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1. 发明专利

JPWO2017208412A1 走査型プローブ顕微鏡审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017208412A1
公开(公告)日：2018-10-25
申请号：JP2016066338
申请日：2016-06-02
申请人：株式会社島津製作所
发明人：新井浩
IPC分类号： G01Q30/04
CPC分类号： G01B5/20 , G01Q30/06
摘要：試料(10)上の同じ領域を探針(16)で順方向に走査しつつトレース画像データを取得する際と逆方向に走査しつつリトレース画像データを取得する際に、偏差情報記憶部(32)は偏差検出部(20)で検出される偏差を記憶する。この偏差は、その時点での探針-試料間の距離とその距離の目標値とのズレを示している。そこで画像データ選択部(31)は、測定点毎に順方向走査時の偏差と逆方向走査時の偏差とを比較し、偏差が小さいほうの走査時に取得された画像データを選択し、選択画像データとして画像データ記憶部(33)の記憶領域(33c)に格納する。画像形成部(30)はこの選択画像データに基づいて試料表面形状画像を作成し表示部(5)に表示する。これにより、試料(10)上に急峻な凹凸があって探針-試料間距離のフィードバック制御に追従遅れや乱れが生じた場合でも、実際の試料表面形状に近い正確な画像を表示することができる。

2. 发明专利

JPWO2016079879A1 走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置、走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理方法及び制御プログラム有权
公开(公告)号：JPWO2016079879A1
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：JP2016559779
申请日：2014-11-21
申请人：株式会社島津製作所
发明人：浩新井 , 浩新井 , 大田　昌弘 , 昌弘大田
IPC分类号： G01Q30/04
CPC分类号： G01Q30/04 , G06F3/0482 , G06F3/04845 , G06T11/206
摘要：走査型プローブ顕微鏡用データ表示処理装置1は、複数の測定データをグループごとに管理・記憶するグループ情報記憶部37と、グループ情報記憶部37から、使用者が指定した測定データである指定データを取得する指定データ取得手段32と、前記指定データを表示部の画面上に画像として表示させる表示制御手段34と、前記指定データの決定をトリガとして、グループ情報記憶部37から、前記指定データが含まれるグループに属する他の測定データを取得し、該他の測定データが前記画面上に表示される際の画像である予備画像を生成する予備画像生成手段33と、前記指定データが前記画面上に表示されているときになされた前記使用者による第1の所定の入力操作に従って、前記予備画像を前記画面上の所定領域内で切り替えて表示させる第1の表示切替手段36とを備えることにより、使用者に煩雑な操作を強いることなく複数の測定データを簡易に閲覧可能とする。

3. 发明专利

JP5806457B2 表面分析装置有权
标题翻译：表面分析仪
公开(公告)号：JP5806457B2
公开(公告)日：2015-11-10
申请号：JP2010206844
申请日：2010-09-15
申请人：株式会社島津製作所
发明人：森本尚志
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/24 , G01Q30/04
CPC分类号： G01Q30/04 , B82Y35/00

4. 发明专利

JP2015509185A パターン特性評価方法审中-公开
标题翻译：模式特征的评价方法
公开(公告)号：JP2015509185A
公开(公告)日：2015-03-26
申请号：JP2014547995
申请日：2012-12-20
申请人：コミッサリアアレネルジアトミックエオエネルジアルテルナティヴCommissariat a lenergie atomique et aux energies alternatives , コミッサリアアレネルジアトミックエオエネルジアルテルナティヴCommissariat a lenergie atomique et aux energies alternatives
发明人：フーシェ，ヨハン , フェリュ，ロメイン
IPC分类号： G01B21/20 , G01B21/00 , G01N23/04 , G01Q30/04
CPC分类号： G06T7/001 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
摘要：本発明は、次のステップを含むパターンを特徴付ける方法に関する。特徴づけられるパターンの輪郭の画像を画像計測器を用いて決定し、前記輪郭に沿って位置しており、所定のサンプリング間隔でサンプリングされた複数のポイントの決定を含んで前記画像を処理し、各ポイントに対して、参照輪郭に位置しているポイントであって対応する同一サンプリング間隔数のポイントを識別し、前記ポイントと前記参照輪郭上の対応するポイントとの間の相違を表す無次元中間係数を決定し、前記複数のポイントに対応する中間係数のセットに基づいて最終無次元係数を決定する。なお、前記最終無次元係数は特徴付けられるパターンの輪郭と前記参照輪郭との間の相違を表している。【選択図】図7
摘要翻译：本发明的叶子，下一个字段的步骤包括WO图案を表征方式Nikansuru。确定其特征的图案的轮廓图像使用图像测量仪，沿轮廓的位置，处理所述图像包括多个以预定的采样间隔采样的点的判定，对于每个点，其位于所述参考轮廓上的点来标识相同的采样间隔的相应数量的点，无量纲中间表示在参考轮廓和该点的对应点之间的差系数确定WO，其中所述多个点卢两个对应的中间系数卢设置基于两只手最终量纲系数禾确定。注意，表示轮廓和最终无量纲因子的参考轮廓之间的差，其特征在于图案。点域7

