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1. 发明授权

KR102128772B1 CMP설비용 컨디셔닝장치 有权
公开(公告)号：KR102128772B1
公开(公告)日：2020-07-01
申请号：KR1020180151182
申请日：2018-11-29
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 조한철 , 김도연 , 이태경
IPC分类号： B24B53/017 , B24B37/04 , B24B37/34 , H01L21/306

2. 发明授权

KR102126391B1 웨이퍼 가공상태 확인을 위한 측정방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR102126391B1
公开(公告)日：2020-06-24
申请号：KR1020190093886
申请日：2019-08-01
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김도연 , 이태경 , 이상직 , 김형재
IPC分类号： G01B21/08 , G01B21/32 , G01B11/06 , G01B11/16 , G01B15/02 , G01B15/06 , H01L21/66

3. 发明授权

KR102113067B1 웨이퍼용 화학기계연마장치의 패드부 교체 시기 결정 장치 및 이의 제어방법 有权
公开(公告)号：KR102113067B1
公开(公告)日：2020-05-21
申请号：KR1020180151193
申请日：2018-11-29
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 이상직 , 조한철 , 김도연 , 이태경 , 강정진 , 정영 , 박병건
IPC分类号： B24B49/00 , B24B37/005 , H01L21/304 , H01L21/306

4. 发明授权

KR102113003B1 웨이퍼용 화학기계연마 장치의 패드부 有权
公开(公告)号：KR102113003B1
公开(公告)日：2020-05-20
申请号：KR1020180151206
申请日：2018-11-29
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 이상직 , 조한철 , 김도연 , 이태경
IPC分类号： B24B37/26 , B24B53/017 , B24B37/34 , H01L21/304 , H01L21/306

5. 发明授权

KR102014243B1 와이어쏘의 와이어 공급량 조절장치 및 그 조절방법 有权
公开(公告)号：KR102014243B1
公开(公告)日：2019-08-26
申请号：KR1020180011035
申请日：2018-01-30
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김도연 , 김형재 , 이태경 , 박철진
IPC分类号： B28D5/04 , B28D5/00

6. 发明授权

KR101842992B1 공구위치 세팅장치 및 그것을 이용한 공구위치 세팅방법 有权
标题翻译：使用它的工具位置设定装置和工具位置设定方法
公开(公告)号：KR101842992B1
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：KR1020160140701
申请日：2016-10-27
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 이상직 , 조한철 , 정우창 , 김도연
IPC分类号： B23Q15/24 , B23Q17/22 , B26D5/06 , B26D5/20 , H01L33/00
CPC分类号： B23Q15/24 , B23Q17/22 , B26D5/06 , B26D5/20 , H01L33/00 , B23Q17/2233 , H01L33/005
摘要： 본발명은가공물테이블의기준면에대하여공구의위치를자동으로세팅할수 있는구성의공구위치세팅장치및 그것을이용한공구위치세팅방법에관한것이다.본발명은가공물테이블에설치되어접촉하는물체의변위를측정하는제1변위측정수단과, 공구가설치된공구설치부재와결합되어함께이동하는것으로서물체의변위를측정하는제2변위측정수단과, 상기공구설치부재의이동변위를측정하는제3변위측정수단과, 상기기준면을향해공구설치부재를이송시키는제1이송기와, 상기기준면과평행한방향으로가공물테이블또는공구설치부재를이송시키는제2이송기, 및제1변위측정수단과상기제2변위측정수단과상기제3변위측정수단의측정값을획득하여공구의위치를확인하는제어기를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种刀具位置使用工具位置设定装置的设定方法和该配置被自动设置为相对于工件台的基准表面上的工具的位置。本发明的用于测量在接触的物体的位移受到安装在工作台和第三位移测量装置，所述第一位移测量装置，该工具与该工具附接构件安装测量所述运动的第二位移测量装置接合，并且所述工具安装bujaeui位移来测量物体的位移作为与其中，第一转印瓦片，所述第二输送机，mitje一个位移测量装置和所述装置和所述基准表面且平行于一个方向的所述第二位移测量，运送工作台或用于传送工具附接构件朝向所述基准表面的工具的安装构件和第二所述以及控制器，用于获取三位移测量装置的测量值并确认工具的位置。

