원과, 상기 조명에 의해 반사된 피검사물의 이미지를 획득하는 제1 카메라와, 상기 제1 카메라와 피검사물 사이에 배치되는 튜너블 유체렌즈와, 상기 튜너블 유체렌즈에 가해지는 전류값을 조절하여, 튜너블 유체렌즈의 초점거리를 가변하는 제어부와, 상기 튜너블 유체렌즈의 가변 초점거리에 따른 피검사물의 이미지를 분석하여 최적의 초점거리를 산출하는 분석부와, 상기 분석부의 산출 결과에 대응하여 검사용 카메라와 피검사물 사이 간격을 조절하는 거리조절부를 포함한다.

4. 发明授权

KR101410038B1 유리기판 절단장치 有权
标题翻译：玻璃切割机
公开(公告)号：KR101410038B1
公开(公告)日：2014-06-20
申请号：KR1020120016112
申请日：2012-02-17
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 고승규 , 장영배
IPC分类号： C03B33/02 , C03B33/03
摘要： 유리기판을 절단하는 과정에서 이물질 제거 효율이 향상될 수 있게 한 유리기판 절단장치가 개시된다. 이를 위한, 유리기판 절단장치는 절단공구로부터 일정거리 이격되도록 절단공구의 주변을 따라 배치되어 유리기판을 향하여 유체를 분사시키도록 형성된 분사유닛과, 상기 분사유닛과 절단공구 사이의 공간과 연통되도록 형성되어 유리기판 상의 이물질이 상기 분사유닛으로부터 분사된 유체와 함께 배출되게 하는 배출유닛을 포함한다.

5. 发明授权

KR101400757B1 디스플레이 패널 검사장치 有权
标题翻译：显示面板检查装置
公开(公告)号：KR101400757B1
公开(公告)日：2014-05-27
申请号：KR1020120078930
申请日：2012-07-19
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 강민구 , 유준호 , 이현민
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/40 , G01N21/88 , H01L51/56
摘要： 본 발명은 대형화 추세에 있는 디스플레이 패널의 생산 효율을 높이기 위하여 보다 신속한 검사속도를 제공하고, 디스플레이의 전 화면을 균일하면서도 세밀하게 검사할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 면 형태의 이미지를 출력하는 디스플레이 패널 전체 또는 일부를 커버하도록 상기 디스플레이 패널의 상부에 배치되어, 상기 디스플레이 패널에서 출력되는 면 형태의 이미지를 입사하는 렌즈와, 상기 렌즈의 상부에 배치되어 상기 렌즈에서 출력된 면 형태의 이미지를 라인 형태의 이미지로 통과시키는 슬릿과, 상기 슬릿에서 출력된 라인형태 이미지의 스펙트럼을 생성하는 분광기와, 상기 분광기를 통해 생성된 면 형태의 스펙트럼 영상을 획득하는 카메라가 동축상에 배치된 검사유닛을 포함하여, 상기 카메라에서 획득한 스펙트럼 영상으로 파장별 강도를 파악하여 상기 디스플레이 패널의 불량여부를 검출한다.

6. 发明公开

KR1020140013170A 디스플레이 패널 검사장치 有权
标题翻译： DIAPLAY面板检查装置
公开(公告)号：KR1020140013170A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120078933
申请日：2012-07-19
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 강민구 , 이현민
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/55 , G01N25/72
摘要： The present invention relates to an inspection device for a display panel to enable precise inspection for defects of a high pixel display panel using the reflectivity difference of visible light and more specifically, to an inspection device for a display panel including a lighting part to emit visible light to the surface of a display panel; an image obtaining part for photographing the visible light which is emitted by the lighting part and reflected on the display panel; and a control part which detects defective areas on the display panel by measuring the temperature profile of the display panel using an image photographed by the image obtaining part based on the fact that the reflectance of visible light changes when the temperature of the display panel changes.
摘要翻译：本发明涉及一种用于显示面板的检查装置，其能够使用可见光的反射率差来精确地检查高像素显示面板的缺陷，更具体地，涉及一种用于显示面板的检查装置，该显示面板包括照明部分以发出可见光光到显示面板的表面; 图像获取部分，用于拍摄由照明部分发射并在显示面板上反射的可见光; 以及控制部，其基于当显示面板的温度变化时可见光的反射率发生变化的事实，通过使用由图像获取部拍摄的图像来测量显示面板的温度分布来检测显示面板上的缺陷区域。