5. 发明专利

JP5577977B2 Surface analyzer 有权
公开(公告)号：JP5577977B2
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：JP2010207807
申请日：2010-09-16
申请人：株式会社島津製作所
发明人：尚志森本 , 亮雅小暮
IPC分类号： G01Q30/04 , G01N23/225
CPC分类号： G01Q30/04 , H01J37/26 , H01J2237/221
摘要： A surface analyzer with which users only need to perform simple operations to quantitatively compare different physical quantities, such as the altitude and phase, in a region of interest on a sample is provided. A three-dimensional color image created by mapping color information corresponding to the phase onto a three-dimensional image created from two-dimensional distribution data of a sample's altitude is displayed in an analysis result display screen. A section image is superposed on the three-dimensional color image. The one-dimensional area at which the section image intersects the sample is defined as the region of interest. The altitude and phase along this region of interest are graphically shown on the graph display area. Various characteristic values at the position of these cursors, such as the altitude and phase values or the difference in these values between two cursors, are displayed in a characteristic value table.

6. 发明专利

JP5467299B2 Iterative feedback adjustment in the scanning probe microscope 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP5467299B2
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：JP2010535921
申请日：2008-12-01
申请人：エフイーアイカンパニー
发明人：クリスタースヴェンソン , ポールベントソン , ジーモンヨット．アルテンブルク
IPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/04 , H01J37/28
CPC分类号： G01Q10/065 , G01Q30/04

7. 发明专利

JP2013019697A Polymer phase structure analyzing method 审中-公开
标题翻译：聚合物相结构分析方法
公开(公告)号：JP2013019697A
公开(公告)日：2013-01-31
申请号：JP2011151115
申请日：2011-07-07
申请人： Hitachi Cable Ltd , 日立電線株式会社
发明人： MOMOSE HIDETO , YAMAZAKI TAKANORI
IPC分类号： G01Q60/24 , G01Q30/04
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polymer phase structure analyzing method capable of precisely analyzing the structure by correcting data using a correlation between the surface configuration and phase delay.SOLUTION: The surface of a polymer material is scanned using a scanning probe microscope to simultaneously measure a surface configuration image and a phase image. Phase delay value at each measurement point is obtained from the phase image. An inclination value at each measurement point and a correction value proportional to the inclination value are calculated based on the surface configuration image. A distribution image is generated by performing addition/subtraction on the phase delay value and the correction value. The phase structure of the polymer is analyzed using the distribution image.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够通过使用表面配置和相位延迟之间的相关性校正数据来精确地分析结构的聚合物相结构分析方法。解决方案：使用扫描探针显微镜扫描聚合物材料的表面，以同时测量表面配置图像和相位图像。从相位图像获得每个测量点的相位延迟值。基于表面配置图像，计算出各测量点的倾斜度值和与倾斜值成比例的校正值。通过对相位延迟值和校正值执行相加/减法来生成分布图像。使用分布图像分析聚合物的相结构。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP4972000B2 Afm type of data storage device 有权
公开(公告)号：JP4972000B2
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：JP2008011635
申请日：2008-01-22
申请人：ヒューレット・パッカード・カンパニーHewlett−Packard Company
发明人：エー・ギブソンゲイリー
IPC分类号： H01L27/10 , H01L27/105 , B82B1/00 , G01Q30/04 , G01Q60/40 , G11B9/00 , H01L45/00
CPC分类号： G11B9/14 , B82Y10/00 , G11B9/10 , G11B9/1409 , G11B9/1472 , G11B9/149 , Y10S977/947
摘要： An ultra-high density data storage device comprises at least one energy-channeling component (120) and a storage medium (240) with at least one rectifying junction region (290). The energy-channeling component (120) is generally capable of emitting thermal, optical and electronic energy. The energy-channeling component (120) is generally located either within close proximity of or in direct contact with the storage medium (240). The storage medium (240) typically includes nanometer-scaled storage areas (130,140) .

10. 发明专利

JP4904495B2 Between the high-band atomic force microscope 有权
公开(公告)号：JP4904495B2
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：JP2006277583
申请日：2006-10-11
申请人：国立大学法人横浜国立大学
发明人：博志藤本
IPC分类号： G01Q10/06 , G01Q10/04 , G01Q20/02 , G01Q30/04 , G01Q60/24 , G01Q60/26

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