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21. 发明公开

KR1019970077407A 반도체 장치의 선폭 측정 방법 无效
标题翻译：测量半导体器件线宽的方法
公开(公告)号：KR1019970077407A
公开(公告)日：1997-12-12
申请号：KR1019960014858
申请日：1996-05-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박동진 , 이병암 , 최상봉 , 문상영
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 본 발명은 반도체 장치의 각 제조 공정에서 형성되는 패턴의 선폭 측정을 보조선을 이용하여 보다 정확히 이루어질 수 있도록 한 반도체 장치의 선폭 측정 방법에 관한 것으로서, 선폭 측정 위치의 기준이 되는 웨이퍼 상에 형성된 패턴의 모양에 선폭의 측정 위치를 찾기 위한 보조선들을 표시해 주는 단계; 상기 보조선들 사이의 적당한 위치를 측정 위치로 인식시키는 단계; 및, 상기 측정 위치에 측정 커서를 일치시키고 선폭을 측정하는 단계를 구비하여 이루어지며, 이 방법에 의하면 종래 작업자가 임의적으로 측정 위치를 확정하여 선폭을 측정하는 방법에 비해 오류를 줄일 수 있게 된다.

22. 发明授权

KR100846635B1 주사 전자 현미경의 초점 조절 방법 失效
标题翻译：自动聚焦扫描电子显微镜的方法
公开(公告)号：KR100846635B1
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：KR1020070029168
申请日：2007-03-26
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김종덕 , 이병암 , 김경호 , 안병설 , 박영헌 , 사공정
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/216
摘要： A method for adjusting a focal point of a scanning electron microscope is provided to accurately detect a size of a pattern formed on a subject by obtaining an accurate image of the subject. A scanning electron microscope includes a stage(10) for a subject(30), an inspection member, and an auto-focusing member. The inspection member includes a lens assembly(22), a detector(24), and an ADC(Analog Digital Converter)(26). The lens assembly includes an electron gun, a focusing lens, a deflection coil, an objective lens, and an auxiliary coil. The detector detects secondary electrons, which are generated by a surface reaction due to accelerated electrons on a surface of the subject. The ADC converts the signal from the detector into a digital signal.
摘要翻译：提供了一种用于调整扫描电子显微镜的焦点的方法，通过获得对象的准确图像来精确地检测形成在被摄体上的图案的尺寸。扫描电子显微镜包括用于被检体（30）的台（10），检查部件和自动聚焦部件。检查构件包括透镜组件（22），检测器（24）和ADC（模数转换器）（26）。透镜组件包括电子枪，聚焦透镜，偏转线圈，物镜和辅助线圈。检测器检测由于受试者表面上的加速电子而由表面反应产生的二次电子。 ADC将来自检测器的信号转换为数字信号。

23. 发明公开

KR1020070016496A 결함 분류 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 失效
标题翻译：用于分类缺陷的方法和用于执行该缺陷的设备
公开(公告)号：KR1020070016496A
公开(公告)日：2007-02-08
申请号：KR1020050071227
申请日：2005-08-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 임영규 , 이병암 , 고재균 , 임송식 , 이용우
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/94 , G01N2021/8854
摘要： 결함 분류 방법에 따르면, 공정들이 순차적으로 수행된 대상물 상의 각 공정별 실제 결함들에 대한 실제 정보들을 수득한다. 이어서, 실제 정보들을 공정들의 순서대로 순차적으로 누적하여 각 공정별 복합 정보들을 수득한다. 그런 다음, 실제 정보들과 복합 정보들로부터 각 공정별 실제 결함들 중에서 각 공정 중에 발생된 결함들에 대한 부가 정보들을 수득한다. 각 공정에서 실질적으로 발생된 결함들에 대한 부가 정보들을 얻을 수가 있게 되므로, 결함들이 어느 공정에서 발생되었는지를 정확하게 파악할 수가 있다.
摘要翻译：根据缺陷分类方法，这些过程获得关于顺序执行的对象上的每个过程的实际缺陷的实际信息。随后，按照处理的顺序依次累积实际信息以获得每个处理的合成信息。然后，根据实际信息和复合信息，获得每个过程的实际缺陷之间在每个过程中产生的缺陷的附加信息。可以获得关于在每个过程中基本上产生的缺陷的附加信息，从而可以准确地掌握缺陷发生的过程。

