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11. 发明授权

KR101306904B1 실리콘잉곳의 복합가공기 有权
标题翻译：硅胶多功能机
公开(公告)号：KR101306904B1
公开(公告)日：2013-09-10
申请号：KR1020110084490
申请日：2011-08-24
申请人： (주)대성하이텍
发明人： 최우각 , 유명호
IPC分类号： B28D5/00 , B28D7/04 , B24B9/06 , B24B27/06
CPC分类号： B28D5/0082 , B24B7/22 , B24B27/06 , B28D5/0088
摘要： 본 발명에 의한 실리콘잉곳의 복합가공기는 실리콘잉곳을 절삭 및 연삭하는 것으로 이루어지는 실리콘잉곳의 복합가공기에 있어서, 메인프레임의 한쪽 측면에 설치되어 실리콘잉곳의 자세를 정렬하는 정렬장치, 상기 정렬장치에서 정렬된 실리콘잉곳을 잡아서 이동하는 오토로딩장치, 상기 메인프레임의 상측 중앙부에 설치되어 오토로딩장치에서 이동된 실리콘잉곳을 잡아서 메인프레임의 길이 방향으로 이동함과 아울러 실리콘잉곳을 회전하는 클램핑장치, 상기 메인프레임의 중앙부 양측에 각각 설치되어 상기 클램핑장치에 의해 이동 및 회전되는 실리콘잉곳의 양측면을 절삭 가공하는 한 쌍의 절삭장치, 상기 절삭장치의 뒤쪽으로부터 이격되어 상기 메인프레임의 뒤쪽 상부 양측에 차례로 설치되어 상기 클램핑장치에 의해 이동 및 회전되어 상기 절삭장치로 절삭된 실리콘잉곳의 양측면을 연삭 가공하는 두 쌍의 연삭장치로 이루어진다.
따라서 본 발명은 정렬장치로 실리콘잉곳의 자세를 정렬한 뒤에 오토로딩장치로 클램핑장치에 설치하여 클램핑장치로 실리콘잉곳을 이동 및 회전하면서 절삭 가공과 연삭 가공을 차례로 진행하기 때문에, 실리콘잉곳의 양측면 절삭과 챔퍼링, 그라인딩을 단계적으로 진행할 수 있어 작업성을 향상하고, 실리콘잉곳의 가공 정도와 가공 시간을 합리화하여 일정한 품질을 용이하게 유지할 수 있는 등의 효과를 발휘한다.

12. 发明授权

KR101064266B1 와이어소를 이용한 사파이어 잉곳의 절단방법 有权
标题翻译：使用线锯的SAPPHIRE INGOT切割方法
公开(公告)号：KR101064266B1
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：KR1020110031071
申请日：2011-04-05
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 조형호 , 김성렬 , 이영철 , 이상직
IPC分类号： B28D5/04 , B24B27/06 , H01L21/304
CPC分类号： B28D5/0088 , B28D5/045
摘要： 본 발명의 목적은 사파이어 잉곳을 와이어소로써 절단하여 사파이어 웨이퍼를 제조함에 있어서, 사파이어 잉곳을 회전시킴과 동시에 결정축에 직각인 평면에 대하여 소정각도 기울어지게 절단할 수 있는 사파이어 잉곳의 절단방법을 제공하는 것이다. 이에 따라, 본 발명은 절단와이어의 열(列)이 형성된 와이어소(wire saw)에 의해 사파이어 잉곳이 절단되는 방법에 있어서, 결정축을 가진 기둥형상의 사파이어 잉곳이 준비되고 상기 잉곳의 길이방향의 양측면에 글래스(glass)부재 또는 세라믹부재가 부착되는 1단계; 상기 1단계 후, 양측의 상기 글래스부재 또는 세라믹부재의 외면에 양측 부착부가 부착되어 상기 잉곳이 고정되되, 상기 부착부에 연결된 스핀들의 회전축과 상기 결정축이 소정각도(α)를 이룬 상태에서 상기 잉곳이 고정되는 2단계; 및, 상기 2단계 후, 상기 스핀들이 회전됨으로써 회전하는 상기 잉곳을 상기 절단와이어에 절입시켜 상기 잉곳이 다수의 웨이퍼의 형상으로 절단이 진행되는 3단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

