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热词
    • 1. 发明专利
    • Microprobe and microprobe manufacturing method
    • 麦克风和微波制造方法
    • JP2014178293A
    • 2014-09-25
    • JP2013054240
    • 2013-03-15
    • Toshiba Corp株式会社東芝
    • RI NAGAYOSHITOMIZAWA YASUSHI
    • G01R31/26G01R1/073
    • G11B9/1409B81C1/00531G01R1/06744G01R3/00G03F7/0002G11B9/1436
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a long-term stabilization of electrical characteristics by suppressing expansion of an electrical contact spot of a probe tip.SOLUTION: A microprobe has a base with a first electrode on its surface and a lever with second and third electrodes supported by the base. The second electrode is connected between the first and third electrodes. The third electrode is formed to protrude in a first direction in the main surface of the lever from the second electrode. The width of the third electrode in a second direction orthogonal to the first direction within the main surface defines a width of an electrical contact area in scanning in a third direction orthogonal to the main surface by using the third electrode.
    • 要解决的问题:通过抑制探针尖端的电接触点的膨胀来实现电特性的长期稳定性。解决方案:微探针具有在其表面上具有第一电极的基部和具有第二和第三电极的杆 由基地支持。 第二电极连接在第一和第三电极之间。 第三电极形成为从第二电极在杠杆的主表面中沿第一方向突出。 在与第一方向正交的第二方向上的第三电极的宽度通过使用第三电极限定在与主表面正交的第三方向的扫描中的电接触面积的宽度。