7. 发明公开

KR1020140116731A 리프트-업 스윙을 구현하는 와이어 쏘 有权
标题翻译：带升降机构的电线
公开(公告)号：KR1020140116731A
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：KR1020130031668
申请日：2013-03-25
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 조형호 , 이상직 , 김도연 , 이태경 , 박철진
IPC分类号： B28D1/08 , B26D1/547 , B23D61/18
CPC分类号： B23D57/0046 , B28D5/045 , B28D7/04
摘要： A wire saw (1) cutting an ingot (I) by swinging is disclosed. The wire saw (1) comprises: a first operating block (100); a second operating block (110); and an ingot holder (120). When the first operating block (100) is moved, the second block (110) is moved in a direction vertical to the movement of the first operating block (100), and the ingot holder (120) swings at the same time. The lifting block (73) transfers the ingot holder (120) in a cutting direction of the ingot (Z-axis direction) and is moved independently from the first operation block (100) or the second operation block (110). Therefore, the wire saw can make the ingot (I) swing separately from the lifting block (73), suppresses that the ingot (I) is laterally moved, and can simply be controlled and have a simple structure by controlling only the first operating block (100).
摘要翻译：公开了通过摆动切割锭（I）的线锯（1）。线锯（1）包括：第一操作块（100）; 第二操作块（110）; 和锭保持器（120）。当第一操作块（100）移动时，第二块（110）沿与第一操作块（100）的移动垂直的方向移动，并且锭架（120）同时摆动。提升块（73）沿铸锭的切割方向（Z轴方向）转移锭架（120），并且独立于第一操作块（100）或第二操作块（110）移动。因此，线锯可以使锭（I）与提升块（73）分开摆动，抑制锭（I）横向移动，并且可以简单地被控制并且具有简单的结构，仅通过仅控制第一操作块（100）。

8. 发明公开

KR1020130100413A 취성재료의 드릴링장치 有权
标题翻译：用于脆性材料的钻孔装置
公开(公告)号：KR1020130100413A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：KR1020120021572
申请日：2012-03-02
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 조형호 , 김성렬 , 이상직 , 김도연 , 박철진 , 이태경
IPC分类号： B28D5/02 , B28D1/14 , B23B39/04 , C03B33/00
CPC分类号： B28D5/021 , B28D1/14 , B28D5/0064 , B28D7/005
摘要： PURPOSE: A drilling apparatus for a brittle material is provided to excellently drill the brittle material with blocking an overload on the drilled brittle material. CONSTITUTION: A drilling apparatus for a brittle material includes a drill driving body (100), a movable supporting body (200), a main frame (310), a slotting driver (320), a load limiting unit, and a supporting unit. The drill driving body has a spindle and a drill. The drill driving body is attached to the movable supporting body by a drill driving body guide. The movable supporting body is attached to the main frame by a movable supporting body guide. The slotting driver moves the movable supporting body in the longitudinal direction of the spindle. The load limiting unit applies a predetermined pressurizing force to the drill driving body. The supporting unit supports the drill driving body or the load limiting unit. [Reference numerals] (416) Pressure controlling unit; (520) Control unit
摘要翻译：目的：提供一种用于脆性材料的钻孔设备，以便在钻孔的脆性材料上阻挡过载，从而极好地钻削脆性材料。构成：用于脆性材料的钻孔装置包括钻头驱动体（100），可移动支撑体（200），主框架（310），开槽驱动器（320），负载限制单元和支撑单元。钻头驱动体具有主轴和钻头。钻头驱动体通过钻头驱动体引导件附接到可动支撑体上。可移动支撑体通过可移动的支撑体引导件附接到主框架。开槽驱动器沿主轴的纵向方向移动可动支撑体。负载限制单元对钻头驱动体施加预定的加压力。支撑单元支撑钻头驱动体或负载限制单元。（附图标记）（416）压力控制单元; （520）控制单元

9. 发明公开

KR1020200138480A 연마액의 유동 저항 구조를 갖는 연마용 패드 有权
公开(公告)号：KR1020200138480A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：KR1020190063380
申请日：2019-05-29
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 이태경 , 김도연 , 강필식 , 김형재
IPC分类号： B24B37/26 , B24B7/22
摘要： 본발명은연마액의유동저항구조를갖는연마용패드에관한것으로, 보다상세하게는균일한연마성능을갖고, 연마액의사용효율을향상시키기위한연마액의유동저항구조를갖는연마용패드에관한것이다. 본발명의구성은상부에위치한웨이퍼를연마하도록마련된폴리싱패드; 상기폴리싱패드상에형성되며, 상기폴리싱패드의상부를향해돌출형성된복수의도형유닛; 및복수의상기도형유닛으로이루어지는복수의패턴유닛을포함하며, 복수의상기패턴유닛은상기폴리싱패드상에동심원형태로배열된것을특징으로하는연마액의유동저항구조를갖는연마용패드를제공한다.

10. 发明授权

KR102064855B1 연마패드에 대한 가압력 조절이 가능한 씨엠피장치의 컨디셔너 有权
公开(公告)号：KR102064855B1
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：KR1020180061528
申请日：2018-05-30
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김형재 , 이상직 , 조한철 , 김도연 , 이태경 , 강정진 , 황정호
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/304 , B24B53/017

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