13. 发明公开

KR1020110008390A 잉곳 스퀘어링 및 그라인딩 장비의 클램프 无效
标题翻译：夹头和研磨机的夹具
公开(公告)号：KR1020110008390A
公开(公告)日：2011-01-27
申请号：KR1020090065723
申请日：2009-07-20
申请人： 한미반도체 주식회사
发明人： 정현권 , 나익균 , 박주호
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/30 , H01L21/304
CPC分类号： B28D5/0088 , B24B5/02
摘要： PURPOSE: A clamp for ingot squaring and a grinding machine are provided to improve the accuracy of production quality by adopting a clamping type supported from inner side and outer side in cramping. CONSTITUTION: A clamp body(10) has a concave spherical surface(13a). A clamp chuck(11) is rotatable in the concave spherical surface and has a spherical surface corresponding to the concave spherical surface, and it fixes the section of an ingot. The center of the chuck clamp contacting with the section of ingot is set at the center of the clamp. Even if the section of the ingot is inclined, the center of the ingot accords with the center of the clamp.
摘要翻译：目的：提供锭子平衡夹具和磨床，通过采用从内侧和外侧支撑的夹紧式来提高生产质量的准确性。构成：夹具体（10）具有凹形的球形表面（13a）。夹具卡盘（11）可在凹球面中旋转，并具有与凹球面对应的球形表面，并固定锭块。与锭块部分接触的卡盘夹具的中心设置在夹具的中心。即使锭的部分倾斜，锭的中心也与夹具的中心一致。

14. 发明公开

KR1020020041175A 수직형 웨이퍼 소잉 장치 失效
标题翻译：垂直定位波形的锯齿装置
公开(公告)号：KR1020020041175A
公开(公告)日：2002-06-01
申请号：KR1020000070968
申请日：2000-11-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김동국 , 안승철
IPC分类号： H01L21/301
CPC分类号： B28D5/029 , B23K2201/40 , B28D1/221 , B28D5/0076 , B28D5/0082 , B28D5/0088 , B28D5/0094 , B28D5/024
摘要： PURPOSE: A sawing apparatus of a vertically positioned wafer is provided to improve the cleansing efficiency and to reduce an installing space by sawing a wafer in the perpendicular state. CONSTITUTION: A sawing apparatus(100) comprises a chuck table(111) fixed with a wafer(10), a cutting blade(121) as a cutting part to cut the wafer fixed on the chuck table(111), transfer parts(140,150) transferring the wafer(10) from a wafer cassette(20) to the chuck table(111) and reversely transferring the wafer(10) from the chuck table(111) to the wafer cassette(20) after completing the sawing processing, and a spraying nozzle(125) as a cleansing part is installed over the wafer(10) so as to remove silicon particles or dust. The chuck table surface fixed with the wafer(10) is vertical to the earth so as to saw the wafer(10) in the vertical state.
摘要翻译：目的：提供垂直定位的晶片的锯切装置，以提高清洁效率并通过在垂直状态下锯切晶片来减少安装空间。构成：锯切装置（100）包括固定有晶片（10）的卡盘台（111），作为切割部的切割刀片（121），以切割固定在卡盘台（111）上的转印部件（140,150 ）将晶片（10）从晶片盒（20）传送到卡盘台（111），并且在完成锯切处理之后将晶片（10）从卡盘台（111）反向转移到晶片盒（20），以及作为清洁部件的喷嘴（125）安装在晶片（10）上，以便去除硅颗粒或灰尘。与晶片（10）固定的卡盘台表面垂直于地球，以将晶片（10）看成垂直状态。

