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1. 发明授权

KR101907864B1 이동체 장치, 노광 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법, 디바이스 제조 방법, 및 이동체 구동 방법 有权
公开(公告)号：KR101907864B1
公开(公告)日：2018-10-15
申请号：KR1020167029100
申请日：2015-03-30
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 시라토아키노리
IPC分类号： G03F7/00 , G02F1/13 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70775 , G02F1/1303 , G03F7/0005 , G03F7/20 , G03F7/70716 , G03F7/70725
摘要： 기판스테이지장치 (20) 는, X 축및 Y 축을포함하는평면내를따라이동가능한기판홀더 (34) 와, Y 축방향을따라기판홀더에동기하여이동가능한헤드유닛 (60) 과, 스케일 (52) 이기판홀더에형성됨과함께헤드 (66x, 66y) 가헤드유닛에형성되고, 상기헤드의출력에기초하여 X 축및 Y 축방향에관한기판홀더의위치정보를구하는기판위치계측용인코더시스템과, 헤드유닛의 Y 축방향에관한위치정보를구하는헤드유닛위치계측용인코더시스템과, 상기기판위치계측용인코더시스템및 헤드유닛위치계측용인코더시스템의출력에기초하여, 기판홀더의 XY 평면내의위치제어를실시하는위치제어계를구비한다.

2. 发明授权

KR101874838B1 감광성 수지 조성물 有权
公开(公告)号：KR101874838B1
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：KR1020147030006
申请日：2013-03-15
申请人： 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤
发明人： 아다치,이사오 , 사카구치,타카히로 , 소다,히로유키
IPC分类号： G03F7/023 , C08F220/10 , C08F222/40 , G02B3/00 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/038 , C08F220/32 , C08F220/36 , C08F222/40 , G02B1/04 , G02B1/041 , G02B3/0012 , G03F7/0005 , G03F7/0233
摘要： [과제] 감광성수지조성물을제공하는것. [해결수단] (A)성분, (B)성분및 용제를함유하는감광성수지조성물. (A)성분: 하기식(1)로표시되는구조단위및 하기식(2)로표시되는구조단위를갖는공중합체 (B)성분: 감광제(식중, R은하이드록시기또는카르복실기를나타내고, R은수소원자또는메틸기를나타내고, R는단결합또는탄소원자수 1 내지 5의알킬렌기를나타내고, R은열가교성을갖는 1가의유기기를나타낸다. 단, 복수의상기식(2)로표시되는구조단위에있어서 R끼리는서로상이할수도있다.)

3. 发明公开

KR1020170131534A 물체 반송 장치, 노광 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법, 디바이스 제조 방법, 물체 반송 방법, 및 노광 방법 审中-实审
标题翻译：物体输送装置，曝光装置，平板显示器的制造方法，装置制造方法，物体输送方法和曝光方法
公开(公告)号：KR1020170131534A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020177030369
申请日：2016-03-30
申请人： 가부시키가이샤 니콘
发明人： 아오키야스오 , 나가시마마사유키 , 야마나카다카히로
IPC分类号： H01L21/677 , G03F7/20 , B65G49/06
CPC分类号： B65G49/06 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G2249/045 , G02F1/13 , G03F7/0005 , G03F7/20 , G03F7/70 , H01L21/64 , H01L21/67703 , H01L21/68707 , H01L21/68728 , H01L21/68742
摘要： 기판 (P) 의기판홀더 (28) 의반송방법은, 기판홀더 (28) 의상방에위치하는기판 (P) 의일부를유지패드 (84b) 를사용하여유지하는것과, 기판홀더 (28) 의상방에위치하는기판 (P) 의타부를유지하는기판반입핸드 (62) 에의한기판 (P) 의타부의유지를해제하면, 기판 (P) 을유지한유지패드 (84b) 를, 기판 (P) 이기판홀더 (28) 의지지면에지지되도록하방으로구동제어하는것을포함한다. 이로써, 기판홀더에의기판반송을신속히실시할수 있다.
摘要翻译：传送基板P的基板支架28的方法是使用保持垫84b保持位于基板支架28的上侧的基板P的一部分的方法，衬底（P）uita是衬底搬入手释放保持基板（P）eulyu极寒保持垫（84B）连接到基板（P）到保持部基板保持器，其位于所述uita部时（62）的基板（P）并被向下支撑以被支撑在基板28的支撑表面上。这使得可以快速地将基板运送到基板支架。

