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1. 发明专利

JP2021139714A 走査型プローブ顕微鏡用プローブの製造方法およびプローブ审中-公开
公开(公告)号：JP2021139714A
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2020036941
申请日：2020-03-04
申请人：キオクシア株式会社
发明人：リースイーケイー , 小池三夫 , 齋藤真澄
IPC分类号： G01Q70/10 , G01Q60/58 , G01Q10/00 , G01Q70/16
摘要：【課題】微細構造の電気的特性や温度ならびに熱的特性を測定可能な高い空間分解能を可能にするプローブを提供する。【解決手段】本実施形態によるプローブの製造方法は、走査型プローブ顕微鏡用のプローブの製造に用いられる。絶縁膜は、基体に設けられたプローブの表面上に形成される。絶縁膜に金属イオンが注入される。絶縁膜に電界を印加することによってプローブの先端の絶縁膜に金属イオンを集中させて該絶縁膜中に金属フィラメントを形成する。【選択図】図3

2. 发明专利

JP6757748B2 ナノ電気機械システム探針を製造するシステム及び方法有权
公开(公告)号：JP6757748B2
公开(公告)日：2020-09-23
申请号：JP2017563508
申请日：2016-02-26
申请人：クサレントリミテッドライアビリティーカンパニー
发明人：アンポンサー,クワミ
IPC分类号： B81B3/00 , B82Y10/00 , G01Q20/04 , G01Q70/16 , G01Q80/00 , G01Q70/06

3. 发明专利

JP2020144120A 走査型プローブ顕微鏡に適したプローブの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020144120A
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2020031411
申请日：2020-02-27
申请人：アイメック・ヴェーゼットウェー , IMEC VZW , カトリーケ・ユニフェルシテイト・ルーヴァン , Katholieke Universiteit Leuven
发明人：トーマス・ハンチェル , テイス・ベーメ
IPC分类号： G01Q60/38 , G01Q10/00 , G01Q70/16
摘要：【課題】1つ以上の比較的小さな先端部を、プローブ先端本体の製造後にSPMに適したプローブの比較的大きな先端本体上に製造する。【解決手段】プローブ先端本体であるNiコア20の表面を、ドープされたダイヤモンド層21でコーティングする。このダイヤモンド層21には、ドープされていないダイヤモンドの種粒子3およびSiOxCy層12が存在する。ダイヤモンド層21がピラミッドの側面から除去されるまでドライエッチング処理が続けられると、厚みa1とa2との間の厚み差のために、十分な厚みのダイヤモンドが頂点領域に残存する。これにより、1つ以上の鋭い先端部が頂点領域のみに現れる。【選択図】図4

4. 发明专利

JP6608634B2 走査型プローブ顕微鏡用のプローブの製造方法有权
公开(公告)号：JP6608634B2
公开(公告)日：2019-11-20
申请号：JP2015136715
申请日：2015-07-08
申请人：国立研究開発法人物質・材料研究機構
发明人：中山知信 , 徐建勲 , 新ヶ谷義隆
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q60/40 , C01B32/16 , C01B32/176 , G01Q70/12

5. 发明专利

JP2017020826A 走査型プローブ顕微鏡用のプローブ及びその製造方法审中-公开
标题翻译：探针及其制造方法用于扫描探针显微镜
公开(公告)号：JP2017020826A
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：JP2015136715
申请日：2015-07-08
申请人：国立研究開発法人物質・材料研究機構
发明人：中山知信 , 徐建勲 , 新ヶ谷義隆
IPC分类号： C01B32/152 , C01B32/158 , G01Q70/16 , G01Q60/40 , G01Q70/12
摘要：【課題】空間分解能及び電気伝導性に優れたカーボンナノチューブ探針を備えた走査型プローブ顕微鏡用プローブを提供すること、及びこれらの特性を再現性良く得ることができるプローブの製造方法を提供する。【解決手段】チップと、該チップの先端部から突出した探針を備える走査型プローブ顕微鏡用のプローブであって、該探針がカーボンナノチューブからなり、該カーボンナノチューブは該チップ先端部から突出した突出部と、該チップに固着された固着部を備え、該固着部ではカーボンナノチューブの側面が該チップの一側面に固着されており、該固着部は該カーボンナノチューブ製造工程で使用された触媒由来の金属を含む、走査型プローブ顕微鏡用のプローブ。【選択図】図3
摘要翻译：以提供具有优异的空间分辨率和导电性的碳纳米管探针的扫描探针显微镜的探针，并提供一种制造能以良好的这些性能的再现性能够得到探针的方法。和芯片，用于装备有探针从末端的远端突出的扫描探针显微镜的探针，该探针包括碳纳米管，该碳纳米管从尖端前端部突出的突出部，设置有固定于前端的固定部，所述碳纳米管的固体沉积部分和侧表面被固定在芯片的一侧，从在碳纳米管制造工序中使用的催化剂固体沉积部包括金属，扫描探针探针显微镜。点域