7. 发明公开

KR1020130029682A 평판 패널 검사방법 有权
标题翻译：检查平板的方法
公开(公告)号：KR1020130029682A
公开(公告)日：2013-03-25
申请号：KR1020110093102
申请日：2011-09-15
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 손재호 , 이현민 , 강민구 , 이상윤 , 임쌍근
IPC分类号： G01N21/956 , G01B11/30 , G02F1/13
CPC分类号： G06T7/0004 , G01N21/95 , G01N2021/9513 , G02F1/1309 , G06T2207/30121 , H04N7/18
摘要： PURPOSE: A flat panel inspection method is provided to accurately determine the fault of target measuring objects by using an image having the best visibility among multiple images. CONSTITUTION: A flat panel inspection method is as follows; a step for arranging a camera at a position where a flat panel(10) is measured by horizontally moving at least one of the flat panel and a camera(20); a step for automatically bringing the camera into a focus on a target measuring object of the flat panel; a step for obtaining multiple images of the target measuring object while the camera vertically moves in a set range in a state of bringing the camera into a focus; and a step for determining the fault of the target measuring object by processing an image which has the best visibility among the obtained images. [Reference numerals] (40) Control unit
摘要翻译：目的：提供一种平板检查方法，通过使用多个图像中具有最佳可见度的图像来准确地确定目标测量对象的故障。规定：平板检查方法如下：通过水平移动平板和相机（20）中的至少一个来测量在平板（10）的位置处布置相机的步骤; 自动将相机对准平板的目标测量对象的步骤; 在使相机进行聚焦的状态下，在照相机在设定范围内垂直移动的同时获得目标测量对象的多个图像的步骤; 以及通过处理所获得的图像中具有最佳可见度的图像来确定目标测量对象的故障的步骤。（附图标记）（40）控制单元

8. 发明授权

KR101116295B1 입체 형상 측정장치 有权
标题翻译：三维形状测量装置
公开(公告)号：KR101116295B1
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：KR1020090045042
申请日：2009-05-22
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 유준호 , 장석준
IPC分类号： G01B11/24 , G02B5/00 , G01B11/25
CPC分类号： G01B11/24
摘要： 본 발명은 최고점과 최저점 단차를 가지는 측정 대상물에 대한 최고점 반사거리와 동일한 기준면 반사거리 및 최저점 반사거리와 동일한 기준면 반사거리를 조절할 수 있도록 빔분할기 이동수단을 빔분할기에 설치하여 빔분할기의 위치를 조절함에 의해 반사거리가 조절될 수 있게 함으로써, 전체적인 구조를 단순화시킬 수 있게 한 입체 형상 측정장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 입체 형상 측정장치는 광원과, 상기 광원으로부터의 조명광을 분할시켜 측정 대상물에 조명광을 조사하는 빔분할기와, 상기 빔분할기로부터의 조명광이 조사되는 기준미러와, 측정 대상물의 표면과 상기 기준미러로부터 반사되어 합쳐진 간섭무늬를 촬영하는 촬영장치, 및 상기 촬영장치를 통해 촬영된 영상을 처리하는 제어 컴퓨터를 포함하는 입체 형상 측정장치에 있어서, 상기 빔분할기에는 상기 측정 대상물의 최고점의 반사거리 및 상기 측정 대상물의 최저점 반사거리와 각각 동일한 반사거리를 제공할 수 있도록 빔분할기의 위치를 조절하기 위한 빔분할기 이동수단을 더 구비함을 특징으로 한다.
입체 형상, 간섭무늬, 반사거리, 빔분할기 이동수단, 빔분할기

9. 发明公开

KR1020110065064A 발광 다이오드 칩 패키지의 본딩와이어 검사 장치 및 그 방법 无效
标题翻译：用于在发光二极管芯片封装中连接线的检查装置和方法
公开(公告)号：KR1020110065064A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：KR1020090121896
申请日：2009-12-09
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 이효중 , 장은휘
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/60
CPC分类号： H01L2224/859 , H01L2924/01079
摘要： PURPOSE: An apparatus for inspecting bonding wires in a light emitting diode chip package and a method for the same are provided to verify the accurate path of the bonding wires by acquiring images based on light with different wavelengths and integrating the images. CONSTITUTION: A light illuminating part(10) radiates light in a specific wavelength. The light illuminating part is composed of co-axial illumination. A image taking part takes images with respect to the upper side of a light emitting diode chip package(40). A controlling part(30) outputs an on/off controlling signal for the light illuminating part and a synchronizing signal for the image taking part. An image acquiring part acquires the images.
摘要翻译：目的：提供一种用于检查发光二极管芯片封装中的接合线的装置及其方法，用于通过基于具有不同波长的光获取图像并对图像进行积分来验证接合线的精确路径。构成：光照射部（10）照射特定波长的光。光照射部分由同轴照明组成。图像摄取部分相对于发光二极管芯片封装（40）的上侧拍摄图像。控制部（30）输出用于光照射部的开/关控制信号和摄像部的同步信号。图像获取部分获取图像。

10. 发明授权

KR101000523B1 가림막을 구비한 비전검사 장치 有权
标题翻译：具有拦截构件的视觉检查装置
公开(公告)号：KR101000523B1
公开(公告)日：2010-12-14
申请号：KR1020080098963
申请日：2008-10-09
申请人： (주) 인텍플러스
发明人： 임쌍근 , 이상윤 , 주병권 , 이태용
IPC分类号： G01B11/10 , G01B11/24
摘要： 본 발명은 IR 조명을 측정대상물에 최대한 근접시켜 보다 선명한 영상을 획득할 수 있으며, 또한 가림막을 통해 IR 조명과 같은 투과 광학계에서 자주 발생되는 영상의 광 번짐 현상(획득되는 영상에서 측정대상물의 주변 경계(Edge)가 광의 침범으로 인해 허물어 지는 현상)을 방지할 수 있는 구조의 가림막이 구비된 비전검사 장치에 관한 것이다.
듀얼, 영상, 비전, 반도체, 웨이퍼, 적외선, IR, RGB, 조명

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