4. 发明公开

KR1020170094371A 임프린트용 광경화성 조성물, 경화막의 제조 방법, 광학 부품의 제조 방법, 회로 기판의 제조 방법, 및 전자 부품의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：压印用光固化性组合物，固化膜的制造方法，光学部件的制造方法，电路基板的制造方法以及电子部件的制造方法
公开(公告)号：KR1020170094371A
公开(公告)日：2017-08-17
申请号：KR1020177019184
申请日：2015-12-15
申请人： 캐논 가부시끼가이샤
发明人： 이와시타가즈미 , 이토도시키 , 이이무라아키코 , 가토준 , 야마시타게이지
IPC分类号： G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/00 , G03F7/031 , C08F220/18 , C08F2/48 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002 , C08F2/48 , C08F220/18 , C08F222/1006 , C08F2220/1841 , C08F2220/1875 , C08F2222/102 , G03F7/0005 , G03F7/027 , G03F7/029 , G03F7/031 , H01J37/30 , H01L21/0271 , H01L21/311 , H05K3/0011 , C08F2222/145 , C08F226/06 , H01L21/027
摘要： 본발명은응축성가스분위기하의임프린트용광경화성조성물에관한것이다. 상기조성물은중합성화합물성분 (A) 및광중합개시제성분 (B)를적어도포함하고, 요건 (1): 2.30 GPa 이상의값 E(여기서, E는응축성가스를 90 부피% 이상의농도로함유하는분위기하에상기임프린트용광경화성조성물을노광량 200 mJ/cm로노광함으로써제조된광경화막의복합탄성률 (GPa)을나타냄)를충족한다.
摘要翻译：本发明涉及可冷凝气体气氛下的压印光可固化组合物。合成化合物组分（A）和光聚合引发剂成分（B）的组合物，至少包含，和的要求（1）：至少2.30 GPA值E（其中，E是含有可冷凝的气体，以90体积％以上的浓度的气氛中满足下光固化膜表示由压印yonggwang可固化组合物暴露于光照射为200mJ /厘米制备的复合弹性模量（GPa））。

5. 发明授权

KR101761180B1 표시 기판, 표시 장치 및 이의 제조 방법 有权
标题翻译：显示器基板，显示装置及其制造方法
公开(公告)号：KR101761180B1
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：KR1020100076912
申请日：2010-08-10
申请人： 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 권세아 , 이상헌 , 김관수 , 이의구
IPC分类号： G02F1/1339 , G02F1/1335 , G02F1/1362
CPC分类号： G02F1/13394 , G02F1/1333 , G02F1/133512 , G02F2001/13396 , G02F2001/136236 , G03F7/0005
摘要： 표시기판, 표시장치및 표시기판의제조방법이제공된다. 본발명의일 실시예에따른표시기판은, 제1 차광영역을포함하는제1 화소부및 이와이웃하고제2 차광영역을포함하는제2 화소부가정의된기판과, 상기제1 및제2 차광영역에형성된절연층과, 상기절연층상에형성된블랙매트릭스패턴층과, 상기제1 차광영역에형성되고, 상기블랙매트릭스패턴층으로부터돌출된제1 컬럼스페이서와, 상기제2 차광영역에형성되고, 상기블랙매트릭스패턴층으로부터돌출된제2 컬럼스페이서를포함하되, 상기제1 컬럼스페이서의상부표면의높이와상기제2 컬럼스페이서의상부표면의높이가서로다르다.
摘要翻译：提供了显示基板，显示装置以及显示基板的制造方法。根据本发明实施例的显示基板包括：基板，具有包括第一遮光区域的第一像素部分和与包括第二遮光区域的第二像素部分相邻的第二像素部分，第一柱状间隔物，形成在所述第一遮光区域中并从所述黑色矩阵图案层突出;以及第二柱状间隔物，形成在所述第二遮光区域中，第二柱状间隔物从黑色矩阵图案层突出，其中第一柱状间隔物的上表面的高度和第二柱状间隔物的上表面的高度彼此不同。