6. 发明专利

JP5849049B2 走査型プローブ用の金属探針およびその製造方法有权
标题翻译：金属探针和用于扫描探针及其制造方法
公开(公告)号：JP5849049B2
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：JP2012523249
申请日：2010-08-02
申请人：スペックスサーフェスナノアナリシスゲーエムベーハー
发明人：レーグスガールド, エリク
IPC分类号： G01Q70/16 , G01Q70/10
CPC分类号： G01Q70/10 , B82Y35/00 , G01Q10/045 , G01Q10/06 , G01Q70/16

7. 发明专利

JP2015502521A ナノ電極及びその製造方法有权
标题翻译：它们的纳米电极及其制造方法
公开(公告)号：JP2015502521A
公开(公告)日：2015-01-22
申请号：JP2014538701
申请日：2012-10-22
申请人：ポステックアカデミー−インダストリーファンデーション , ポステックアカデミー−インダストリーファンデーション
发明人：イム，グンベ , アン，テチャン , リー，ウンジュ
IPC分类号： G01Q70/18 , B82Y15/00 , B82Y40/00 , G01Q60/10 , G01Q60/24 , G01Q70/16
CPC分类号： H01B7/00 , G01Q60/60 , G01Q70/12 , H01B13/06
摘要：本発明によるナノ電極は、突出した探針を有する本体、探針に付着されているナノ線、ナノ線を囲んでおりナノ線の上面を露出する開口部を含む絶縁膜を含む。【選択図】図1
摘要翻译：根据本发明的纳米电极包括主体，纳米线被连接到探针，包括开口暴露所述纳米线的上表面的绝缘膜包围具有尖端突出的纳米线。点域1

9. 发明专利

JP5421541B2 Sharp iridium chip at the atomic level 有权
公开(公告)号：JP5421541B2
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：JP2008047646
申请日：2008-02-28
申请人：アカデミアシニカAcademia Sinica
发明人：鴻曦郭 , 英碩黄 , 天佐鄭 , 祖怡傅
IPC分类号： B82B3/00 , G01Q60/16 , G01Q70/16 , H01J1/304 , H01J9/02 , H01J37/073 , H01J37/08
CPC分类号： G01Q60/16 , C21D9/26 , C21D2201/04 , C22F1/14 , H01J1/3044 , H01J9/025 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/3056 , H01J2201/30411 , H01J2201/30449 , H01J2209/0226 , H01J2237/06 , H01J2237/08 , H01J2237/0807 , H01J2237/3114 , Y10S977/848 , Y10S977/90 , Y10S977/949 , Y10S977/95 , Y10T428/12389
摘要： A method for preparing an iridium tip with atomic sharpness. The method includes tapering an iridium wire to a needle shape and heating the iridium needle in an oxygen atmosphere. Also disclosed is an iridium needle having a pyramidal structure which terminates with a small number of atoms prepared by the methods.

10. 发明专利

JP5044003B2 Probe of the manufacturing method and the probe, as well as scanning probe microscope 有权
公开(公告)号：JP5044003B2
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：JP2010193527
申请日：2010-08-31
申请人：日本電信電話株式会社
发明人：雅夫永瀬
IPC分类号： B23K15/00 , G01Q60/38 , G01Q70/16

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