15. 发明授权

KR101341899B1 진동장치를 구비한 잉곳 틸팅장치 有权
标题翻译：具有振动安装的INGOT倾斜装置
公开(公告)号：KR101341899B1
公开(公告)日：2014-01-03
申请号：KR1020130088735
申请日：2013-07-26
申请人： (주)새한나노텍
发明人： 안국진 , 권대근
IPC分类号： B28D7/04 , B28D1/08 , B28D5/04 , B23Q3/15
CPC分类号： B28D5/0076 , B28D5/0088
摘要： The present invention relates to an ingot tilting device having a vibration device and, more specifically, to an ingot tilting device having a vibration device which can reduce cutting time with increased cutting speed and can uniformly cut the cut surface of a wafer formed by cutting an ingot by fixing the ingot to be cut by a wire slicing device to be able to tilt so as to minimize frictional heat between the ingot and a diamond wire and cut area. The vibration device increases cutting efficiency by generating minute vibration to the ingot tilting device having the tilting function and minimizes damage to the diamond wire. According to the present invention, the ingot cut by the wire slicing device while being tilted is minutely vibrated because a tilting device fixing spring transfers the vibration to the tilting device through the vibration device, a vertical vibration monorail, and a lateral vibration monorail, thereby removing cut scraps to minimize the frictional heat. Accordingly, the present invention can extend the life of the diamond wire and can precisely form the cut surface of the cut ingot.
摘要翻译：本发明涉及一种具有振动装置的锭倾斜装置，更具体地涉及一种具有振动装置的锭倾斜装置，该振动装置可以以更高的切割速度减少切割时间，并且能够均匀地切割通过切割形成的晶片的切割表面通过固定由切割切割装置切割的锭以能够倾斜以便使锭和金刚石线和切割区域之间的摩擦热最小化。振动装置通过对具有倾斜功能的锭倾斜装置产生微小振动来增加切割效率，并且最小化对金刚石丝线的损坏。根据本发明，由于倾斜装置固定弹簧通过振动装置，垂直振动单轨和横向振动单轨将振动传递到倾斜装置，所以由倾斜装置切割的锭被倾斜时微小地振动，由此去除切屑以最小化摩擦热。因此，本发明可以延长金刚石线的使用寿命，并可精确地形成切割锭的切割面。

16. 发明公开

KR1020130121374A 잉곳의 스윙 중심축의 정렬이 용이하도록 구조가 개선된 잉곳 스윙방식의 와이어 쏘 有权
标题翻译：用于改善设置布置的带有摆动机构的电线
公开(公告)号：KR1020130121374A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：KR1020120044516
申请日：2012-04-27
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 조형호 , 이상직 , 김성렬 , 김도연 , 이태경 , 박철진
IPC分类号： B28D5/04 , H01L21/304 , B24B27/06 , B26D1/547
CPC分类号： B28D5/0088 , B28D5/045
摘要： Disclosed is a wire saw (1) in which an ingot (W) ascends and descends and is swung, and which has a structure improved in order to facilitate the alignment of a swing center shaft (S) and cutting wires (100). In the wire saw (1), the wires (100), which are rolled by two work rollers (R2) separated each other, form a cutting plane (SZ) of the wire lines, and a lifting frame (220) is mounted on a column (210), which is protruding upwardly, to be able to ascend and descend. The lifting frame (220) is combined with an ingot support housing (300). The swing center shaft (S) is mounted on the ingot support housing (300) to be able to rotate. An ingot swing housing (400) is combined with the swing center shaft (S). The ingot (W) is fixated to the ingot swing housing (400). Accordingly, the ingot (W) ascends and descends according to the ascending and descending of the lifting frame (220), and the ingot (W) is swung according to the rotation of the swing center shaft (S). Moreover, the ingot support housing (300) and the lifting frame (220) are connected by a hinge shaft to able to rotate relatively in parallel with the cutting wires. Accordingly, a task for adjusting the swing center shaft (S) to be placed at the right angle to the cutting wires is performed efficiently before or after a process for cutting the ingot (W) while swinging the ingot (W).
摘要翻译：公开了一种线锯（1），其中锭（W）上升和下降并被摆动，并且为了有利于摆动中心轴（S）和切割线（100）的对准，具有改进的结构。在线锯（1）中，由两个分离的工作辊（R2）卷绕的线（100）形成线路的切割平面（SZ），并且将提升框架（220）安装在向上突出的能够上升和下降的柱（210）。提升框架（220）与锭支撑壳体（300）组合。摆动中心轴（S）安装在锭支撑壳体（300）上以能够旋转。铸锭摆动壳体（400）与摆动中心轴（S）组合。铸块（W）固定在铸锭摆动壳体（400）上。因此，锭（W）根据升降架（220）的上升和下降而上升和下降，并且锭（W）根据摆动中心轴（S）的旋转而摆动。此外，锭支撑壳体（300）和提升框架（220）通过铰链轴连接，以能够相对于切割线平行地旋转。因此，在使铸锭（W）摆动的同时切割锭（W）的过程之前或之后，有效地进行调整与切割线成直角配置的摆动中心轴（S）的任务。