6. 发明公开

KR1020170036363A 투명기판의 제조방법 및 이를 이용한 표면증강 라만산란 기판의 제조방법 有权
公开(公告)号：KR1020170036363A
公开(公告)日：2017-04-03
申请号：KR1020150135434
申请日：2015-09-24
申请人： 한국표준과학연구원
发明人： 유은아
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/56 , H01L21/033 , H01L21/02
CPC分类号： G03F7/0005 , B29D11/0074 , B29K2075/00 , B29K2883/00 , G01N21/658 , G03F7/039 , G03F7/16 , G03F7/2002 , G03F7/26 , H01L21/027
摘要： 본발명은투명기판의제조방법에관한것으로, 상세하게, 본발명에따른제조방법은 a) 기판상 D=m*(λ/2n) (D= 포토레지스트막의두께, n=포토레지스트의굴절률, λ=노광시조사되는광의파장, m= 1 이상의자연수)을만족하는포토레지스트막을형성하는단계; b) 투명기재및 투명기재의광의출사면에접하여형성된평판형금속닷(plate-type metal dot)을포함하는광 마스크를이용하여, 포토레지스트막을노광하고, 노광된포토레지스트막을현상하여, 고리형상의패턴을제조하는단계; c) 상기고리형상의패턴이형성된기판을제1몰드로하여상기고리형상의패턴이역전사된제2몰드를제조하는단계; 및 d) 상기제2몰드에액상의투명수지를충진및 경화한후 상기제2몰드를제거하여, 상기고리형상의패턴이전사되어고리형상의투명돌출부가투명기재와일체로형성된투명기판을제조하는단계;를포함한다.

7. 发明授权

KR101706480B1 액티브 매트릭스 기판, 액정 표시 장치 및 액티브 매트릭스 기판의 제조 방법 有权
标题翻译：活性基质液晶液晶显示装置及制造活性基质基板的方法
公开(公告)号：KR101706480B1
公开(公告)日：2017-02-13
申请号：KR1020157000834
申请日：2013-06-18
申请人： 샤프 가부시키가이샤
发明人： 아마노도루
IPC分类号： G02F1/1343
CPC分类号： G02F1/1368 , G02F1/13394 , G02F1/134309 , G02F1/136227 , G02F1/136286 , G02F2001/13629 , G02F2001/136295 , G03F7/0005 , H01L27/1225 , H01L27/124 , H01L27/1259 , H01L29/7869
摘要： 액티브매트릭스기판(100A)은, TFT(20), 제1 방향으로대략평행한주사배선(11), 제1 방향에직교하는제2 방향으로대략평행한신호배선(12), TFT를덮는제1 층간절연층(16), 제1 층간절연층위에설치된하층전극(17), 하층전극위에형성된유전체층(18) 및유전체층을통해하층전극의적어도일부에겹치는상층전극(19)을구비한다. 제1 콘택트홀(31)은, 제1 층간절연층에형성된제1 개구부(16a)와, 유전체층에형성된제2 개구부(18a)를포함한다. 제1 개구부의, 제1 및제2 방향중 한쪽방향을따른폭은, 제2 개구부의상기한쪽방향을따른폭보다도작다. 제2 개구부의윤곽의일부는, 제1 개구부의윤곽의내측에위치하고있으며, 제2 개구부의윤곽은, 직사각형이아니다. 제2 개구부중 제1 개구부에겹치지않는부분의면적은, 제2 개구부의윤곽을직사각형이라고가상한경우보다도작다.
摘要翻译：有源矩阵基板（100A）包括TFT（20），基本上平行于第一方向的扫描线（11），基本上平行于与第一方向正交的第二方向的信号线（12），第一中间层覆盖TFT的绝缘层（16），设置在第一层间绝缘层上的下层电极（17），设置在下层电极上的电介质层（18）和与上层电极的下层电极。第一接触孔（31）包括形成在第一层间绝缘层中的第一孔（16a）和形成在电介质层中的第二孔（18a）。沿着第一方向和第二方向之一的第一孔的宽度小于沿着该一个方向的第二孔的宽度。第二孔的轮廓的一部分位于第一孔的轮廓内，第二孔的轮廓不是矩形。不与第一孔重叠的第二孔的部分的面积小于第二孔的轮廓为矩形的虚构情况。

