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1. 发明专利

JP6862901B2 周波数比測定装置および物理量センサー有权
公开(公告)号：JP6862901B2
公开(公告)日：2021-04-21
申请号：JP2017030991
申请日：2017-02-22
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：轟原正義
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/08 , G01P15/18 , G01R23/10

2. 发明专利

JP6780467B2 物理量センサー、電子機器及び移動体有权
公开(公告)号：JP6780467B2
公开(公告)日：2020-11-04
申请号：JP2016227555
申请日：2016-11-24
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：西澤竜太
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/14 , G01C19/5614

3. 发明专利

JP6574955B2 弾性表面波共振器間の相互干渉抑制構造、および加速度センサ有权
公开(公告)号：JP6574955B2
公开(公告)日：2019-09-18
申请号：JP2015133859
申请日：2015-07-02
申请人：多摩川精機株式会社
发明人：松井友弘
IPC分类号： G01P15/08 , H01L41/113 , H01L41/047 , H03H9/25 , G01P15/097

4. 发明专利

JP2019514018A 長手方向の温度勾配に対して低減された感度を有するアサーマルハングマス加速度計审中-公开
公开(公告)号：JP2019514018A
公开(公告)日：2019-05-30
申请号：JP2018555250
申请日：2017-05-03
申请人：レイセオンカンパニー
发明人：ストープス,ローン , ヘイヤー,ハビエル
IPC分类号： G01P15/02 , G01P15/097
摘要：アサーマルオープンループハングマス加速度計は、長手方向軸に沿った本体温度勾配に応答した本体によるあらゆる成長が、等しく、かつ、逆方向のセンサヘッドの成長によって相殺されるように、センサヘッドの熱膨張係数(CTE)を構成しており、温度勾配の影響をゼロ化する。多くの構成において、センサヘッドのCTEは、本体のCTEより厳密に小さく、かつ、典型的には本体のCTEの60−80%の間であり、予測される本体温度勾配の影響をゼロ化する。

5. 发明专利

JP6489943B2 センサ素子、物理センサ、及びセンサ素子の製造方法有权
公开(公告)号：JP6489943B2
公开(公告)日：2019-03-27
申请号：JP2015111334
申请日：2015-06-01
申请人：日本電波工業株式会社
发明人：佐々木啓之 , 波夛野真
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/08 , G01L1/10

6. 发明专利

JP2018136208A 周波数比測定装置および物理量センサー审中-公开
公开(公告)号：JP2018136208A
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：JP2017030991
申请日：2017-02-22
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：轟原正義
IPC分类号： G01P15/097 , G01P15/08 , G01P15/18 , G01R23/10
摘要：【課題】容易かつ適確にアイドルトーンの影響を抑制することができる周波数比測定装置および物理量センサーを提供すること。【解決手段】被測定信号と、複数の基準信号とに基づいて、前記被測定信号と前記基準信号との周波数比を測定する周波数比測定装置であって、前記基準信号と、前記被測定信号とが入力され、入力された前記基準信号と前記被測定信号との一方を用いて他方を周波数デルタシグマ変調し、周波数デルタシグマ変調信号を生成する複数の周波数デルタシグマ変調部と、前記複数の周波数デルタシグマ変調信号が表す複数のデータを用いて統計処理を行う統計処理部と、を備え、前記複数の周波数デルタシグマ変調部に入力される前記基準信号は、それぞれ、互いに異なる周波数を有していることを特徴とする周波数比測定装置。【選択図】図1

7. 发明专利

JP2017015700A 光学機械振動ビーム加速度計审中-公开
标题翻译：光 - 机械振动梁加速度计
公开(公告)号：JP2017015700A
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：JP2016124052
申请日：2016-06-23
申请人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
发明人：チャド・ファーティグ , アーサー・サヴチェンコ , スティーヴン・ティン
IPC分类号： G01P15/03 , G01P15/097
CPC分类号： G01P15/093 , G01P15/097 , G01P21/00 , H01S5/0014 , H01S5/0085 , H01S5/0687
摘要：【課題】光学機械振動ビーム加速度計を提供する。【解決手段】光学機械振動ビーム加速度計のためのシステム、デバイス、技術及び方法が開示される。一例では、システムは、プルーフマスを懸架する光学機械アクティブ(OMA)アンカーによる光学共振にレーザを結合し、レーザの周波数をOMAアンカーの光学共振にロックして、変調されたレーザがOMAアクティブアンカーと結合され、変調されたレーザの少なくとも振幅又は位相を検出するために、OMAアンカーと結合された変調されたレーザを検出する光電流を復調し、変調されたレーザをOMAアンカーに結合することにより誘起される、変調されたレーザの振幅又は位相に対する変化を介して、OMAアンカーの機械モードの瞬間的な共振周波数を動的に追跡するために、変調されたレーザの周波数をロックし、変調されたレーザの振幅又は位相に対する変化を介して、OMAアンカーの瞬間的な共振周波数に基づいて加速度を測定するように構成される。【選択図】図8
摘要翻译：本发明的一个目的是提供一种光学机械振动梁加速度计。为加速计，装置，技术和方法的光学机械振动梁系统所公开的。在一个示例中，该系统结合了激光通过光学机械活性（OMA）锚光学谐振悬挂质量块，所述激光的频率锁定到OMA锚调制的激光和OMA活性锚的光学谐振耦合，以检测调制的激光的至少所述幅度或相位，通过解调所述光电流检测调制的激光加上OMA锚诱导，结合在OMA锚调制的激光并且，通过改变调制激光的振幅或相位，以动态地跟踪OMA锚的机械模式的瞬时谐振频率来锁定调制的激光的频率，调制通过改变激光的振幅或相位，用于基于OMA锚的瞬时谐振频率来测量的加速度点域8

8. 发明专利

JP5849265B2 弾性表面波型加速度センサおよびセンサ素子基体有权
公开(公告)号：JP5849265B2
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：JP2011189707
申请日：2011-08-31
申请人：多摩川精機株式会社
发明人：松井友弘 , 田中浩 , 谷内雅紀
IPC分类号： G01P15/18 , G01P15/097

10. 发明专利

JP2006524344A Of position to substantially zero suppression torque of the net, pick off sensor to obtain the value of the parameter from dangling sensor component 审中-公开
公开(公告)号：JP2006524344A
公开(公告)日：2006-10-26
申请号：JP2006513234
申请日：2004-04-21
申请人：エフ.ワイズスタンレー , ノースロップグラマンコーポレーション
发明人：エフ．ワイズスタンレー
IPC分类号： B81B3/00 , G01C19/5656 , G01P15/097
CPC分类号： G01C19/5656
摘要：一例における装置のぶら下がりセンサコンポーネントは、パラメータに反応する。正味の抑制トルクを実質的にゼロにする位置の、ぶら下がりセンサコンポーネントから上記パラメタの値を得る１以上のピックオフセンサ。

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