17. 发明公开

KR1020120110988A 보석가공장치 无效
标题翻译：加工珠宝的设备
公开(公告)号：KR1020120110988A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：KR1020110029206
申请日：2011-03-31
申请人： 주식회사 쥬얼리스토리
发明人： 이정숙 , 배대옥 , 배연 , 엄영창
IPC分类号： B28D5/00 , B24B47/00 , A44C27/00
CPC分类号： B28D5/021 , B24B47/22 , B28D5/0088
摘要： PURPOSE: A jewelry processing apparatus is provided to grind jewelry into a desired shape by contacting the jewelry at a predetermined angle to a grinding surface of a grinding disk. CONSTITUTION: A jewelry processing apparatus comprises a supporting shaft(50) installed in a base plate(10), a setting bar(59) horizontally installed at a predetermined height on the supporting shaft, a hand piece(62) whose upper part is coupled to the setting bar by a hinge, a side bracket(94), and an eccentric cam(89) which is pivotally installed on one side of the side bracket with an eccentric structure. The hand piece contacts the circumferential surface of the eccentric cam via an angle indicating protrusion(74) and the angle of the hand piece is regulated up and down according to the rotation of the eccentric cam. The eccentric cam contacts the angle indicating protrusion and moves the angle indicating protrusion up and down by the rotational motion.
摘要翻译：目的：提供一种珠宝加工设备，用于将首饰以预定角度与研磨盘的研磨表面接触，以将首饰研磨成所需的形状。构成：珠宝加工装置包括安装在基板（10）中的支撑轴（50），水平地安装在支撑轴上的预定高度的设定杆（59），其上部连接的手柄（62）通过铰链，侧支架（94）和偏心凸轮（89）连接到设定杆，该偏心凸轮以偏心结构枢转地安装在侧支架的一侧上。手柄通过角度指示突起（74）接触偏心凸轮的圆周表面，并且根据偏心凸轮的旋转来调节手柄的角度上下调节。偏心凸轮与角度指示突起接触，并通过旋转运动使角度指示突起上下移动。

18. 发明公开

KR1020110088383A 박막 태양 전지용 스크라이브 장치 有权
标题翻译：薄膜太阳能电池的筛选装置
公开(公告)号：KR1020110088383A
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：KR1020110001726
申请日：2011-01-07
申请人： 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
发明人： 소야마마사노부
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0445
CPC分类号： H01L21/67092 , B28D5/0023 , B28D5/0088 , H01L31/188 , H01L31/1884 , Y02E10/50 , Y10T83/0304 , Y10T83/0348
摘要： PURPOSE: An apparatus for scribing for a thin film solar cell is provided to supply a simple and low cost scribe head by being combined with an air cylinder which is controlled by a spring and an electrical regulator. CONSTITUTION: The blade edge of a groove processing tool(4), which is attached to a scribe head, is pressed by the surface of a solar cell board along the predetermined scribe line of the solar cell board. A groove is formed on the thin film which is formed on the surface of the solar cell board by relatively moving the groove processing tool to the solar cell board. A tool holder(5) holds the groove processing tool while being attached to the scribe head to be movable up and down. An air cylinder(6) presses the tool holder to the surface of the solar cell board. A spring(7) presses the tool holder upward.
摘要翻译：目的：提供一种用于薄膜太阳能电池划片的设备，通过与由弹簧和电调节器控制的气缸组合来提供简单而低成本的划片头。构成：安装在划刻头上的槽加工用工具（4）的刀刃沿着太阳能电池板的规定的划线被太阳能电池板的表面按压。通过将槽处理工具相对移动到太阳能电池板，在形成在太阳能电池板的表面上的薄膜上形成凹槽。工具架（5）在将凹槽加工工具附着在划线头上时能够上下移动。气缸（6）将工具架压入太阳能电池板的表面。弹簧（7）向上按压刀架。

