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    • 6. 发明授权
    • 포지티브형 감광성 수지 조성물 및 폴리히드록시아미드 수지
    • 正型光敏树脂组合物和聚羟基酰胺树脂
    • KR101759962B1
    • 2017-07-20
    • KR1020117002867
    • 2009-07-08
    • 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤
    • 에바라,카즈야스즈키,히데오타무라,타카유키
    • G03F7/023G03F7/039G03F7/004C08G69/26C08G69/42
    • G03F7/0233C08G69/26C08G69/42G03F7/0045
    • 전기절연성, 내열성, 기계적강도및 전기적특성이우수하며, 고-해상도회로패턴을형성할수 있는포지티브감광성수지조성물이제공된다. 상기포지티브감광성수지조성물은화학식 (1)로나타내어지는반복단위를포함하며 3,000 내지 20,000의중량평균분자량을갖는적어도일 타입의폴리히드록시아미드수지(A): 및광조사에의해산을발생하는화합물(B)를포함한다.(단, X는 4가지방족그룹혹은방향족그룹을나타내며; R및 R는독립적으로수소원자혹은 1 내지 10 탄소원자를갖는알킬그룹을나타내며; Ar및 Ar는독립적으로방향족그룹을나타내며; Y는적어도하나의카르복실그룹으로치환된방향족그룹을포함하는유기그룹을나타내며; n은 1이상의정수를나타내며; 그리고 l 및 m은독립적으로 0 또는 1이상의정수를나타내며 l+m≥2를만족한다.)
    • 电绝缘性,耐热性,机械强度和电性能yiwoosu,和高分辨率电路可以形成设置有正型感光性树脂组合物的图案。 式(1)中,至少一种类型的(A)的多羟基酰胺树脂的正型感光性树脂组合物具有所示的重复单元的重均分子量,以及从3000至20,000:能够产生mitgwang照射的溶解的化合物( R和R独立地表示氢原子或具有1至10个碳原子的烷基,Ar和Ar独立地表示芳族基团, 它代表; Y是至少表示含有与羧基取代的芳族基团的有机基团; n表示1或更大的整数;和L和M各自独立地表示0或1以上的升+M≥2的整数 <