8. 发明授权

KR101702278B1 광경화성 조성물 및 표면에 미세 패턴을 갖는 성형체의 제조 방법 有权
标题翻译：具有表面微细图案的成型体的光致抗蚀剂组合物和制造方法
公开(公告)号：KR101702278B1
公开(公告)日：2017-02-03
申请号：KR1020167023259
申请日：2009-05-13
申请人： 아사히 가라스 가부시키가이샤
发明人： 가와구치야스히데
IPC分类号： C08F222/10 , C08F220/18 , C08F220/20 , C08F2/50 , C08K5/02 , B29C35/08 , B29C37/00 , B29C59/02
CPC分类号： G03F7/027 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F222/1006 , C08J3/28 , G03F7/0002 , G03F7/0005 , G03F7/0046 , Y10T428/24802 , C08F220/18 , C08F220/24
摘要： 이형성및 고굴절률의양방을겸비한경화물을얻을수 있는광경화성조성물, 및몰드의반전패턴이정밀하게전사된미세패턴을표면에갖는고굴절률의성형체를제조할수 있는방법을제공한다. 경화전의파장 589 ㎚에 있어서의굴절률이 1.55 이상인화합물이고, 또한 (메트)아크릴로일옥시기를 2 개이상갖는화합물 (A) 61 ∼ 90 질량% 와, 불소원자를갖고, 또한탄소-탄소불포화이중결합을 1 개이상갖는화합물 (B) (단, 화합물 (A) 를제외한다) 2 ∼ 15 질량% 와, (메트)아크릴로일옥시기를 1 개갖는화합물 (C) (단, 화합물 (B) 를제외한다) 5 ∼ 35 질량% 와, 광중합개시제 (D) 1 ∼ 12 질량% 를함유하는 (단, (A) + (B) + (C) + (D) = 100 질량% 이다) 광경화성조성물.
摘要翻译：为了提供一种可光固化组合物，由此可以获得具有剥离性能和高折射率两者的固化产品，以及可以生产具有高折射率的成型产品并且在其表面上具有精细图案的方法，该精细图案具有精确转移的模具的反向图案。一种光固化性组合物，其含有61〜90质量％的固化前的波长589nm的折射率为1.55以上的具有至少2个（甲基）丙烯酰氧基的折射率的化合物（A），2〜15质量％具有氟原子和至少一个碳 - 碳不饱和双键的化合物（B）（不包括化合物（A）），5至35质量％的具有一个（甲基）丙烯酰氧基的化合物（C）（条件是不包括化合物（B））和1至12质量％的光聚合引发剂（D）（提供（A）+（B）+（C）+（D）= 100质量％）。

9. 发明授权

KR101652680B1 광경화성 조성물 및 표면에 미세 패턴을 갖는 성형체의 제조 방법 有权
标题翻译：具有表面微细图案的成型体的光致抗蚀剂组合物和制造方法
公开(公告)号：KR101652680B1
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：KR1020107022546
申请日：2009-05-13
申请人： 아사히 가라스 가부시키가이샤
发明人： 가와구치야스히데
IPC分类号： C08F20/20 , C08F14/18 , C08L33/04 , B29C59/02
CPC分类号： G03F7/027 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C08F222/1006 , C08J3/28 , G03F7/0002 , G03F7/0005 , G03F7/0046 , Y10T428/24802 , C08F220/18 , C08F220/24
摘要： 이형성및 고굴절률의양방을겸비한경화물을얻을수 있는광경화성조성물, 및몰드의반전패턴이정밀하게전사된미세패턴을표면에갖는고굴절률의성형체를제조할수 있는방법을제공한다. 경화전의파장 589 ㎚에 있어서의굴절률이 1.55 이상인화합물이고, 또한 (메트)아크릴로일옥시기를 2 개이상갖는화합물 (A) 61 ∼ 90 질량% 와, 불소원자를갖고, 또한탄소-탄소불포화이중결합을 1 개이상갖는화합물 (B) (단, 화합물 (A) 를제외한다) 2 ∼ 15 질량% 와, (메트)아크릴로일옥시기를 1 개갖는화합물 (C) (단, 화합물 (B) 를제외한다) 5 ∼ 35 질량% 와, 광중합개시제 (D) 1 ∼ 12 질량% 를함유하는 (단, (A) + (B) + (C) + (D) = 100 질량% 이다) 광경화성조성물.

10. 发明授权

KR101647265B1 변위 스케일을 제조하는 시스템 및 방법 有权
标题翻译：用于制造位移标度的系统和方法
公开(公告)号：KR101647265B1
公开(公告)日：2016-08-09
申请号：KR1020157005683
申请日：2008-06-18
申请人： 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니
发明人： 칼슨다니엘에이치 , 에네스데일엘 , 워츠다니엘에스 , 아귀레루이스에이 , 비이클리레벤트 , 캠벨알란비
IPC分类号： G01D5/347 , G02B5/124 , G03F7/00
CPC分类号： G02B5/124 , G01D5/34707 , G03F7/0005
摘要： 기재상에 TIR 프리즘을포함하는변위스케일을형성하는방법및 시스템이기술된다. 변위스케일을형성하는시스템은음각의내부전반사(TIR) 프리즘특징부의패턴을갖는하나이상의롤러를포함한다. 롤러가회전됨에따라, 기재상에스케일이형성된다. 롤러는또한음각의패턴특징부를포함할수 있다. 롤러의회전은기재상에변위스케일및 패턴특징부를동시에형성한다. 변위스케일의 TIR 프리즘특징부는측방향변위, 종방향변위및 각변위중 하나이상의측정을제공하도록배향될수 있다.

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