19. 发明授权

KR100992108B1 디스크 형상 기판의 펴짐, 분리 및 운반을 위한 장치 및 방법 失效
标题翻译：碟形基板的摆动，分离和运输装置及方法
公开(公告)号：KR100992108B1
公开(公告)日：2010-11-04
申请号：KR1020087004916
申请日：2007-07-05
申请人： 레나 게엠베하
发明人： 헤르테르,리차르트 , 칼텐바흐,콘라트
IPC分类号： B28D5/00 , H01L21/68 , H01L21/677
CPC分类号： B28D5/0082 , B28D5/0088
摘要： 본 발명은 특히, 예를 들어 태양열 웨이퍼와 같은 디스크 형상의 기판(102;202)의 분리 및 운반에 관한 것이다.
본 발명은 유체 내에서 발생하는 분리가 이루어지고, 그리퍼(108;208)와 상기 그리퍼(108;208)에 점착가능한 분리될 기판(102;202) 사이의 얇은 유막 형성으로부터 접착력이 발생하게 된다는 사실을 특징으로 한다.
공급 방향(105;205)에 직각 또는 특별히 기판(102;202)의 평면 디자인과 평행한 언로딩을 통해서 매우 부드럽고 효율적인 디스크 형상 기판의 분리가 짧은 사이클 시간에 가능하게 된다.
태양열 웨이퍼, 디스크 형상, 기판, 분리, 운반, 유체, 그리퍼, 유막 전개, 접착력, 언로딩

20. 发明公开

KR1020040103696A 링크구조의 보석 가공장치 失效
标题翻译：通过使用球螺丝和球头螺栓在链接结构中加工GEMSTONE的装置
公开(公告)号：KR1020040103696A
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：KR1020030035317
申请日：2003-06-02
申请人： 문제갑
发明人： 문제갑
IPC分类号： B28D5/00
CPC分类号： B28D5/0088 , A44C17/001 , B28D3/02 , B28D7/04
摘要： PURPOSE: A device for machining gemstone in link structure is provided to automatically regulate the grinding angle of a gemstone through an arrangement jig which is fixed with a plurality of fixing sticks, thereby uniforming the grinding speed to the overall gemstone and reducing an error during grinding the gemstone. CONSTITUTION: A device for machining gemstone uses an arrangement jig(70) which has a plurality of fixing sticks which fixes a gemstone. A plurality of horizontal links(11) and vertical links(12) constitute a link-work. A pair of link-works is pivotally connected to a fixing link(13). A driving plate(16) connected to a connecting rod(15) is installed between the uppermost horizontal links of the link-works. Rear side ends of the lowermost portions of the link-work are connected to each other. A horizontal ball nut(32) and a vertical ball nut(42) with which a horizontal screw(31) and a vertical screw(32) are respectively engaged, are pivotally installed in the connecting portion. A upper driving motor(21), which drives the horizontal screw(31), and a lower driving motor(22), which drives a vertical screw(32), are installed at the driving plate(16). The lower driving motor is also installed to be rotatably moved at the lower portion of the support member(50). The arrangement jig is installed at the lower end of the vertical link, and thus the angle of the arrangement jig is changed as the upper driving motor and the lower driving motor are rotated.
摘要翻译：目的：提供一种用于在连杆结构中加工宝石的装置，通过固定有多个固定棒的布置夹具自动调节宝石的磨削角度，从而使研磨速度均匀化成整个宝石，并减少研磨过程中的误差宝石。构成：用于加工宝石的装置使用具有固定宝石的多个固定棒的布置夹具（70）。多个水平连杆（11）和垂直连杆（12）构成连杆。一对连杆工件枢转地连接到固定连杆（13）。连接到连杆（15）的驱动板（16）安装在连接件的最上部水平连杆之间。连杆的最下部的后侧端部彼此连接。水平螺母（32）和垂直滚珠螺母（42）与水平螺钉（31）和垂直螺钉（32）分别接合在一起，可枢转地安装在连接部分中。在驱动板（16）上安装驱动水平螺钉（31）的上部驱动马达（21）和驱动竖直螺钉（32）的下部驱动马达（22）。下部驱动电动机也被安装成在支撑构件（50）的下部可旋转地移动。布置夹具安装在垂直连杆的下端，因此随着上驱动马达和下驱动马达的旋转，配置夹具的角度发生变化。

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