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    • 3. 发明专利
    • 触覚センサ及びその製造方法
    • JP2021148609A
    • 2021-09-27
    • JP2020049009
    • 2020-03-19
    • 凸版印刷株式会社
    • 菊池 雅博
    • G01L5/00G01L1/20
    • 【課題】概ね20N以下の小さな加圧変化を検出することができ、材料利用効率が高く、貼り合わせ時の位置精度に留意する必要がない、安価な触覚センサ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】対向する電極間に抵抗体層が形成された触覚センサであって、抵抗体層は第1抵抗体層と第2抵抗体層とからなり、第1抵抗体層と第2抵抗体層とは接触界面を形成し、接触界面を形成する第1抵抗体層及び第2抵抗体層の表面の、ISO25178で規定される算術平均粗さ(Ra)が、いずれも0.1μm以上である触覚センサとし、第1抵抗体層及び第2抵抗体層は単層で形成した抵抗体層を凝集破壊により分離させる工程によって形成し、接触界面は分離した第1抵抗体層及び第2抵抗体層を重ね合わせて接触させる工程によって形成する触覚センサの製造方法とする。 【選択図】図2