24. 发明授权

KR100591736B1 기판의 반복 결함 분류 방법 및 장치 失效
标题翻译：用于重复衬底缺陷分类的方法和设备
公开(公告)号：KR100591736B1
公开(公告)日：2006-06-22
申请号：KR1020040054346
申请日：2004-07-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 임영규 , 이병암 , 안병설 , 조재선 , 이창훈 , 이정란 , 이성만
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/95607
摘要： 기판의 반복 결함 분류 방법에 따르면, 기판 상의 모든 다이를 기 설정된 기준 다이와 순차적으로 비교한다. 모든 다이들 상의 결함들 위치들과 일대일로 대응하는 좌표들을 기준 다이 상에 설정시킨다. 기준 다이 상의 어느 한 지점으로부터 설정된 공차 영역 내에서 반복적으로 표시되는 좌표들과 대응하는 결함들을 반복 결함으로 분류한다. 다이들을 서로 비교하지 않아도, 기준 다이 상에 반복적으로 나타나는 좌표들을 통해서 반복 결함을 분류할 수가 있게 된다.
摘要翻译：根据对衬底的重复缺陷进行分类的方法，将衬底上的所有裸片顺序地与预设参考裸片进行比较。并在参考模具上的所有模具上设置与缺陷位置一一对应的坐标。对应于在参考模具上的任何一点在设定公差区域中重复显示的坐标的缺陷被分类为重复缺陷。即使模具没有相互比较，也可以通过重复出现在参考模具上的坐标对重复缺陷进行分类。

25. 发明公开

KR1020060068966A 단차 측정 설비 无效
标题翻译：检查步进高度的设备
公开(公告)号：KR1020060068966A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：KR1020040107931
申请日：2004-12-17
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 강경수 , 이병암 , 윤여국 , 이윤섭 , 강대현
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67259 , H01L21/687
摘要： 반도체 기판 상의 단차를 측정하기 위한 단차 측정 설비에 있어서, 카세트 스테이지의 동작 스위치는 인터락 시스템의 동작 스위치와 통합되어 있다. 작업자가 반도체 기판의 단차 측정을 위하여 카세트를 카세트 스테이지에 로딩시킨 후, 카세트 스테이지의 동작 스위치를 동작시키면 이와 동시에 인터락 시스템이 동작되며, 단차 측정 모듈은 중앙 처리 장치로부터 다운로드된 공정 레시피에 따라 단차 측정 공정을 수행한다. 따라서, 작업자가 카세트 스테이지의 동작 스위치를 작동시킨 후, 중앙 처리 장치의 인터락 시스템을 작동시키기 위하여 이동해야하는 종래의 번거로움을 제거할 수 있다.

26. 发明授权

KR100562509B1 자동 포커싱 장치 및 이를 이용한 자동 포커싱 방법 失效
标题翻译：自动聚焦装置及其自动聚焦方法
公开(公告)号：KR100562509B1
公开(公告)日：2006-03-21
申请号：KR1020030090640
申请日：2003-12-12
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김용완 , 이상길 , 이병암 , 이진우 , 조효상
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01J37/21 , H01J2237/216
摘要： 본 발명은 자동 포커싱 장치 및 이를 이용한 자동 포커싱 방법에 관한 것으로, 주사전자현미경을 포함하는 포커싱부와, 디텍터와 A/D 컨버터와 컨트롤러를 포함하는 제어부와, 상기 컨트롤러에 소정의 정보를 입력하는 입력부와, 상기 제어부의 동작을 시각적으로 나타내는 표시부를 포함하는 자동 포커싱 장치를 이용하여, 포커싱 평가값을 수치화하고, 상기 수치화된 포커싱 평가값과 기설정된 포커싱 평가값의 허용 레벨을 비교 판별하고, 상기 수치화된 포커싱 평가값이 상기 허용 레벨 미만이면 포커싱의 초점심도 대역을 늘려가면서 반복적으로 포커싱하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 불량이 아닌 패턴을 불량으로 측정하는 포커스 불량 문제가 해결되는 것이다.

27. 发明公开

KR1020060006173A 기판 정렬 방법 및 장치, 이를 이용한 기판의 결함 검사방법 및 장치 失效
标题翻译：用于衬底对准的方法和设备，使用该方法和设备在衬底上进行缺陷检测的方法和设备
公开(公告)号：KR1020060006173A
公开(公告)日：2006-01-19
申请号：KR1020040055063
申请日：2004-07-15
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이성만 , 이병암 , 안병설 , 조재선 , 이창훈 , 임영규
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/95607
摘要： 기판 정렬 방법에 따르면, 패턴을 갖는 기판을 1차 정렬시킨다. 패턴의 형상과 대응하는 패턴 정보를 획득한다. 이어서, 패턴 정보를 기 설정된 기준 패턴 정보와 비교한 후, 비교 결과에 따라 기준 패턴 정보를 패턴 정보로 교체한다. 패턴의 위치가 패턴 정보와 일치되도록, 기판을 2차 정렬시킨다. 따라서, 2차 정렬 공정 중에, 정상 패턴을 갖는 기판을 오류로 판정하여, 기판에 대한 1차 및 2차 정렬 공정들을 처음부터 다시 수행할 필요가 없게 된다.
摘要翻译：根据衬底对准方法，具有图案的衬底主要对准。并且获得与图案的形状相对应的图案信息。随后，将图案信息与预定参考图案信息进行比较，并且根据比较结果将参考图案信息替换为图案信息。第二次对齐衬底，使得图案的位置与图案信息匹配。因此，在第二对准过程期间，具有正常图案的衬底被确定为错误的，并且不必从头再次对衬底执行初次和次级对准过程。

28. 发明公开

KR1020060005517A 기판의 반복 결함 분류 방법 및 장치 失效
标题翻译：在基板上分类重复缺陷的方法和装置
公开(公告)号：KR1020060005517A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：KR1020040054346
申请日：2004-07-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 임영규 , 이병암 , 안병설 , 조재선 , 이창훈 , 이정란 , 이성만
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/95607
摘要： 기판의 반복 결함 분류 방법에 따르면, 기판 상의 모든 다이를 기 설정된 기준 다이와 순차적으로 비교한다. 모든 다이들 상의 결함들 위치들과 일대일로 대응하는 좌표들을 기준 다이 상에 설정시킨다. 기준 다이 상의 어느 한 지점으로부터 설정된 공차 영역 내에서 반복적으로 표시되는 좌표들과 대응하는 결함들을 반복 결함으로 분류한다. 다이들을 서로 비교하지 않아도, 기준 다이 상에 반복적으로 나타나는 좌표들을 통해서 반복 결함을 분류할 수가 있게 된다.

29. 发明公开

KR1020050058684A 자동 포커싱 장치 및 이를 이용한 자동 포커싱 방법 失效
标题翻译：自动聚焦装置及其自动聚焦方法
公开(公告)号：KR1020050058684A
公开(公告)日：2005-06-17
申请号：KR1020030090640
申请日：2003-12-12
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김용완 , 이상길 , 이병암 , 이진우 , 조효상
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01J37/21 , H01J2237/216
摘要： 본 발명은 자동 포커싱 장치 및 이를 이용한 자동 포커싱 방법에 관한 것으로, 주사전자현미경을 포함하는 포커싱부와, 디텍터와 A/D 컨버터와 컨트롤러를 포함하는 제어부와, 상기 컨트롤러에 소정의 정보를 입력하는 입력부와, 상기 제어부의 동작을 시각적으로 나타내는 표시부를 포함하는 자동 포커싱 장치를 이용하여, 포커싱 평가값을 수치화하고, 상기 수치화된 포커싱 평가값과 기설정된 포커싱 평가값의 허용 레벨을 비교 판별하고, 상기 수치화된 포커싱 평가값이 상기 허용 레벨 미만이면 포커싱의 초점심도 대역을 늘려가면서 반복적으로 포커싱하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 불량이 아닌 패턴을 불량으로 측정하는 포커스 불량 문제가 해결되는 것이다.

30. 发明授权

KR100489656B1 기판 계측 장치의 에러를 탐지하는 방법 失效
标题翻译：用于检测用于测量衬底的部件的误差的方法
公开(公告)号：KR100489656B1
公开(公告)日：2005-05-17
申请号：KR1020030010883
申请日：2003-02-21
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김용완 , 이병암 , 임규홍 , 이병석 , 조효상
IPC分类号： H01L21/027
摘要： 기판 계측 장치의 에러를 탐지하는 방법이 개시되어 있다. 상기 방법은 상기 기판 계측 장치를 이용하여 기판 상에 형성된 패턴의 선폭을 측정하고, 상기 선폭이 불량으로 판단되는 경우, 상기 선폭을 측정하는 기판 계측 장치의 동작 상태에 대한 데이터를 형성한다. 상기 기판 계측 장치의 동작 상태에 대한 데이터와 기 입력된 기판 계측 장치의 에러 유형에 대한 데이터를 비교 분석하여 상기 기판 계측 장치에 발생한 에러의 위치와 에러의 종류를 파악하고, 상기 비교 분석의 결과를 디스플레이한다. 상기 비교 분석 결과를 통하여 상기 기판 계측 장치의 에러 발생 위치와 종류를 실시간으로 확인할 수 있다. 따라서 시간의 지연없이 상기 기판 계측 장치의 에러를 분석하여 조치할 수 있다.

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